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1. 发明授权

KR102111050B1 엑시머 레이저 소결 공정을 위한 감시 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR102111050B1
公开(公告)日：2020-05-14
申请号：KR1020157001511
申请日：2013-06-20
申请人： 코히런트 레이저시스템즈 게엠바하 운트 컴파니 카게
发明人： 반데르빌트폴
IPC分类号： C30B13/24 , C30B13/28 , C30B29/06 , G01N21/47 , G01N21/84 , H01L21/268 , H01L21/66 , H01L21/02

2. 发明授权

KR101912256B1 저용점 금속의 결정 회수장치 有权
公开(公告)号：KR101912256B1
公开(公告)日：2018-10-29
申请号：KR1020170046080
申请日：2017-04-10
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 윤재식 , 류홍열 , 양재열
IPC分类号： C30B13/28 , C30B13/14 , C30B29/10 , C30B21/02
摘要： 저용점금속의결정회수장치가개시된다. 본발명에따른저용점금속의결정회수장치는, 가열용해된원료용액에종자결정이인접하여고순도의결정이성장되면서연신되어회수되는저용점금속의결정회수장치에있어서, 내측에공간이구비되며일측이개방및 폐쇄되는클린챔버와, 상기클린챔버의내부일측에구비되어상기클린챔버의길이방향으로연장되면서일측외주면에레크기어가구비되는이송가이드와, 상기이송가이드의일측외주면을커버하며, 상기이송가이드에가이드되어상기이송가이드의길이방향을따라상부또는하부로슬라이드되어이송되는승강수단과, 상기승강수단의일측에결합되어하부로연장되며, 단부에상기종자결정이결합되고, 상기종자결정이저온상태를유지하도록내측에냉각수가순환되며, 상기승강수단에의해상부또는하부로이송되면서상기종자결정이회전되도록회전력을발휘하는냉각수단과, 상기냉각수단의상부일측에구비되어상기냉각수단과함께회전되면서상기종자결정에서성장되어가변되는상기결정의무게를측정하여상기냉각수가제어되도록상기냉각수단으로제어신호를전달하는중량감지로드셀과, 상기냉각수단의단부에결합된상기종자결정이상기원료용액에인입되도록내측에원료용액을수용하여회전되는도가니와, 상기도가니의하부및 측면을커버하도록상기도가니를내측에수용하면서타측이상기클린챔버의바닥면을지지하고, 상기도가니에수용되는상기원료용액이용해된상태를유지시키도록열을발생하는가열부재와, 상기가열부재와상기도가니의사이에개재되며, 하부일측이돌출되어상기가열부재의하부를관통하여연장되고, 상부에상기도가니가안착되어결합되면서회전력에의해상기도가니를회전시키는회전부재와, 상기회전부재에회전력이전달되도록상기가열부재의하부를관통하여연장되는상기회전부재의일측과상호치합되며, 상기클린챔버의내부일측에구비되어회전력을발휘하는동력수단을포함하여구성된다. 이에따르면, 용탕에수용되어가열용해된원료용액에접하는냉각수단의단부에성장방향이하방으로생성되는종자결정이결합되어결정의성장방향을설정가능하며, 원료용액이수용되어회전되는용탕과같이냉각수단이회전되며상승하고, 결정의무게또는표면온도에따라냉각수단의온도를제어하여열전도율을조절하여원료용액에서고순도, 고품질의결정을육성하여회수가능한효과가있다.

