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1. 发明专利

TW201805475A 全域逆流熱交換基板支撐件审中-公开
简体标题：全域逆流热交换基板支撑件
公开(公告)号：TW201805475A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：TW106113074
申请日：2017-04-19
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC
发明人：懷特約翰 , WHITE, JOHN M.
IPC分类号： C23C16/458 , F28D15/00 , F28F9/02 , H01J37/32
CPC分类号： C23C16/4586 , C23C16/46 , C23C16/505 , F28D15/00 , F28F9/026 , F28F2250/10 , H01J37/32715 , H01J37/32724 , H01J2237/3321
摘要：在此所描述的實施例大致上是有關於一種基板支撐組件中的溫度控制系統。在一實施例中，揭露一種基板支撐組件。基板支撐組件包括支撐板組件。支撐板組件包括一第一流體供應歧管、一第二流體供應歧管、一第一流體回流歧管、一第二流體回流歧管、複數個第一流體通道、複數個第二流體通道以及一流體供應導管。該些第一流體通道從第一流體供應歧管延伸至第一流體回流歧管。該些第二流體通道從第二流體供應歧管延伸至第二流體回流歧管。該些流體通道以一交替方式延伸橫跨支撐板組件的上表面。流體供應導管係配置成用以將一流體供應至流體供應歧管。
简体摘要：在此所描述的实施例大致上是有关于一种基板支撑组件中的温度控制系统。在一实施例中，揭露一种基板支撑组件。基板支撑组件包括支撑板组件。支撑板组件包括一第一流体供应歧管、一第二流体供应歧管、一第一流体回流歧管、一第二流体回流歧管、复数个第一流体信道、复数个第二流体信道以及一流体供应导管。该些第一流体信道从第一流体供应歧管延伸至第一流体回流歧管。该些第二流体信道从第二流体供应歧管延伸至第二流体回流歧管。该些流体信道以一交替方式延伸横跨支撑板组件的上表面。流体供应导管系配置成用以将一流体供应至流体供应歧管。

2. 实用新型

TWM399975U 多管路逆送溫差流體之吸熱或釋熱裝置 HEAT ABSORBING OR DISSIPATING DEVICE WITH MULTI-PIPE REVERSELY TRANSPORTED TEMPERATURE DIFFERENCE FLUIDS 有权
简体标题：多管路逆送温差流体之吸热或释热设备 HEAT ABSORBING OR DISSIPATING DEVICE WITH MULTI-PIPE REVERSELY TRANSPORTED TEMPERATURE DIFFERENCE FLUIDS
公开(公告)号：TWM399975U
公开(公告)日：2011-03-11
申请号：TW098218918
申请日：2009-10-14
申请人：楊泰和
发明人：楊泰和
IPC分类号： F28D
CPC分类号： F28D7/08 , F24D3/122 , F25B2339/00 , F28D1/047 , F28D15/02 , F28F1/24 , F28F2210/02 , F28F2210/10 , F28F2250/10
摘要：本新型為以呈平行或近似平行之第一導管及第二導管之同端側作逆向輸送溫差流體，以對被動接受釋熱或吸熱之物體或空間，產生吸熱或釋熱功能，呈使導溫流體在吸熱或釋熱體(100)或被動接受釋熱或吸熱之物體或空間(200)形成較平均之溫度分佈狀態者。
简体摘要：本新型为以呈平行或近似平行之第一导管及第二导管之同端侧作逆向输送温差流体，以对被动接受释热或吸热之物体或空间，产生吸热或释热功能，呈使导温流体在吸热或释热体(100)或被动接受释热或吸热之物体或空间(200)形成较平均之温度分布状态者。

3. 发明专利

TWI481806B 多管路逆送溫差流體之吸熱或釋熱裝置有权
简体标题：多管路逆送温差流体之吸热或释热设备
公开(公告)号：TWI481806B
公开(公告)日：2015-04-21
申请号：TW098134729
申请日：2009-10-14
申请人：楊泰和 , YANG, TAI HER
发明人：楊泰和 , YANG, TAI HER
IPC分类号： F28D1/04
CPC分类号： F28D7/08 , F24D3/122 , F25B2339/00 , F28D1/047 , F28D15/02 , F28F1/24 , F28F2210/02 , F28F2210/10 , F28F2250/10

4. 发明专利

TW201015040A 多管路逆送溫差流體之吸熱或釋熱裝置 HEAT ABSORBING OR DISSIPATING DEVICE WITH MULTI-PIPE REVERSELY TRANSPORTED TEMPERATURE DIFFERENCE FLUIDS 审中-公开
简体标题：多管路逆送温差流体之吸热或释热设备 HEAT ABSORBING OR DISSIPATING DEVICE WITH MULTI-PIPE REVERSELY TRANSPORTED TEMPERATURE DIFFERENCE FLUIDS
公开(公告)号：TW201015040A
公开(公告)日：2010-04-16
申请号：TW098134729
申请日：2009-10-14
申请人：楊泰和
发明人：楊泰和
IPC分类号： F28D
CPC分类号： F28D7/08 , F24D3/122 , F25B2339/00 , F28D1/047 , F28D15/02 , F28F1/24 , F28F2210/02 , F28F2210/10 , F28F2250/10
摘要：本發明為以呈平行或近似平行之第一導管及第二導管之同端側作逆向輸送溫差流體，以對被動接受釋熱或吸熱之物體或空間，產生吸熱或釋熱功能，呈使導溫流體在吸熱或釋熱體(100)或被動接受釋熱或吸熱之物體或空間(200)形成較平均之溫度分佈狀態者。
简体摘要：本发明为以呈平行或近似平行之第一导管及第二导管之同端侧作逆向输送温差流体，以对被动接受释热或吸热之物体或空间，产生吸热或释热功能，呈使导温流体在吸热或释热体(100)或被动接受释热或吸热之物体或空间(200)形成较平均之温度分布状态者。

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