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1. 发明专利

TWI558917B 真空泵有权
公开(公告)号：TWI558917B
公开(公告)日：2016-11-21
申请号：TW101118675
申请日：2012-05-25
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：百濟壯一 , KUDARA, SOICHI , 長山真己 , NAGAYAMA, MASAMI
IPC分类号： F04C25/02 , F04C18/18 , F04C29/12
CPC分类号： F04C25/02 , F04C18/126 , F04C23/001 , F04C29/04 , F04C2220/30 , F04C2240/30 , F04C2280/02

2. 发明专利

TWI239371B 魯氏泵 ROOTS PUMP 失效
简体标题：鲁氏泵 ROOTS PUMP
公开(公告)号：TWI239371B
公开(公告)日：2005-09-11
申请号：TW093113802
申请日：2004-05-17
申请人：豐田自動織機股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOYOTA JIDOSHOKKI
发明人：山本真也 YAMAMOTO, SHINYA , 桑原衛 KUWAHARA, MAMORU , 藤原三佳 FUJIWARA, MIKA , 星野伸明 HOSHINO, NOBUAKI
IPC分类号： F04B , F04C
CPC分类号： F04C18/126 , F04C23/001 , F04C2250/10 , F04C2280/02
摘要：一個魯氏泵具有一個殼體，複數支轉軸，一個轉子，一個合流通道及一個封閉空間。殼體內形成一個泵室。轉軸係支撐於殼體上而彼此成平行。轉子安裝在每支轉軸上，並且任何相鄰轉軸上之轉子係彼此啣接。一組啣接的轉子被收容於泵室中。合流通道係以和成對且啣接之轉子成一對一之對應，而治著成對的假想掃過周面之一條交叉線而形成。封閉空間係以和成對轉子之每一個成一對一之對應而形成於成對轉子及形成泵室之成對周壁表面之間。封閉空間係以轉子之旋轉而開始從合流通道之終端與合流通道結合。
简体摘要：一个鲁氏泵具有一个壳体，复数支转轴，一个转子，一个合流信道及一个封闭空间。壳体内形成一个泵室。转轴系支撑于壳体上而彼此成平行。转子安装在每支转轴上，并且任何相邻转轴上之转子系彼此衔接。一组衔接的转子被收容于泵室中。合流信道系以和成对且衔接之转子成一对一之对应，而治着成对的假想扫过周面之一条交叉线而形成。封闭空间系以和成对转子之每一个成一对一之对应而形成于成对转子及形成泵室之成对周壁表面之间。封闭空间系以转子之旋转而开始从合流信道之终端与合流信道结合。

3. 发明专利

TW200426307A 魯氏泵 ROOTS PUMP 失效
简体标题：鲁氏泵 ROOTS PUMP
公开(公告)号：TW200426307A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：TW093113802
申请日：2004-05-17
申请人：豐田自動織機股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOYOTA JIDOSHOKKI
发明人：山本真也 YAMAMOTO, SHINYA , 桑原衛 KUWAHARA, MAMORU , 藤原三佳 FUJIWARA, MIKA , 星野伸明 HOSHINO, NOBUAKI
IPC分类号： F04B , F04C
CPC分类号： F04C18/126 , F04C23/001 , F04C2250/10 , F04C2280/02
摘要：一個魯氏泵具有一個殼體，複數支轉軸，一個轉子，一個合流通道及一個封閉空間。殼體內形成一個泵室。轉軸係支撐於殼體上而彼此成平行。轉子安裝在每支轉軸上，並且任何相鄰轉軸上之轉子係彼此啣接。一組啣接的轉子被收容於泵室中。合流通道係以和成對且啣接之轉子成一對一之對應，而沿著成對的假想掃過周面之一條交叉線而形成。封閉空間係以和成對轉子之每一個成一對一之對應而形成於成對轉子及形成泵室之成對周壁表面之間。封閉空間係以轉子之旋轉而開始從合流通道之終端與合流通道結合。
简体摘要：一个鲁氏泵具有一个壳体，复数支转轴，一个转子，一个合流信道及一个封闭空间。壳体内形成一个泵室。转轴系支撑于壳体上而彼此成平行。转子安装在每支转轴上，并且任何相邻转轴上之转子系彼此衔接。一组衔接的转子被收容于泵室中。合流信道系以和成对且衔接之转子成一对一之对应，而沿着成对的假想扫过周面之一条交叉线而形成。封闭空间系以和成对转子之每一个成一对一之对应而形成于成对转子及形成泵室之成对周壁表面之间。封闭空间系以转子之旋转而开始从合流信道之终端与合流信道结合。

