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    • 5. 发明专利
    • 排氣泵沉積物之檢測裝置及排氣泵
    • 排气泵沉积物之检测设备及排气泵
    • TW201346142A
    • 2013-11-16
    • TW102114288
    • 2013-04-22
    • 埃地沃茲日本有限公司EDWARDS JAPAN LIMITED
    • 榎本良弘ENOMOTO, YOSHIHIRO
    • F04D19/04F04B49/10F04D27/00F04B51/00
    • F01N11/00F01N2550/00F04C25/02F04C28/28F04C2220/30F04C2270/86F04C2280/02F04D19/042F04D27/001F05D2260/607H02P29/027
    • 本發明係提供一種不產生使氣體流動之設備之設置、或裝置之操作模式之追加、變更等之負擔便可容易地實施之排氣泵沉積物之檢測裝置。本發明之排氣泵沉積物之檢測裝置包括:機構52,其檢測將旋轉體旋轉驅動的馬達之馬達電流值;電流值記憶部103,其僅記憶經檢測之馬達電流值中設定值以上之馬達電流值;平均值計算部104,其計算所記憶之馬達電流值之每單位時間之平均值;平均值記憶部105,其記憶經計算之平均值;近似線算出部106,其將所記憶之平均值以時間序列排列,且對該平均值求出一次近似線;及差分值算出部108,其求出使用一次近似線算出之預測馬達電流值與排氣泵之使用開始時之初始馬達電流值之差分值;且以將上述差分值超過預先設定之閾值之時刻判定為排氣泵之維護時期之方式構成。
    • 本发明系提供一种不产生使气体流动之设备之设置、或设备之操作模式之追加、变更等之负担便可容易地实施之排气泵沉积物之检测设备。本发明之排气泵沉积物之检测设备包括:机构52,其检测将旋转体旋转驱动的马达之马达电流值;电流值记忆部103,其仅记忆经检测之马达电流值中设置值以上之马达电流值;平均值计算部104,其计算所记忆之马达电流值之每单位时间之平均值;平均值记忆部105,其记忆经计算之平均值;近似线算出部106,其将所记忆之平均值以时间串行排列,且对该平均值求出一次近似线;及差分值算出部108,其求出使用一次近似线算出之预测马达电流值与排气泵之使用开始时之初始马达电流值之差分值;且以将上述差分值超过预先设置之阈值之时刻判定为排气泵之维护时期之方式构成。