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    • 2. 发明专利
    • 真空泵
    • TW201307686A
    • 2013-02-16
    • TW101118675
    • 2012-05-25
    • 荏原製作所股份有限公司EBARA CORPORATION
    • 百濟壯一KUDARA, SOICHI長山真己NAGAYAMA, MASAMI
    • F04C25/02F04C18/18F04C29/12
    • F04C25/02F04C18/126F04C23/001F04C29/04F04C2220/30F04C2240/30F04C2280/02
    • 本發明提供一種真空泵,係將泵內部之溫度遍及泵整體維持為較高溫之一定溫度(均勻化),簡單地防止生成物產生而堆積於泵內部。具有:泵外殼54,係具有複數個泵室50a至50f、連通於位於吸氣側之泵室的吸氣口52a、及連通於位於送出側之泵室的排氣口52b;轉動軸58,係兩端以軸承轉動自如地支撐,而沿著泵外殼之長度方向延伸;以及複數個轉子60a至60f,係分別收容於各泵室內,且連結於轉動軸而伴隨著該轉動軸的轉動而轉動;泵外殼54係具有與轉動軸平行地遍及於該泵外殼的長度方向之大致全長而延伸之第1傳熱構件72、及位於接近第1傳熱構件72之排氣口52b側的端部之位置而朝該泵外殼之寬度方向延伸之第2傳熱構件74。
    • 本发明提供一种真空泵,系将泵内部之温度遍及泵整体维持为较高温之一定温度(均匀化),简单地防止生成物产生而堆积于泵内部。具有:泵外壳54,系具有复数个泵室50a至50f、连通于位于吸气侧之泵室的吸气口52a、及连通于位于送出侧之泵室的排气口52b;转动轴58,系两端以轴承转动自如地支撑,而沿着泵外壳之长度方向延伸;以及复数个转子60a至60f,系分别收容于各泵室内,且链接于转动轴而伴随着该转动轴的转动而转动;泵外壳54系具有与转动轴平行地遍及于该泵外壳的长度方向之大致全长而延伸之第1传热构件72、及位于接近第1传热构件72之排气口52b侧的端部之位置而朝该泵外壳之宽度方向延伸之第2传热构件74。