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1. 发明专利

TW201627537A 基板液處理方法及基板液處理裝置與記錄有基板液處理程式之電腦可讀取的記憶媒體审中-公开
简体标题：基板液处理方法及基板液处理设备与记录有基板液处理进程之电脑可读取的记忆媒体
公开(公告)号：TW201627537A
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW104134139
申请日：2015-10-19
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：中森光則 , NAKAMORI, MITSUNORI , 南輝臣 , MINAMI, TERUOMI , 大石幸太郎 , OOISHI, KOTARO , 野中純 , NONAKA, JUN
IPC分类号： C23G1/00 , C23G3/00 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/02052 , B08B3/04 , B08B3/041 , B08B3/08 , B08B3/10 , H01L21/02057 , H01L21/67028 , H01L21/67051 , H01L21/68764
摘要：本發明旨在提供一種基板液處理裝置(基板液處理方法)，其可一面防止乾燥處理時圖案崩塌，一面減少由水痕造成之顆粒。於本發明中，進行：液處理步驟，以處理液對於基板進行液處理；沖洗處理步驟，對於經由液處理後之該基板，以沖洗液進行沖洗處理；及撥水處理步驟，對於經由沖洗處理後之該基板，以撥水化液進行撥水處理；接著，進行：置換處理步驟，對於經由撥水處理後之該基板，以置換促進液進行置換處理；及清洗處理步驟，對於經由撥水處理後之該基板，以清洗液進行清洗處理；其後，進行乾燥處理步驟，以比該清洗液揮發性更高的乾燥液置換該清洗液，同時，自該基板除去該乾燥液。
简体摘要：本发明旨在提供一种基板液处理设备(基板液处理方法)，其可一面防止干燥处理时图案崩塌，一面减少由水痕造成之颗粒。于本发明中，进行：液处理步骤，以处理液对于基板进行液处理；冲洗处理步骤，对于经由液处理后之该基板，以冲洗液进行冲洗处理；及拨水处理步骤，对于经由冲洗处理后之该基板，以拨水化液进行拨水处理；接着，进行：置换处理步骤，对于经由拨水处理后之该基板，以置换促进液进行置换处理；及清洗处理步骤，对于经由拨水处理后之该基板，以清洗液进行清洗处理；其后，进行干燥处理步骤，以比该清洗液挥发性更高的干燥液置换该清洗液，同时，自该基板除去该干燥液。

2. 发明专利

TWI675940B 基板液處理方法及基板液處理裝置與記錄有基板液處理程式之電腦可讀取的記憶媒體有权
简体标题：基板液处理方法及基板液处理设备与记录有基板液处理进程之电脑可读取的记忆媒体
公开(公告)号：TWI675940B
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：TW104134139
申请日：2015-10-19
申请人：日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：中森光則 , NAKAMORI, MITSUNORI , 南輝臣 , MINAMI, TERUOMI , 大石幸太郎 , OOISHI, KOTARO , 野中純 , NONAKA, JUN
IPC分类号： C23G1/00 , C23G3/00 , H01L21/304

3. 发明专利

TWI539029B 用於欲處理之平坦材料之濕式化學處理的裝置及方法有权
简体标题：用于欲处理之平坦材料之湿式化学处理的设备及方法
公开(公告)号：TWI539029B
公开(公告)日：2016-06-21
申请号：TW103114753
申请日：2014-04-23
申请人：德國艾托特克公司 , ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
发明人：庫茲亨利 , KUNZE, HENRY
IPC分类号： C23G3/00 , H05K3/00
CPC分类号： B08B3/022 , B08B3/041 , H05K3/0085

4. 发明专利

TW201500589A 用於欲處理之平坦材料之濕式化學處理的裝置及方法审中-公开
简体标题：用于欲处理之平坦材料之湿式化学处理的设备及方法
公开(公告)号：TW201500589A
公开(公告)日：2015-01-01
申请号：TW103114753
申请日：2014-04-23
申请人：德國艾托特克公司 , ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
发明人：庫茲亨利 , KUNZE, HENRY
IPC分类号： C23G3/00 , H05K3/00
CPC分类号： B08B3/022 , B08B3/041 , H05K3/0085
摘要：本發明係關於用於水平通過系統之欲處理之平坦材料(8)之濕式化學處理的裝置，其具有使用第一液體處理該欲處理材料(8)之第一處理模組(2、3、6)及使用第二液體處理該欲處理材料(8)之第二處理模組(5、7)。提供貯存(back-up)構件(22a、22b、22c、36、38、48、58)以將該第一液體貯存在該第一處理模組(2、3、6)之第一處理區(11、17、41)中且將該第二液體貯存在該第二處理模組(5、7)之第二處理區(31、51)中。藉助運輸配置(16)將該欲處理材料運輸通過該裝置，其中該運輸配置(16)直接在該第一處理區(11、17、41)與該第二處理區(31、51)之間轉移該欲處理材料(8)。
简体摘要：本发明系关于用于水平通过系统之欲处理之平坦材料(8)之湿式化学处理的设备，其具有使用第一液体处理该欲处理材料(8)之第一处理模块(2、3、6)及使用第二液体处理该欲处理材料(8)之第二处理模块(5、7)。提供贮存(back-up)构件(22a、22b、22c、36、38、48、58)以将该第一液体贮存在该第一处理模块(2、3、6)之第一处理区(11、17、41)中且将该第二液体贮存在该第二处理模块(5、7)之第二处理区(31、51)中。借助运输配置(16)将该欲处理材料运输通过该设备，其中该运输配置(16)直接在该第一处理区(11、17、41)与该第二处理区(31、51)之间转移该欲处理材料(8)。

