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1. 发明授权

KR102136391B1 불소 화합물 가스의 정제 방법 有权
公开(公告)号：KR102136391B1
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：KR1020187025975
申请日：2017-01-27
申请人： 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
发明人： 야오아키후미 , 오야고헤이 , 다케다유타 , 에토준
IPC分类号： C01B7/24 , C01B21/083 , C01G41/04 , B01D53/04

2. 发明公开

KR1020170013169A 에칭 방법 및 에칭 장치 审中-实审
标题翻译：蚀刻方法和蚀刻装置
公开(公告)号：KR1020170013169A
公开(公告)日：2017-02-06
申请号：KR1020160093555
申请日：2016-07-22
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
发明人： 린준 , 다케야고지 , 다치바나미츠히로 , 야오아키후미 , 야마우치구니히로 , 미야자키다츠오
IPC分类号： H01L21/311 , H01L21/3213 , H01L21/67 , H01L21/324
CPC分类号： H01L21/67069 , C23F1/12 , H01L21/3065 , H01L21/31116 , H01L21/31138 , H01L21/32135 , H01L21/32136 , H01L23/53209 , H01L2924/01027 , H05K3/02 , H05K2203/0315
摘要： 코발트막을산화하는산화가스와β-디케톤으로이루어지는에칭가스를이용하여피처리체표면의코발트막을에칭할때, 피처리체에카본막이형성되는것을방지할수 있는기술을제공한다. 피처리체를 250℃이하의온도로가열하면서β-디케톤으로이루어지는에칭가스와, 상기코발트막을산화하기위한산화가스를, 상기에칭가스의유량에대한상기산화가스의유량의비율이 0.5% 내지 50%가되도록상기피처리체에공급한다. 이에의해, 카본막의형성을억제하면서, 상기코발트막을에칭할수 있다.
摘要翻译：蚀刻方法包括通过向目标物体供给含有β-二酮的蚀刻气体和氧化钴膜的氧化气体来蚀刻在目标物体的表面上形成的钴膜的工序。执行蚀刻气体和氧化气体的供给，使得氧化气体与蚀刻气体的流量比在0.5％至50％的范围内，同时将目标物体加热到低于或等于250°的温度 C。

3. 发明公开

KR1020120139806A 다이렉트 터치형 다이어프램 밸브 및 고압 가스 충전 용기 有权
标题翻译：用氢气或卤化物气体填充的集装箱阀
公开(公告)号：KR1020120139806A
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：KR1020127026924
申请日：2011-03-08
申请人： 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 , 가부시키가이샤 네리키
发明人： 우메자키도모노리 , 다나카겐지 , 야오아키후미 , 미야자키다츠오 , 모리이사무 , 가와시마다다유키 , 다케다마사루 , 미야자키고지 , 가미나가고이치 , 사지고이치
IPC分类号： F16K1/30 , F16K7/12 , F16J3/02 , F16K27/00
CPC分类号： F16K1/302 , F16J3/02 , F16K7/126 , F16K7/14 , F16K7/16 , F16K25/00 , F17C2205/0329 , F17C2205/0385 , F17C2205/0394 , F17C2223/0123 , F17C2260/036 , F17C2270/0518
摘要： 본 발명에 의하면, 입구 통로 및 출구 통로가 설치된 밸브 본체와, 밸브 본체의 입구 통로 및 출구 통로에 연통하는 밸브실과, 입구 통로의 내단 개구부에 설치된 밸브 시트부와, 밸브 시트부의 상방에 설치되고, 밸브실 내의 기밀을 유지함과 함께, 입구 통로 및 출구 통로를 개폐하는 다이어프램과, 다이어프램의 중앙부를 하방으로 하강시키는 스템과, 스템을 상하 방향으로 이동시키는 구동부를 구비한 다이렉트 터치형 다이어프램 밸브로서, 밸브 시트부와 다이어프램의 접촉면에 있어서, 밸브 시트부에 있어서의 접촉면의 표면 거칠기 Ra의 값이, 0.1㎛ 이상, 10.0㎛ 이하이고, 밸브 시트부에 있어서의 접촉면의 곡률 반경 R이 100mm 이상, 1000mm 이하이며, 다이어프램의 가스 접촉부 표면적 Sa와 다이어프램과 밸브 시트부의 접촉 면적 Sb의 면적 비율 Sb/Sa가, 0.2% 이상, 10% 이하인 것을 특징으로 하는 다이렉트 터치형 다이어프램 밸브가 제공된다. 본 발명의 밸브는, 충분한 기밀성을 가지고, 할로겐 가스 또는 할로겐 화합물 가스용의 충전 용기용 밸브로서 바람직하게 사용된다.