3. 发明公开

KR1020180114402A 저용점 금속의 결정 회수장치 有权
公开(公告)号：KR1020180114402A
公开(公告)日：2018-10-18
申请号：KR1020170046080
申请日：2017-04-10
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 윤재식 , 류홍열 , 양재열
IPC分类号： C30B13/28 , C30B13/14 , C30B29/10 , C30B21/02
CPC分类号： C30B13/28 , C30B13/14 , C30B13/34 , C30B21/02 , C30B29/10 , C30B35/005
摘要： 저용점금속의결정회수장치가개시된다. 본발명에따른저용점금속의결정회수장치는, 가열용해된원료용액에종자결정이인접하여고순도의결정이성장되면서연신되어회수되는저용점금속의결정회수장치에있어서, 내측에공간이구비되며일측이개방및 폐쇄되는클린챔버와, 상기클린챔버의내부일측에구비되어상기클린챔버의길이방향으로연장되면서일측외주면에레크기어가구비되는이송가이드와, 상기이송가이드의일측외주면을커버하며, 상기이송가이드에가이드되어상기이송가이드의길이방향을따라상부또는하부로슬라이드되어이송되는승강수단과, 상기승강수단의일측에결합되어하부로연장되며, 단부에상기종자결정이결합되고, 상기종자결정이저온상태를유지하도록내측에냉각수가순환되며, 상기승강수단에의해상부또는하부로이송되면서상기종자결정이회전되도록회전력을발휘하는냉각수단과, 상기냉각수단의상부일측에구비되어상기냉각수단과함께회전되면서상기종자결정에서성장되어가변되는상기결정의무게를측정하여상기냉각수가제어되도록상기냉각수단으로제어신호를전달하는중량감지로드셀과, 상기냉각수단의단부에결합된상기종자결정이상기원료용액에인입되도록내측에원료용액을수용하여회전되는도가니와, 상기도가니의하부및 측면을커버하도록상기도가니를내측에수용하면서타측이상기클린챔버의바닥면을지지하고, 상기도가니에수용되는상기원료용액이용해된상태를유지시키도록열을발생하는가열부재와, 상기가열부재와상기도가니의사이에개재되며, 하부일측이돌출되어상기가열부재의하부를관통하여연장되고, 상부에상기도가니가안착되어결합되면서회전력에의해상기도가니를회전시키는회전부재와, 상기회전부재에회전력이전달되도록상기가열부재의하부를관통하여연장되는상기회전부재의일측과상호치합되며, 상기클린챔버의내부일측에구비되어회전력을발휘하는동력수단을포함하여구성된다. 이에따르면, 용탕에수용되어가열용해된원료용액에접하는냉각수단의단부에성장방향이하방으로생성되는종자결정이결합되어결정의성장방향을설정가능하며, 원료용액이수용되어회전되는용탕과같이냉각수단이회전되며상승하고, 결정의무게또는표면온도에따라냉각수단의온도를제어하여열전도율을조절하여원료용액에서고순도, 고품질의결정을육성하여회수가능한효과가있다.

5. 发明授权

KR101854257B1 태양전지용 실리콘 정련 장치 및 그 방법 有权
标题翻译：硅太阳能电池精炼装置及其方法
公开(公告)号：KR101854257B1
公开(公告)日：2018-05-03
申请号：KR1020170038496
申请日：2017-03-27
申请人： 한국생산기술연구원 , 주식회사 탑머티리얼즈
发明人： 문병문 , 정현도 , 백수현 , 황수현
IPC分类号： C30B13/20 , C30B13/14 , C30B13/28 , C30B29/06 , C30B33/02 , H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521 , C30B13/20 , C30B13/14 , C30B13/28 , C30B29/06 , C30B33/02 , H01L31/18
摘要： 본발명은태양전지용실리콘정련장치및 그방법에관한것으로, 내부가진공상태에서아르곤가스분위기로제어되는단계와, 챔버와, 상기챔버의내부에구비되어실리콘을수용하는도가니와, 상기도가니의외주에구비되어상기실리콘을용융시키는그라파이트히터와, 상기그라파이트히터를통해용융된실리콘용탕을고주파와저주파를이용하여가열및 교반시키는유도코일과, 교반되는상기실리콘용탕에스팀플라즈마를공급하는플라즈마토치와, 상기실리콘용탕의일방향응고를위해상기도가니를하강시키는승강부재를포함함으로써, 태양전지용으로사용할수 있는고순도의실리콘으로정련할수 있다.