5. 发明专利

TWI462783B 鋼胚表面除銹裝置有权
简体标题：钢胚表面除锈设备
公开(公告)号：TWI462783B
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：TW100132341
申请日：2011-09-08
申请人：中國鋼鐵股份有限公司 , CHINA STEEL CORPORATION
发明人：莊益宗 , 吳俊宏 , 陳志遠 , 王榮貴 , 蔡鎮州
IPC分类号： B08B3/02 , C23G3/00

6. 发明专利

TW201311367A 鋼胚表面除銹裝置审中-公开
简体标题：钢胚表面除锈设备
公开(公告)号：TW201311367A
公开(公告)日：2013-03-16
申请号：TW100132341
申请日：2011-09-08
申请人：中國鋼鐵股份有限公司 , CHINA STEEL CORPORATION
发明人：莊益宗 , 吳俊宏 , 陳志遠 , 王榮貴 , 蔡鎮州
IPC分类号： B08B3/02 , C23G3/00
摘要：本發明係關於一種鋼胚表面除銹裝置，係裝設於一鋼胚連鑄機上，該鋼胚連鑄機具有一矯直單元及一焰切單元，該鋼胚表面除銹裝置用以對一鋼胚進行表面除銹，且該鋼胚表面除銹裝置設置於該矯直單元與該焰切單元之間，該鋼胚表面除銹裝置包括：一支撐架，係架設於該矯直單元與該焰切單元之間；複數個噴霧器，係裝設於該支撐架上，各該噴霧器係具有至少一霧化噴嘴，各該霧化噴嘴係呈傾斜設置，且朝向該鋼胚；以及一水氣量分配器，係具有複數條水氣管路，各該水氣管路係連接各該噴霧器。藉此，可有效去除鋼胚表面銹皮及使鋼胚表層產生等軸細晶結構，進而提升鋼胚品質及產出率。
简体摘要：本发明系关于一种钢胚表面除锈设备，系装设于一钢胚连铸机上，该钢胚连铸机具有一矫直单元及一焰切单元，该钢胚表面除锈设备用以对一钢胚进行表面除锈，且该钢胚表面除锈设备设置于该矫直单元与该焰切单元之间，该钢胚表面除锈设备包括：一支撑架，系架设于该矫直单元与该焰切单元之间；复数个喷雾器，系装设于该支撑架上，各该喷雾器系具有至少一雾化喷嘴，各该雾化喷嘴系呈倾斜设置，且朝向该钢胚；以及一水汽量分配器，系具有复数条水汽管路，各该水汽管路系连接各该喷雾器。借此，可有效去除钢胚表面锈皮及使钢胚表层产生等轴细晶结构，进而提升钢胚品质及产出率。

7. 实用新型

TWM545788U 側蓋板組及具有該側蓋板組的石墨熱交換器有权
简体标题：侧盖板组及具有该侧盖板组的石墨热交换器
公开(公告)号：TWM545788U
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：TW106206186
申请日：2017-05-03
申请人：中國鋼鐵股份有限公司
发明人：朱富林 , 洪俊銘 , 黃裕傑
IPC分类号： C23G3/00

8. 发明专利

TWI531683B 金屬表面銹垢預處理有权
简体标题：金属表面锈垢预处理
公开(公告)号：TWI531683B
公开(公告)日：2016-05-01
申请号：TW100100915
申请日：2011-01-11
申请人：寇林公司 , KOLENE CORPORATION
发明人：梅洛伊詹姆斯C , MALLOY, JAMES C. , 麥克卡登丹尼斯J , MCCARDLE, DENNIS J. , 吉稱理查M , KITCHEN, RICHARD M.
IPC分类号： C23G1/14 , C23G3/00 , B21B45/08
CPC分类号： C23G1/19 , B21B45/06 , B23B45/06 , C23G3/02 , C23G3/021 , C23G3/023 , C23G3/027

9. 实用新型

TWM467674U 廢酸冷卻裝置失效
简体标题：废酸冷却设备
公开(公告)号：TWM467674U
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：TW102210980
申请日：2013-06-11
申请人：中越有限公司
发明人：江泰豐 , 江新民
IPC分类号： C23G3/00

10. 发明专利

TWI381068B 酸洗模擬裝置失效
简体标题：酸洗仿真设备
公开(公告)号：TWI381068B
公开(公告)日：2013-01-01
申请号：TW098114696
申请日：2009-05-04
申请人：中國鋼鐵股份有限公司 , CHINA STEEL CORPORATION
发明人：韓景廉 , 楊登元 , 林景崎
IPC分类号： C23G1/08 , C23G3/00

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