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1. 发明授权

KR102258314B1 불소 전해조 양극 설치부, 불소 전해조 및 불소 가스의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102258314B1
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：KR1020197037085
申请日：2018-06-26
申请人： 쇼와 덴코 가부시키가이샤
发明人： 후쿠치요스케 , 이노우에노조미 , 고바야시히로시
IPC分类号： C25B9/60 , C25B1/24 , C25B15/00

2. 发明公开

KR1020170040109A 삼불화질소 제조용 전해조의 콜렉터 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：用于生产三氟化氮的电解池收集器及其生产方法
公开(公告)号：KR1020170040109A
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：KR1020160126819
申请日：2016-09-30
申请人： 후성정공 주식회사 , 주식회사 효성
发明人： 원지연 , 권철현
IPC分类号： C25B9/00 , C25B9/02 , C25B9/08 , C25B1/24 , C25B13/00
CPC分类号： C25B1/24 , C25B9/00 , C25B9/02 , C25B9/08 , C25B13/00 , C25B1/245
摘要： 본실시예에따른 NF제조용전해조의콜렉터는소정개수의애노드전극들주위를감싸는사각관 형상의측면부, 상기측면부의상단에대하여수직으로연장하여형성되는플랜지, 및상기측면부의하단측에배치되어설정높이까지상기측면부를둘러싸도록형성되는판상의링 형상의보강링을포함하고, 상기측면부는, 상기하단에서상기보강링의높이에상응하는높이까지상기보강링의두께에상응하는크기만큼내측으로돌출되도록두껍게형성되는보강링결합부가형성것을특징으로한다.
摘要翻译：的NF-制造根据本实施例的电解电池中的集电体被设置在所述凸缘，以及该垂直延伸相对于形成为方筒状侧部，周围设置的预定数量的所述阳极电极上的伤口的侧面部分的上端的侧表面的下端到的高度包括被形成为围绕所述侧表面部分的环形板的一个支撑环，该侧部从下端向内由对应于所述加强环的厚度，以对应于所述支承环的高度的高度的量的突出并且形成尽可能厚的加强环联接部分。

3. 发明授权

KR101384720B1 불소 가스 생성 장치 有权
标题翻译：氟气体发生器
公开(公告)号：KR101384720B1
公开(公告)日：2014-04-14
申请号：KR1020127029181
申请日：2011-04-04
申请人： 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
发明人： 야오아키후미 , 나카하라게이타
IPC分类号： C25B1/24 , C25B15/02 , C25B9/00
CPC分类号： C25B1/245 , C25B9/00 , C25B15/02
摘要： 전해조의 제1 기실에 접속되어 불소 가스를 외부 장치로 공급하기 위한 제1 메인 통로와, 제1 기실로부터 불소 가스를 도출하여 반송하는 제1 반송 기기와, 제1 반송 기기의 상류 측의 압력을 검출하는 제1 압력 검출기와, 제1 반송 기기로부터 토출된 불소 가스를 제1 반송 기기의 흡입 측으로 되돌리기 위한 제1 압력 조정 밸브와, 제1 압력 검출기의 검출 압력이 제1 설정값이 되도록 제1 압력 조정 밸브의 개도를 제어하는 제어 장치와, 압력 검출기의 상류 측에 설치되는 기동 밸브와, 밸브 폐쇄 상태에서의 기동 밸브의 전후 차압을 검출하는 차압 검출기를 구비하고, 불소 가스 생성 장치의 기동 시에는, 제어 장치는, 기동 밸브의 전후 차압이 설정 범위 내가 되도록 설정값을 변경하고, 전후 차압이 설정 범위 내가 된 경우에 기동 밸브를 연다.
摘要翻译：第一输送单元，所述输送装置的上游的第一压力连接到所述电解池的第一空气室用于承载从第一和主通道，第一气室中获得的氟气供给氟气向外部装置和第一压力检测器，检测所述第一和第二压力调节阀返回从所述传送单元排出到第一输送装置的抽吸侧的氟气，第一个检测到的压力检测器的压力，使得所述第一设定值和用于控制所述压力控制阀的开度的控制装置，和启动阀，其上安装压力检测器，当用于检测在闭阀状态下的起动阀的前后差压设置有压差检测器的上游，并且所述氟气体发生器的激活，控制装置改变设定值，使得启动阀两端的压差在设定范围内，当差压达到设定范围时打开启动阀。

