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    • 5. 发明公开
    • 트리플루오르메틸 하이포플루오라이트의 합성 및 정제방법
    • 三氟甲基次氟酸盐的合成与提纯方法
    • KR1020170036922A
    • 2017-04-04
    • KR1020150135416
    • 2015-09-24
    • (주)원익머트리얼즈
    • 이건종김종수김영래송한덕최호윤정성진백종민김태형박새미
    • C07C67/48C07C71/00B01J27/12
    • 본발명은트리플루오르메틸하이포플루오라이트(Trifluoromethyle hypofluorite, CF3OF)를합성및 정제방법에관한것으로서, 더욱구체적으로는, 트리플루오르메틸하이포플루오라이트(CFOF)의합성및 정제방법에있어서, F가스와 COF가스를고체촉매용반응기에서혼합하여반응시키는합성단계(S10)와; 상기합성된혼합가스를 (CFOF)의비점온도보다낮은온도로형성된 1차정제기에서 1차정제시키는단계(S20)와; 상기 1차정제된가스를 (CFOF)의비점온도보다높은온도로형성된 2차정제기에서 2차정제시키는단계(S30);를순차적인단계가이루어진것을특징으로하는트리플루오르메틸하이포플루오라이트(CFOF)의합성및 정제방법에관한것이다. CFOF 가스는유기합성의전구체, 반도체공정또는디스플레이공정용크리닝가스및 에칭가스로도사용이가능한매우유용한 OF계가스이다. CFOF 가스의합성은 F가스와 COF가스를금속불화물촉매하에서반응시켜 CFOF를제조한다. 제조된 CFOF는 1차및 2차정제장치로이송되어불순물을제거하도록이루어지는것이다. 제거방법으로서는비점(Boiling point)을이용한극저온(Cryogenic)하의온도에서불순물을효과적으로제거하여, 일정수준의순도(99.9%이상)를취득하는효과를특징으로하는것이다.
    • 在本发明中,三氟甲基次氟化物涉及(Trifluoromethyle次氟化物,CF3OF)的合成和纯化方法,并且更具体地,三氟合成和甲基次氟化物的纯化(CFOF),F气体和COF 在固体催化剂用反应器中使气体混合并反应的合成工序(S10) (S20),首先在低于(CFOF)的沸点温度的温度下形成的第一净化器中纯化合成气体混合物; (S30),在比第一净化气体中的(CFOF)的沸点温度高的温度下形成的二次净化器中进行二次净化。 并提供了一种净化方法。 CFOF气体是非常有用的基于OF的气体,其也可以用作有机合成前体,用于半导体工艺或显示工艺的清洁气体以及蚀刻气体。 在CFOF气体的合成中,通过使F气体和COF气体在金属氟化物催化剂下反应来生产CFOF。 将生产的CFOF转移到初级和次级精磨机中去除杂质。 该除去方法的特征在于使用沸点在低于低温的温度下有效地除去杂质以获得一定水平的纯度(99.9%或更高)的效果。