4. 发明授权

KR101167622B1 불소화 나노 다이아몬드 분산액의 제작방법 有权
标题翻译：生产氟化纳米金刚石分散体的方法
公开(公告)号：KR101167622B1
公开(公告)日：2012-07-20
申请号：KR1020107009951
申请日：2008-10-10
申请人： 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
发明人： 야오아키후미
IPC分类号： C01B31/06 , C09K3/14 , C30B29/04
CPC分类号： C01B31/065 , C01B32/25 , C01B32/28
摘要： 불소화 나노 다이아몬드와 탄소수 4 이하의 알콜을 혼합하고, 초음파 처리함으로써 현탁액을 제작하여, 얻어지는 현탁액을 원심분리에 의한 분급 처리에 의하여 불소화 나노 다이아몬드의 분산액을 제작하는 정제공정, 당해 정제공정에서 얻어지는 불소화 나노 다이아몬드의 분산액으로부터 상기 알콜을 제거함으로써 건조 불소화 나노 다이아몬드를 제작하는 건조공정, 당해 건조공정에서 얻어지는 건조 불소화 나노 다이아몬드와 비프로톤성 극성 용매를 혼합하고, 초음파 처리에 의하여 불소화 나노 다이아몬드 분산액을 제작하는 재분산 공정을 포함하는, 불소화 나노 다이아몬드 분산액의 제작방법이 제공된다.

5. 发明公开

KR1020110034657A 불소화 나노 다이아몬드와 그 분산액 및 그 제작방법 有权
标题翻译：氟化纳米金刚石及其分散体及其制造方法
公开(公告)号：KR1020110034657A
公开(公告)日：2011-04-05
申请号：KR1020117002255
申请日：2009-06-03
申请人： 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
发明人： 야오아키후미
IPC分类号： C01B31/06 , C01B9/08
CPC分类号： C09K3/1472 , C01B9/08 , C01B32/25 , C01P2006/80
摘要： 본 발명에 의하면, 산소와 불소의 원소비(O/F)가 0.06∼0.20인 것을 특징으로 하는 불소화 나노 다이아몬드, 그 불소화 나노 다이아몬드를 알콜류를 함유하는 분산매에 분산시킨 불소화 나노 다이아몬드 분산액 및 그 불소화 나노 다이아몬드 분산액의 제작방법이 제공된다.

6. 发明授权

KR102231220B1 불소 화합물 가스의 정제 방법 有权
公开(公告)号：KR102231220B1
公开(公告)日：2021-03-24
申请号：KR1020207020511
申请日：2017-01-27
申请人： 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
发明人： 야오아키후미 , 오야고헤이 , 다케다유타 , 에토준
IPC分类号： C01B7/24 , C01B21/083 , C01G41/04 , B01D53/04
摘要： 개시되어있는것은, 불화수소및 금속성분을포함하는불소화합물가스로부터금속성분을제거하는정제방법이다. 이방법은, 상기불소화합물가스를, 고체의금속불화물에접촉시키고, 불화수소및 금속성분을상기금속불화물에흡착시켜제거하는제거공정을포함한다. 불소화합물가스가, ClF, ClF3, IF5, IF7, BrF3, BrF5, NF3, WF6, SiF4, CF4, SF6, BF3으로이루어지는군으로부터선택되는적어도 1종을포함하는것이바람직하고, 금속불화물이, 알칼리금속불화물또는알칼리토류금속불화물인것이바람직하다. 불소화합물가스에불화수소를공존시킴으로써, 의외로불순물로서의금속성분을금속불화물에흡착시켜제거할수 있다.

7. 发明授权

KR101969517B1 드라이 에칭 가스 및 드라이 에칭 방법 有权
公开(公告)号：KR101969517B1
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：KR1020177026784
申请日：2016-03-04
申请人： 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
发明人： 나카무라요스케 , 후지와라마사키 , 오모리히로유키 , 야오아키후미
IPC分类号： C09K13/08 , H01L21/3065 , C07C17/383 , C07C21/18