4. 发明公开

KR1020140035957A 전해장치 无效
标题翻译：电解设备
公开(公告)号：KR1020140035957A
公开(公告)日：2014-03-24
申请号：KR1020137034358
申请日：2012-06-27
申请人： 도요탄소 가부시키가이샤
发明人： 고다마마사시 , 쇼다이요시오
IPC分类号： C25B9/08 , C25B1/24 , C25B13/02 , C25B11/04 , C25B11/12
CPC分类号： C25B1/245 , C25B9/00 , C25B9/08
摘要： 전해조 본체의 상부의 개구가 시일부재를 끼고 제1 덮개체에 의해 폐색된다. 제1 덮개체의 개구는 시일부재를 끼고 제2 덮개체에 의해 폐색된다. 제1 덮개체의 개구는 전해조 본체의 개구보다 작다. 제2 덮개체의 하면에는 전해조 본체 내를 양극실과 음극실로 분리하는 격벽이 일체적으로 설치된다. 양극실은 시일부재의 내측의 영역에 배치된다. 양극은 양극실내에서 제2 덮개체에 부착되고 전해조 본체의 내면에는 음극이 형성된다. 전해조내의 전해욕이 전기 분해됨으로써 양극실에서 불소 가스가 발생한다. 액체 격벽에는 복수의 원형의 관통구멍이 형성되어도 좋다. 각 관통구멍은 양극실측의 단부로부터 음극실측이 단부까지 비스듬히 상방으로 연장되는 상면을 갖는다. 관통구멍의 양극측단의 상하 방향의 직경은 전해욕이 통과 가능하고 또한 불소 가스 및 수소 가스의 기포가 통과하지 않는 크기로 설정된다. 관통구멍의 음극측단의 상하방향의 직경은 관통구멍의 양극측단의 직경보다 크다.

5. 发明授权

KR101357752B1 불소 가스 생성 장치 失效
公开(公告)号：KR101357752B1
公开(公告)日：2014-02-03
申请号：KR1020127015027
申请日：2011-01-18
申请人： 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
发明人： 야오아키후미 , 도쿠나가노부유키
IPC分类号： C25B1/24 , C25B15/02 , C25B9/00
CPC分类号： C25B1/245 , C25B9/00 , C25B15/02 , C25B15/08
摘要： 불소 가스 생성 장치의 긴급 정지 시에 작동하는 긴급 정지 설비를 구비하고, 긴급 정지 설비는, 불소 가스 생성 장치의 긴급 정지에 따른 구동원의 상실에 수반되어 동반 가스 차단 밸브가 닫힘으로써 차단되는 동반 가스 대신, 정제 장치 냉매를 대체 가스로서 공급 가능한 대체 가스 공급 설비와, 대체 가스의 불화수소 공급 통로로의 공급과 차단을 전환하는 대체 동반 가스 차단 밸브와, 불소 가스 생성 장치의 긴급 정지에 따른 구동원의 상실에 수반되어 밸브를 열어 계장 가스를 공급 가능하게 하는 계장 가스 차단 밸브를 가지는 긴급 정지용 계장 가스 공급 설비를 구비하고, 불소 가스 생성 장치의 긴급 정지 시에는, 계장 가스의 공급을 받아 대체 동반 가스 차단 밸브가 열리고 대체 가스가 불화수소 공급 통로로 공급된다.

6. 发明公开

KR1020140003926A 니켈계 전극 및 이를 이용한 삼불화질소 제조방법 有权
标题翻译：基于镍的电极和使用相同的硝酸三聚体的生产
公开(公告)号：KR1020140003926A
公开(公告)日：2014-01-10
申请号：KR1020120071672
申请日：2012-07-02
申请人： 최병구
发明人： 최병구
IPC分类号： C25B11/04 , C01B21/083 , C25B1/24
CPC分类号： C25B11/0431 , C25B1/245
摘要： The present invention relates to an electrode for producing nitrogen trifluoride gas by electrolyzing electrolyte formed of ammonia (NH3)-hydrogen fluoride (HF) based molten salt. The dissolution amount of nickel is remarkably controlled by adjusting the contents of silicon (Si) and iron (Fe) components added to the nickel.
摘要翻译：本发明涉及通过电解由氨（NH 3） - 氟化氢（HF）基熔融盐形成的电解质来生产三氟化氮气体的电极。通过调节添加到镍中的硅（Si）和铁（Fe）成分的含量，显着控制镍的溶解量。

7. 发明公开

KR1020140003925A 삼불화질소 제조 방법 有权
标题翻译：硝基磷酸盐生产方法
公开(公告)号：KR1020140003925A
公开(公告)日：2014-01-10
申请号：KR1020120071670
申请日：2012-07-02
申请人： 최병구
发明人： 최병구
IPC分类号： C25B1/24 , C01B21/083
CPC分类号： C25B1/245 , C01B21/0835
摘要： The present invention relates to a production method of nitrogen trifluoride gas capable of reducing production costs which comprises the following steps: electrolyzing molten salt electrolyte formed of ammonia (NH3) and hydrogen fluoride (HF) in an electrolyzing tank including positive and negative electrodes to obtain nitrogen trifluoride; and refining the nitrogen trifluoride using a coolant. In the production method of nitrogen trifluoride, the hydrogen fluoride (HF) from positive reaction gas and negative reaction gas generated from positive and negative electrodes are collected, and reused as a material for the salt electrolyte.
摘要翻译：本发明涉及一种能够降低生产成本的三氟化氮气体的制造方法，包括以下步骤：在包含正极和负极的电解槽中电解由氨（NH 3）和氟化氢（HF）形成的熔盐电解质，得到三氟化氮; 并使用冷却剂精制三氟化氮。在三氟化氮的制造方法中，收集从正极和负极产生的正极反应气体和负极反应气体的氟化氢（HF），并将其用作盐电解质的材料。

