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1. 发明授权

KR100353499B1 급속 열처리(ＲＴＰ) 시스템용 팽창성 엘라스토머 요소 有权
标题翻译：用于快速热处理系统的可充电弹性体元件
公开(公告)号：KR100353499B1
公开(公告)日：2002-09-19
申请号：KR1019997009715
申请日：1998-07-10
申请人： 스티그 알티피 시스템즈 게엠베하
发明人： 아쉬너,헬무트 , 메르클레,헬무트 , 발크,울리히 , 체르니켈,디터
IPC分类号： C30B31/10
CPC分类号： C23C16/4409 , C23C16/4401 , C30B25/08 , C30B31/10 , C30B35/00 , H01L21/67115
摘要： 본발명의급속열처리(RTP) 챔버는투명한플레이트및 본체를포함하며, 플레이트는본체에기밀밀봉되며, 기밀밀봉은팽창성요소가팽창되므로써작동된다.

2. 发明公开

KR1020120028897A 주기표 제 13 족 금속 질화물 결정의 제조 방법 및 제조 장치 无效
标题翻译：金属化合物的晶体生产方法和装置在周期表中与13号组合
公开(公告)号：KR1020120028897A
公开(公告)日：2012-03-23
申请号：KR1020117028786
申请日：2010-06-03
申请人： 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤
发明人： 사이토유야
IPC分类号： C30B29/38 , C30B31/10 , C30B19/06
CPC分类号： C30B19/062 , C30B9/00 , C30B29/38 , Y10T117/1024
摘要： 원료 및 용매를 함유하는 용액 또는 융액을 제조하는 공정, 및 결정 제조 장치에 있어서 상기 용액 또는 융액 중에서 주기표 제 13 족 금속 질화물 결정을 성장시키는 공정을 포함하는 주기표 제 13 족 금속 질화물 결정의 제조 방법에 있어서, 상기 용액 또는 융액이 접촉하는 상기 결정 제조 장치의 부재가 주기표 제 4 족 ? 6 족 원소에서 선택되는 적어도 하나의 금속을 함유하고, 상기 부재 표면에 주기표 제 4 족 ? 6 족 원소에서 선택되는 적어도 하나의 질화물을 함유하는 질화물층을 포함하는 것을 특징으로 하는 주기표 제 13 족 금속 화합물 결정의 제조 방법.

3. 发明公开

KR840005604A 반도체 웨이퍼 지지용 조립장치 失效
公开(公告)号：KR840005604A
公开(公告)日：1984-11-14
申请号：KR830003575
申请日：1983-07-30
IPC分类号： C30B31/10 , C30B31/14
摘要： 내용없음

4. 发明授权

KR101942192B1 잉곳 성장용 원료충진장치 有权
公开(公告)号：KR101942192B1
公开(公告)日：2019-01-24
申请号：KR1020170104510
申请日：2017-08-18
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 이성찬
IPC分类号： C30B31/10 , C30B29/06 , C30B35/00

5. 发明授权

KR100209577B1 망간-아연 페라이트 단결정 성장용 크레이들 및 이의 제조방법 失效
标题翻译： MN-ZN型铁素体单晶的制造方法及制造方法
公开(公告)号：KR100209577B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019920026308
申请日：1992-12-29
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 선우국현 , 함헌주 , 조긍연
IPC分类号： C30B31/10
摘要： 본 발명은 망간-아연 페라이트 단결정 성장용 세라믹 크레이들 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 단결정 성장시 도가니의 중심선 정렬에 불필요한 시간이 소요되지 않고 단결정 성장중에 도가니 회전에 따른 편석 및 기계적 진동에 의한 결정결함이 방생하지 않는 망간-아연 페라이트 단결정 성장용 세라믹 크레이들 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

6. 发明公开

KR1019940014930A 망간-아연 페라이트 단결정 성장용 크레이들 및 이의 제조방법 失效
标题翻译：用于生长锰锌铁氧体单晶的摇篮及其制造方法
公开(公告)号：KR1019940014930A
公开(公告)日：1994-07-19
申请号：KR1019920026308
申请日：1992-12-29
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 선우국현 , 함헌주 , 조긍연
IPC分类号： C30B31/10
摘要： 본 발명은 망간-아연 페라이트 단결정 성장용 세라믹 크레이들 및 이의 제조방법에 관한 것으로. 좀더 구체적으로는 단결정 성장시 도가니의 중심선 정렬에 불필요한 시간이 소요되지 않고 단결정 성장중에 도가니 회전에 따른 편석 및 기계적 진동에 의한 결정결함이 발생하지 않는 망간-아연 페라이트 단결정 성장용 세라믹 크레이들 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

