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    • 2. 发明专利
    • 全域逆流熱交換基板支撐件
    • 全域逆流热交换基板支撑件
    • TW201805475A
    • 2018-02-16
    • TW106113074
    • 2017-04-19
    • 應用材料股份有限公司APPLIED MATERIALS, INC
    • 懷特 約翰WHITE, JOHN M.
    • C23C16/458F28D15/00F28F9/02H01J37/32
    • C23C16/4586C23C16/46C23C16/505F28D15/00F28F9/026F28F2250/10H01J37/32715H01J37/32724H01J2237/3321
    • 在此所描述的實施例大致上是有關於一種基板支撐組件中的溫度控制系統。在一實施例中,揭露一種基板支撐組件。基板支撐組件包括支撐板組件。支撐板組件包括一第一流體供應歧管、一第二流體供應歧管、一第一流體回流歧管、一第二流體回流歧管、複數個第一流體通道、複數個第二流體通道以及一流體供應導管。該些第一流體通道從第一流體供應歧管延伸至第一流體回流歧管。該些第二流體通道從第二流體供應歧管延伸至第二流體回流歧管。該些流體通道以一交替方式延伸橫跨支撐板組件的上表面。流體供應導管係配置成用以將一流體供應至流體供應歧管。
    • 在此所描述的实施例大致上是有关于一种基板支撑组件中的温度控制系统。在一实施例中,揭露一种基板支撑组件。基板支撑组件包括支撑板组件。支撑板组件包括一第一流体供应歧管、一第二流体供应歧管、一第一流体回流歧管、一第二流体回流歧管、复数个第一流体信道、复数个第二流体信道以及一流体供应导管。该些第一流体信道从第一流体供应歧管延伸至第一流体回流歧管。该些第二流体信道从第二流体供应歧管延伸至第二流体回流歧管。该些流体信道以一交替方式延伸横跨支撑板组件的上表面。流体供应导管系配置成用以将一流体供应至流体供应歧管。