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    • 7. 发明授权
    • 고주파 특성이 향상된 이방 전도성 시트
    • KR102463229B1
    • 2022-11-04
    • KR1020200108319
    • 2020-08-27
    • H01B5/16H01B3/44C08K7/14C08L27/18H01L21/66G01R1/04
    • 본발명은반도체소자등의검사에사용되는테스트용소켓등에사용되는이방전도성시트에관한것이다. 본발명은, 검사대상인소자와검사장치사이에배치되어상기소자의단자와검사장치의접촉패드를서로전기적으로연결하는이방전도성시트로서, 상기소자의단자및 검사장치의접촉패드에대응하는위치마다제1 관통구멍이형성되며, 폴리테트라플루오로에틸렌계수지로이루어진제1 절연시트와; 상기제1 절연시트의제1 관통구멍내에배치되며, 제1 탄성매트릭스와; 이탄성매트릭스내에배치된제1 전도성입자들을구비하며, 상기제1 전도성입자들은상기탄성매트릭스의두께방향을따라서정렬되는제1 도전부와; 상기제1 절연시트의상기검사장치측 일면에결합하며, 상기제1 도전부에대응하는위치에배치되며절연성탄성물질내에다수의제2 전도성입자들이두께방향으로분포된복수의제2 도전부들과, 상기제2 도전부들을서로절연시키면서지지하는절연부를포함하는제1 도전시트를포함하는것을특징으로하는이방전도성시트를제공한다.