7. 发明公开

KR1020160123655A 입자형 폴리실리콘 제조용 유동층 반응기 审中-实审
标题翻译：流化床反应器制造颗粒状聚硅氧烷
公开(公告)号：KR1020160123655A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：KR1020150053976
申请日：2015-04-16
申请人： 한화케미칼 주식회사
发明人： 안귀룡 , 김길호 , 이원익 , 한주희
IPC分类号： B01J8/18 , C30B31/10
摘要： 본발명은입자형폴리실리콘제조용유동층반응기에관한것이다. 본발명에따른입자형폴리실리콘제조용유동층반응기는반응기의가열방식으로인한종래의문제점 (외부가열방식에따른반응기내 온도의불균일, 내부가열방식에따른폴리실리콘의오염및 공정운용의불안정성)을해결할수 있다. 나아가, 본발명에따른반응기는생산규모의증대를위해반응기의확장이요구되는경우에도균일한가열환경의제공이가능하여, 생산성의향상과생산규모의증대에도유리하다.

8. 发明授权

KR101446839B1 다결정 실리콘을 증착하기 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：多晶硅沉积的装置和工艺
公开(公告)号：KR101446839B1
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：KR1020120110624
申请日：2012-10-05
申请人： 와커 헤미 아게
发明人： 미하일조핀
IPC分类号： C01B33/035 , C30B31/10 , C30B29/06
CPC分类号： C23C16/24 , C01B33/035
摘要： 본 발명은 반응기 벽, 20개 이상의 필라멘트 봉 및 반응기 챔버 내의 반응 가스에 대한 가스 유입 구멍을 갖는 반응기 챔버를 포함하는 다결정 실리콘을 증착하기 위한 장치로서, 반응기 벽에 가까운 필라멘트 봉을 제외한 각각의 필라멘트 봉은 150 내지 450 ㎜의 거리에서 3개의 추가의 인접한 필라멘트 봉 및 1개 내지 3개의 인접한 가스 유입 구멍을 갖는 것인 장치에 관한 것이다.
본 발명은 추가로 이러한 장치에서 필라멘트 봉 위에 다결정 실리콘을 증착하는 방법으로서, 가스 유입 구멍을 사용하여 실리콘 함유 가스를 반응기 챔버로 도입하고 필라멘트 봉을 실리콘이 그 위에 증착되는 온도로 가열하는 것인 방법에 관한 것이다.

9. 发明公开

KR1020130038167A 다결정 실리콘을 증착하기 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：多晶硅沉积的装置和工艺
公开(公告)号：KR1020130038167A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：KR1020120110624
申请日：2012-10-05
申请人： 와커 헤미 아게
发明人： 미하일조핀
IPC分类号： C01B33/035 , C30B31/10 , C30B29/06
CPC分类号： C23C16/24 , C01B33/035
摘要： PURPOSE: A device and a method for attaching poly-crystal silicon are provided to manufacture polycrystalline rod from high purity silicon having rough surface with economically low cost by locating a filament rod and a gas inlet inside of a reactor. CONSTITUTION: A device for attaching poly-crystal silicon comprises a reactor wall(32) and a reactor chamber. The reactor chamber comprises 20 or more of filament rods and a gas inlet(22) for a gas reaction inside of the reactor chamber. The each filament rod except the filament rod near the reactor wall comprises 3 extra filament rods near 150-450mm and 1-3 of close gas inlet holes.
摘要翻译：目的：提供一种用于连接多晶硅的装置和方法，通过将灯丝杆和气体入口置于反应器内部，以经济低成本从具有粗糙表面的高纯度硅制造多晶棒。构成：用于连接多晶硅的装置包括反应器壁（32）和反应室。反应器室包括20个或更多个细丝棒和用于在反应器室内部进行气体反应的气体入口（22）。除了反应器壁附近的细丝杆之外的每个细丝杆包括在150-450mm附近的3个额外的细丝棒和1-3个紧密的气体入口孔。

10. 发明公开

KR1020010020156A 급속 열처리(ＲＴＰ) 시스템용 팽창성 엘라스토머 요소 有权
标题翻译：用于快速热处理系统的可充电弹性体元件
公开(公告)号：KR1020010020156A
公开(公告)日：2001-03-15
申请号：KR1019997009715
申请日：1998-07-10
申请人： 스티그 알티피 시스템즈 게엠베하
发明人： 아쉬너,헬무트 , 메르클레,헬무트 , 발크,울리히 , 체르니켈,디터
IPC分类号： C30B31/10
CPC分类号： C23C16/4409 , C23C16/4401 , C30B25/08 , C30B31/10 , C30B35/00 , H01L21/67115
摘要： 본발명의급속열처리(RTP) 챔버는투명한플레이트및 본체를포함하며, 플레이트는본체로기밀밀봉되며, 기밀밀봉은팽창성요소가팽창되므로써활성화된다.

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