8. 发明公开

KR1020140114001A 가스 생성 장치 有权
标题翻译：气体发生装置
公开(公告)号：KR1020140114001A
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：KR1020147021561
申请日：2012-10-23
申请人： 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
发明人： 야오아키후미 , 기쿠치아키오
IPC分类号： C25B9/00 , C25B1/24
CPC分类号： C25B1/245 , B01D46/10 , B01D46/30 , C25B1/02 , C25B9/00 , C25B15/08
摘要： 개시되어 있는 것은, 통 형상의 하우징(51)과, 전해조로부터 발생한 가스를 도입하는 가스 도입구(52)와, 하우징으로부터 가스를 도출시키는 가스 도출구(53)와, 가스 도입구(52)와 가스 도출구(53)의 사이에 위치하고, 미스트나 미립자를 흡착시키기 위한 충전재(56)를 수용하는 충전재 수용부(58)와, 가스 도입구(52)와 충전재 수용부(58)의 사이에 위치하고 있으며, 전해조(1)로부터 발생한 가스를 하우징(51) 내에 확산시키기 위한 가스 확산부(57)를 구비한 미스트 트랩(50a)을 갖고, 가스 도출구(53)는, 하우징(51) 내로 연통하는 가스 도입 튜브(55)를 갖고 있으며, 가스 도입 튜브(55)의 가스 입구부(59)가, 상기 충전재 수용부(58)에 수용된 충전재(56)에 매립되도록 배치되어 있는 가스 생성 장치(100)이다.
摘要翻译：公开了一种气体发生装置100，其具有装配有管状壳体51的雾气阱50a，用于允许从电解池产生的气体的气体入口52，用于使气体从壳体流出的气体出口53 位于气体入口52和气体出口53之间并且接收用于吸附雾和微粒的填充物56的填料容纳部58以及位于气体入口52和填料之间的气体扩散部57 接收部分58，用于通过壳体51扩散从电解池1产生的气体，气体出口53具有连接到壳体51内部的气体入口管55，以及气体入口部分59 气体入口管55布置成嵌入在填充物接收部分58中的填充物56中。

9. 发明公开

KR1020130143650A 불소 화합물의 전해 합성용 전극 및 전해 합성 방법 无效
标题翻译：通过电解和电极合成荧光体化合物的方法
公开(公告)号：KR1020130143650A
公开(公告)日：2013-12-31
申请号：KR1020137026813
申请日：2012-01-27
申请人： 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
发明人： 모리이사무 , 야오아키후미 , 기쿠치아키오 , 요네쿠라마사아키 , 호리우치히로시
IPC分类号： C25B1/24 , C25B11/04 , C25B11/12
CPC分类号： C25B11/0478 , C25B1/245 , C25B11/12 , C25D3/66 , C25D9/06
摘要： 본 발명의 불소 화합물의 전해 합성용 전극은, 적어도 그 표면이 도전성 탄소 재료로 이루어지는 전극 기재와, 상기 전극 기재 표면의 일부에 피복된 도전성 다이아몬드층과, 상기 도전성 다이아몬드층이 피복되어 있지 않은 상기 전극 기재의 노출부에 피복된 금속 불화물 함유막을 구비한다. 당해 전해 합성용 전극에서는, 전극 표면에서의 불화흑연층의 생성을 억제해, 전극의 유효 전해 면적의 감소를 방지하여, 불화수소를 포함하는 용융염 전해욕에 있어서 안정적으로 전해를 실시할 수 있다.

10. 发明授权

KR101331918B1 불소 가스 공급 시스템 失效
标题翻译：氟气供应系统
公开(公告)号：KR101331918B1
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：KR1020117025435
申请日：2010-02-26
申请人： 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
发明人： 기쿠치아키오 , 모리이사무 , 야오아키후미 , 미야자키다츠오 , 나카하라게이타
IPC分类号： H01L21/3065 , C01B7/20 , H01L21/205
CPC分类号： C01B7/20 , B01F3/028 , B01F15/0408 , G05D11/132
摘要： 본 발명은, 불소 가스 발생 장치에서 발생시킨 불소 가스를 반도체 처리 장치에, 안정적이고, 대량으로 또한 정밀한 농도로 공급 가능한 불소 가스의 공급 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다. 불소 가스의 공급 시스템에 있어서, 버퍼 탱크에 저장한 혼합 가스를, 버퍼 탱크 내에서 혼합 가스를 조정하기 전의 가스 도입 배관에 도입하여, 혼합 가스를 순환시키는 것, 또한, 혼합 가스 중의 불소 농도를 측정하는 감시 장치를 설치하고, 얻어진 불소 농도에 응답하여, 불활성 가스 공급원의 유량을 조정할 수 있는 구성으로 하였다.

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