8. 发明公开

KR1020130092393A 정제된 불소를 이용한 전자장치의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：用纯化氟化物制造电子器件的方法
公开(公告)号：KR1020130092393A
公开(公告)日：2013-08-20
申请号：KR1020127029176
申请日：2011-04-07
申请人： 솔베이(소시에떼아노님)
发明人： 좀머,크리스토프 , 디아나,올리비에로 , 아이허,요한네스 , 우엔베렌,에르칸 , 로스,스테판 , 페르니스,홀거 , 프레디칸트,페터,엠. , 슈바르츠,토마스 , 피셔,라이너
IPC分类号： H01L21/02 , B01D53/00 , B01D53/02 , B01D53/68 , H01L21/205 , C23C16/44 , C25B1/24
CPC分类号： B01D53/002 , B01D53/02 , B01D53/685 , B01D2251/304 , B01D2251/60 , B01D2253/112 , B01D2256/26 , B01D2257/2047 , B01D2258/0216 , C23C16/4405 , C25B1/245 , Y02C20/30 , H01L21/02049 , H01L21/205
摘要： 정제된 불소를 사용하는 전자장치의 제조 방법에 관한 것이다. 원소형 불소는 전자장치, 즉 반도체 장치, 마이크로-전자기계 장치, 박막 트랜지스터, 평판 디스플레이 및 태양광 패널의 제조를 위한 식각제, 및 주로 PECVD 장치용 챔버 세정제로서 사용된다. 이 목적을 위해, 불소는 종종 현장에서 생산된다. 본 발명은, 불소를 현장에서 생산하고, 저온처리를 통해 HF로부터 정제시키는 조작에 의한, 전자장치의 제조 방법을 제공한다. 1.5 내지 20 Bara의 압력이 특히 유리하다.

9. 发明公开

KR1020130079363A 불소 공급 방법 无效
标题翻译：氟化物供应方法
公开(公告)号：KR1020130079363A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：KR1020127027821
申请日：2011-03-22
申请人： 솔베이(소시에떼아노님)
发明人： 파가닌,마우리치오
IPC分类号： C01B7/20 , C25B15/02 , C23C16/44 , C25B1/24
CPC分类号： C25B1/245 , C01B7/20 , C23C16/4405 , C25B15/02 , Y02E60/321 , C23C16/44 , C25B1/24
摘要： 원소형 불소는 전자장치, 즉 반도체 장치, 마이크로-전자기계 장치, 박막 트랜지스터, 평판 디스플레이 및 태양광 패널의 제조를 위한 식각제, 및 주로 PECVD 장치용 챔버 세정제로서 사용된다. 이 목적을 위해, 불소는 종종 현장에서 생산된다. 본 발명은, 원소형 불소를 현장에서 대기압보다 높은 압력 하에 생산하고 사용 지점으로 송출함으로써, 원소형 불소가 공기 또는 수분과 같은 가스상 불순물로 오염되는 것을 막는 방법을 제공한다.

10. 发明公开

KR1020130038830A 기체발생장치 无效
公开(公告)号：KR1020130038830A
公开(公告)日：2013-04-18
申请号：KR1020127026145
申请日：2011-03-18
申请人： 도요탄소 가부시키가이샤
发明人： 쇼다이요시오 , 고다마마사시 , 마나베노부타카 , 다나카노리유키
IPC分类号： C25B1/24 , C25B15/08 , C25B9/00
CPC分类号： C25B1/245 , C25B9/00 , C25B15/08
摘要： 본 발명의 불소가스 발생장치는 전해조를 구비한다. 전해조 내에는 전해욕이 형성되어 있다. 음극실 내에 음극이 설치되고 양극실 내에 양극이 설치된다. 음극 및 양극 사이에 전압이 인가됨으로써, HF(불화수소)의 전기분해가 실시된다. 전해조의 음극으로부터 주로 수소가스가 발생하고, 양극으로부터 주로 불소가스가 발생한다. HF흡착탑에 충전된 NaF 펠릿을 가열하기 위한 2개의 가열로가 설치된다. 각 가열로 내에 2개의 HF 흡착탑이 설치된다.

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