4. 发明专利

TWI554684B 真空泵有权
公开(公告)号：TWI554684B
公开(公告)日：2016-10-21
申请号：TW101118674
申请日：2012-05-25
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：百濟壯一 , KUDARA, SOICHI , 新村惠弘 , NIIMURA, YASUHIRO , 長山真己 , NAGAYAMA, MASAMI
IPC分类号： F04C25/02 , F04C18/18 , F04C29/12
CPC分类号： F04C13/007 , F04C18/126 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C27/009 , F04C2220/12 , F04C2220/30 , F04C2220/40 , F04C2240/30 , F04C2280/02

5. 发明专利

TW201346142A 排氣泵沉積物之檢測裝置及排氣泵审中-公开
简体标题：排气泵沉积物之检测设备及排气泵
公开(公告)号：TW201346142A
公开(公告)日：2013-11-16
申请号：TW102114288
申请日：2013-04-22
申请人：埃地沃茲日本有限公司 , EDWARDS JAPAN LIMITED
发明人：榎本良弘 , ENOMOTO, YOSHIHIRO
IPC分类号： F04D19/04 , F04B49/10 , F04D27/00 , F04B51/00
CPC分类号： F01N11/00 , F01N2550/00 , F04C25/02 , F04C28/28 , F04C2220/30 , F04C2270/86 , F04C2280/02 , F04D19/042 , F04D27/001 , F05D2260/607 , H02P29/027
摘要：本發明係提供一種不產生使氣體流動之設備之設置、或裝置之操作模式之追加、變更等之負擔便可容易地實施之排氣泵沉積物之檢測裝置。本發明之排氣泵沉積物之檢測裝置包括：機構52，其檢測將旋轉體旋轉驅動的馬達之馬達電流值；電流值記憶部103，其僅記憶經檢測之馬達電流值中設定值以上之馬達電流值；平均值計算部104，其計算所記憶之馬達電流值之每單位時間之平均值；平均值記憶部105，其記憶經計算之平均值；近似線算出部106，其將所記憶之平均值以時間序列排列，且對該平均值求出一次近似線；及差分值算出部108，其求出使用一次近似線算出之預測馬達電流值與排氣泵之使用開始時之初始馬達電流值之差分值；且以將上述差分值超過預先設定之閾值之時刻判定為排氣泵之維護時期之方式構成。
简体摘要：本发明系提供一种不产生使气体流动之设备之设置、或设备之操作模式之追加、变更等之负担便可容易地实施之排气泵沉积物之检测设备。本发明之排气泵沉积物之检测设备包括：机构52，其检测将旋转体旋转驱动的马达之马达电流值；电流值记忆部103，其仅记忆经检测之马达电流值中设置值以上之马达电流值；平均值计算部104，其计算所记忆之马达电流值之每单位时间之平均值；平均值记忆部105，其记忆经计算之平均值；近似线算出部106，其将所记忆之平均值以时间串行排列，且对该平均值求出一次近似线；及差分值算出部108，其求出使用一次近似线算出之预测马达电流值与排气泵之使用开始时之初始马达电流值之差分值；且以将上述差分值超过预先设置之阈值之时刻判定为排气泵之维护时期之方式构成。