6. 发明授权

KR101286431B1 부유대역 용융장치 有权
标题翻译：浮动焊接设备
公开(公告)号：KR101286431B1
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：KR1020107014466
申请日：2008-12-17
申请人： 크리스탈 시스템스 코포레이션
发明人： 신도이사무
IPC分类号： C30B13/24 , C30B13/28
CPC分类号： C30B13/24 , Y10T117/1024
摘要： 대구경 시료봉의 용융을 안정되게 실시할 수 있어서, 육성되는 결정의 고액계면 형상을 평평하게 유지하여 대구경 단결정을 육성할 수 있는 부유대역 용융장치를 제공하기 위한 것이다. 부유대역 용융장치는, 투명 석영관으로 형성된 시료실 내부에 시료를 배치함과 더불어, 상기 시료실 내부로 분위기 가스를 유입시키고, 이와 같은 상태에서 복수의 적외선 조사 수단에서 조사된 적외선을 상기 시료에 집광시킴으로써 시료를 가열 용융하여 융액을 형성하고, 상기 융액을 종자결정 상에 고체화시킴으로써 단결정을 육성하는 적외선 집중 가열식 부유대역 용융장치이며, 상기 복수의 적외선 조사 수단은 하향 경사지게 적외선을 조사하는 복수의 하방조사형 적외선 조사 수단과 상향 경사지게 적외선을 조사하는 복수의 상방조사형 적외선 조사 수단으로 구성된다.

7. 发明公开

KR1020120031158A 얇은 실리콘 로드를 위한 클램핑 및 접촉 장치 无效
标题翻译：用于薄硅棒的夹紧和接触装置
公开(公告)号：KR1020120031158A
公开(公告)日：2012-03-30
申请号：KR1020117025769
申请日：2010-03-29
申请人： 시텍 게엠베하
发明人： 스터반,프랭크 , 릭,미하엘
IPC分类号： C01B33/035 , C30B13/28 , C23C16/24
CPC分类号： C01B33/035 , C23C16/24 , C30B13/285
摘要： 실리콘 증착 반응로 내에 얇은 실리콘 로드를 장착 및 전기적으로 접촉시키기 위한 클램핑 및 접촉 장치가 설명되어 있으며, 상기 클램핑 및 접촉 장치는 얇은 실리콘 로드를 수용하기 위한 로드 홀더를 가진다. 로드 홀더는 얇은 실리콘 로드용 수용 공간 주위에 배열되는 3개 이상의 접촉 부재를 포함한다. 각각의 접촉 부재는 상기 얇은 실리콘 로드를 전기적 및 기계적으로 접촉시키기 위한 수용 공간 쪽으로 지향된 접촉면을 형성하며, 인접한 접촉 부재의 상기 접촉면은 이격되어 있다.

8. 发明授权

KR102198127B1 FZ법에 의한 단결정 인상을 위한 방법 및 플랜트 有权
公开(公告)号：KR102198127B1
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：KR1020197023233
申请日：2018-02-13
申请人： 실트로닉 아게
发明人： 슈뢱토마스
IPC分类号： C30B13/28 , C30B13/20 , C30B29/06
摘要： 본발명은, 다결정을전자기용융장치에의하여용융시킨후 재결정화하는, FZ법에의한단결정의인상방법으로서, 제1 단계(P1)에서는, 상기용융장치를향해이동하게되는다결정의하위단부가용융장치에의해용융되어액적을형성하며, 제2 단계(P2)에서는, 단결정질시드가다결정의하위단부에부착되고시드의상위단부로부터시작하여용융되며, 상기용융장치의파워(power; P)는, 제1 단계(P1) 동안그리고제2 단계(P2) 동안, 상기액적(120) 및/또는상기시드(140) 및/또는상기다결정(100)을포함하는, 사용되는결정재료의기하학적치수및/또는온도에적어도일시적으로의존하여사전결정되는것인단결정의인상방법에관한것이며, 또한대응하는플랜트(plant)에관한것이다.

