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    • 5. 发明授权
    • 압전소자의 제조방법
    • 制造压电元件的方法
    • KR101632052B1
    • 2016-06-20
    • KR1020140122643
    • 2014-09-16
    • 국방과학연구소
    • 정순종김민수
    • H01L41/22H01L41/08H01L41/02
    • 본발명은압전소자를구성하는각 적층소자의정전용량이증가시켜전체압전소자로부터발생되는전력이향상되도록하는압전소자의제조방법에관한것이다.본발명에따른압전소자의제조방법은, 세라믹을후막공정으로세라믹후막을제작하는세라믹후막제작단계(S110)와, 상기세라믹후막에전극을입체로패터닝하여상기세라믹후막에전극을형성하는전극인쇄단계(S120)와, 전극이패터닝된상기세라믹후막을적층하는세라믹후막적층단계(S140)와, 적층된상기세라믹후막을수직으로절단하는절단단계(S150)와, 절단된단위후막소자를정해진온도에서탈지및 소결시키는탈지및 소결단계(S160)와, 소결된단위후막소자의표면에외부전극을만들고분극하는외부전극소분단계(S170)와, 외부전극이형성된단위후막소자를적층하여압전소자가되게하는소자스태킹단계(S180)를포함한다.