6. 发明专利

TWI407015B 具有螺旋轉子及螺紋轉子之複合乾真空泵有权
简体标题：具有螺旋转子及螺纹转子之复合干真空泵
公开(公告)号：TWI407015B
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW094134438
申请日：2005-10-03
申请人：拉特維康有限公司 , LOT VACUUM CO., LTD.
发明人：林文基 , LIM, MOON GI
IPC分类号： F04C25/02 , F04C18/16
CPC分类号： F01C21/02 , F04C18/086 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C29/0042 , F04C29/0092 , F04C2220/12 , F04C2220/30 , F04C2240/10 , F04C2240/52 , F04C2280/02

7. 发明专利

TW200628700A 具有螺旋轉子及螺紋轉子之複合乾真空泵 COMPOSITE DRY VACUUM PUMP HAVING ROOTS ROTOR AND SCREW ROTOR 审中-公开
简体标题：具有螺旋转子及螺纹转子之复合干真空泵 COMPOSITE DRY VACUUM PUMP HAVING ROOTS ROTOR AND SCREW ROTOR
公开(公告)号：TW200628700A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：TW094134438
申请日：2005-10-03
申请人：拉特維康有限公司 LOT VACUUM CO., LTD.
发明人：林文基 LIM, MOON GI
IPC分类号： F04C
CPC分类号： F01C21/02 , F04C18/086 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C29/0042 , F04C29/0092 , F04C2220/12 , F04C2220/30 , F04C2240/10 , F04C2240/52 , F04C2280/02
摘要：本發明揭露一種乾真空泵，用以將半導體或顯示器製造裝置中之處理室抽成真空，或用以將在該處理室中產生之氣態物質及／或副產品排出。該乾真空泵不需要位於一螺旋轉子及一螺紋轉子間之隔板。在該乾真空泵中，一空間穿透該螺旋轉子與該螺紋轉子之下側，而形成於連接至該螺旋轉子之部分上，以使該目標物質存放於其上。
简体摘要：本发明揭露一种干真空泵，用以将半导体或显示器制造设备中之处理室抽成真空，或用以将在该处理室中产生之气态物质及／或副产品排出。该干真空泵不需要位于一螺旋转子及一螺纹转子间之隔板。在该干真空泵中，一空间穿透该螺旋转子与该螺纹转子之下侧，而形成于连接至该螺旋转子之部分上，以使该目标物质存放于其上。

8. 发明专利

TWI341368B 真空泵之運轉停止控制方法及運轉停止控制裝置 METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING THE ROTATION STOP OF VACUUM PUMP 失效
简体标题：真空泵之运转停止控制方法及运转停止控制设备 METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING THE ROTATION STOP OF VACUUM PUMP
公开(公告)号：TWI341368B
公开(公告)日：2011-05-01
申请号：TW096133644
申请日：2007-09-10
申请人：豐田自動織機股份有限公司
发明人：越坂亮介 , 山本真也 , 藤原佳彰 , 石原健太郎 , 內山理
IPC分类号： F04C
CPC分类号： F04C28/06 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C28/08 , F04C29/04 , F04C2220/12 , F04C2270/17 , F04C2280/02 , F05C2201/0442
摘要：本發明的課題為，提供一種真空泵之運轉停止控制方法及運轉停止控制裝置，在生成物於泵室的內部和氣體移送體之間為被咬合的狀態時可防止真空泵之停止，及在真空泵再起動時可快速開始氣體移送。本發明之解決手段，在魯氏泵10使氣體移送停止時，使轉子23~32,51,52的轉數達到比氣體移送時的轉數更低之指定轉數以下。其後，在該指定轉數以下時一面使轉子23~32,51,52旋轉，一面在轉子外殼12的溫度達到指定溫度時使轉子23~32,51,52停止旋轉。
简体摘要：本发明的课题为，提供一种真空泵之运转停止控制方法及运转停止控制设备，在生成物于泵室的内部和气体移送体之间为被咬合的状态时可防止真空泵之停止，及在真空泵再起动时可快速开始气体移送。本发明之解决手段，在鲁氏泵10使气体移送停止时，使转子23~32,51,52的转数达到比气体移送时的转数更低之指定转数以下。其后，在该指定转数以下时一面使转子23~32,51,52旋转，一面在转子外壳12的温度达到指定温度时使转子23~32,51,52停止旋转。