9. 发明授权

KR101579770B1 다중 가열 저융점 금속의 극미량 원소 제어장치 有权
标题翻译：通过在低熔融金属中使用多种热源来控制追踪元素的装置
公开(公告)号：KR101579770B1
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：KR1020140116876
申请日：2014-09-03
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 윤재식
IPC分类号： C30B13/28
CPC分类号： C30B13/28 , C22B9/02 , G02F1/13 , H01L21/324
摘要： 본발명은다중가열저융점금속의극미량원소제어장치에관한것으로, 내부에빈 공간이형성되어대상금속이수용되는튜브; 상기튜브내에위치하며, 상기대상금속이담기는보트; 상기튜브내의상기대상금속을국부적으로가열하여액체상태인용융부(molten zone)로만들며, 상기용융부가복수개 형성되도록복수개 구비되는가열수단; 상기가열수단을상기튜브의길이방향을따라이동시키는이동수단; 및상기대상금속에서상기용융부를제외한영역이고체상태인결정부(crystal zone)가되도록상기대상금속을냉각시키는냉각수단;을포함하여이루어져, 상기대상금속에포함된극미량원소는상기용융부에모이게되고상기가열수단이이동함에따라상기극미량원소를상기대상금속의한쪽끝단부로집중시킨뒤 이를제거함으로써저융점금속에대해서도고순도화정제공정이가능하도록하며, 상기가열수단이복수개 구비됨에따라공정시간을매우단축시킬수 있는다중가열저융점금속의극미량원소제어장치에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于通过使用多个热源来控制低熔点金属元素痕迹的装置，包括：形成内部空间以容纳目标金属的管; 定位在管内并将目标金属放在其中的船; 多个加热单元将管内的目标金属局部加热，制成处于液态的多个熔融区; 移动单元沿着管的纵向方向移动加热单元; 以及冷却单元，冷却所述目标金属，除了所述目标金属中的熔融区域以外，在所述熔融区域中组装所述目标金属中包含的元素的微量元素的晶体区域，并且随着所述加热单元的移动，元素集中在目标金属的一个侧端并被去除，从而能够对低熔点金属施加高纯度的精制工艺，并且随着加热单元的多重装配而缩短加工时间。

10. 发明公开

KR1020100100920A 부유대역 용융장치 有权
标题翻译：浮动焊接设备
公开(公告)号：KR1020100100920A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：KR1020107014466
申请日：2008-12-17
申请人： 크리스탈 시스템스 코포레이션
发明人： 신도이사무
IPC分类号： C30B13/24 , C30B13/28
CPC分类号： C30B13/24 , Y10T117/1024
摘要： 대구경 시료봉의 용융을 안정되게 실시할 수 있어서, 육성되는 결정의 고액계면 형상을 평평하게 유지하여 대구경 단결정을 육성할 수 있는 부유대역 용융장치를 제공하기 위한 것이다. 부유대역 용융장치는, 투명 석영관으로 형성된 시료실 내부에 시료를 배치함과 더불어, 상기 시료실 내부로 분위기 가스를 유입시키고, 이와 같은 상태에서 복수의 적외선 조사 수단에서 조사된 적외선을 상기 시료에 집광시킴으로써 시료를 가열 용융하여 융액을 형성하고, 상기 융액을 종자결정 상에 고체화시킴으로써 단결정을 육성하는 적외선 집중 가열식 부유대역 용융장치이며, 상기 복수의 적외선 조사 수단은 하향 경사지게 적외선을 조사하는 복수의 하방조사형 적외선 조사 수단과 상향 경사지게 적외선을 조사하는 복수의 상방조사형 적외선 조사 수단으로 구성된다.

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