9. 发明专利

TW201024547A 清潔真空泵的方法 METHOD FOR CLEANING A VACUUM PUMP 审中-公开
简体标题：清洁真空泵的方法 METHOD FOR CLEANING A VACUUM PUMP
公开(公告)号：TW201024547A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：TW098136122
申请日：2009-10-26
申请人：歐瑞康藍伯德真空股份有限公司 , 歐瑞康太陽能特魯貝屈股份有限公司
发明人：坎尼恩英鉤 , 哥特里克海根 , 史內達史蒂芬
IPC分类号： F04D
CPC分类号： B08B3/08 , B08B9/00 , F04C18/16 , F04C2220/10 , F04C2280/02
摘要：一種用以清潔一真空泵(10)之有效方法，該真空泵(10)包括一具有至少一泵轉子(14)之泵室(12)，其特微在於下列步驟：a)填充一清潔液(28)至該泵室(12)中；b)散佈該清潔液(28)於該泵室(12)中；c)藉由該清潔液(28)之協助使雜質分離；以及d)從該泵室(12)排放該清潔液(28)。
简体摘要：一种用以清洁一真空泵(10)之有效方法，该真空泵(10)包括一具有至少一泵转子(14)之泵室(12)，其特微在于下列步骤：a)填充一清洁液(28)至该泵室(12)中；b)散布该清洁液(28)于该泵室(12)中；c)借由该清洁液(28)之协助使杂质分离；以及d)从该泵室(12)排放该清洁液(28)。

10. 发明专利

TW200823369A 真空泵之運轉停止控制方法及運轉停止控制裝置 METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING THE ROTATION STOP OF VACUUM PUMP 失效
简体标题：真空泵之运转停止控制方法及运转停止控制设备 METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING THE ROTATION STOP OF VACUUM PUMP
公开(公告)号：TW200823369A
公开(公告)日：2008-06-01
申请号：TW096133644
申请日：2007-09-10
申请人：豐田自動織機股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOYOTA JIDOSHOKKI
发明人：越亮介 KOSHIZAKA, RYOSUKE , 山本真也 YAMAMOTO, SHINYA , 藤原佳彰 FUJIWARA, YOSHIAKI , 石原健太郎 ISHIHARA, KENTARO , 內山理 UCHIYAMA, OSAMU
IPC分类号： F04C
CPC分类号： F04C28/06 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C28/08 , F04C29/04 , F04C2220/12 , F04C2270/17 , F04C2280/02 , F05C2201/0442
摘要：本發明的課題為,提供一種真空泵之運轉停止控制方法及運轉停止控制裝置,在生成物於泵室的內部和氣體移送體之間為被咬合的狀態時可防止真空泵之停止,及在真空泵再起動時可快速開始氣體移送。本發明之解決手段,在魯氏泵10使氣體移送停止時,使轉子23~32,51,52的轉數達到比氣體移送時的轉數更低之指定轉數以下。其後,在該指定轉數以下時一面使轉子23~32,51,52旋轉,一面在轉子外殼12的溫度達到指定溫度時使轉子23~32,51,52停止旋轉。
简体摘要：本发明的课题为,提供一种真空泵之运转停止控制方法及运转停止控制设备,在生成物于泵室的内部和气体移送体之间为被咬合的状态时可防止真空泵之停止,及在真空泵再起动时可快速开始气体移送。本发明之解决手段,在鲁氏泵10使气体移送停止时,使转子23~32,51,52的转数达到比气体移送时的转数更低之指定转数以下。其后,在该指定转数以下时一面使转子23~32,51,52旋转,一面在转子外壳12的温度达到指定温度时使转子23~32,51,52停止旋转。

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