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1. 发明授权

KR102465703B1 화학 기계적 연마 장치 및 화학 기계적 연마 방법 有权
公开(公告)号：KR102465703B1
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：KR1020170156381
申请日：2017-11-22
IPC分类号： B24B37/04 , B24B57/02 , B24B37/005 , B24B37/015 , H01L21/306
摘要： 본발명은기판을연마하기위한연마면을갖는연마패드, 상기연마면의온도를조절하기위한온도조절유체를상기연마면에공급한후에상기연마면의온도에따라슬러리의온도가조절되도록상기연마면에미가열된슬러리를공급하는공급부, 및상기연마면의온도에따라온도가조절된슬러리를이용하여상기기판을연마하는연마헤드를포함하는화학기계적연마장치및 화학기계적연마방법에관한것이다.

2. 发明公开

KR1020220085736A 인-시튜 전자기 유도 모니터링에서의 슬러리 조성에 대한 보상 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220085736A
公开(公告)日：2022-06-22
申请号：KR1020210179284
申请日：2021-12-15
IPC分类号： B24B49/02 , B24B57/02 , H01L21/321 , H01L21/67 , B24B37/30
摘要： 화학적기계적연마의방법은, 기판의전도성층을연마패드와접촉시키는단계, 연마패드에연마액체를공급하는단계, 기판과연마패드사이에상대적인움직임을생성하는단계, 전도성층의두께에의존하는일련의신호값들을생성하기위해, 전도성층이연마됨에따라인-시튜전자기유도모니터링시스템으로기판을모니터링하는단계, 및일련의신호값들에기반하여전도성층에대한일련의두께값들을결정하는단계를포함한다. 일련의두께값들을결정하는단계는신호값들에대한연마액체의기여를적어도부분적으로보상하는단계를포함한다.

3. 发明授权

KR102399064B1 화학적 기계적 연마를 위한 방법, 시스템, 및 연마 패드 有权
公开(公告)号：KR102399064B1
公开(公告)日：2022-05-16
申请号：KR1020177002230
申请日：2015-07-10
IPC分类号： B24B37/10 , B24B37/26 , B24B57/02 , B24B37/04 , H01L21/306
摘要： 화학적기계적연마는, 기판의전면표면의제한된영역상에서연마가수행되는 "터치-업연마"를위해사용될수 있다. 연마패드와기판간의접촉영역은, 기판의반경표면보다실질적으로더 작을수 있다. 연마동안, 연마패드는궤도모션을겪을수 있다. 연마패드는, 궤도모션동안, 고정된각 배향으로유지될수 있다. 접촉영역은아크형상일수 있다. 접촉영역은, 연마패드의상부부분으로부터하향으로돌출되는하나또는그 초과의하부부분들에의해제공될수 있다. 연마패드의둘레부분은환형부재에수직적으로고정되고, 연마패드중 둘레부분내의나머지연마패드는수직적으로자유로울수 있다.

4. 发明授权

KR102381675B1 선재 신선용 연마기 및 이를 포함하는 선재 신선장치 有权
公开(公告)号：KR102381675B1
公开(公告)日：2022-03-31
申请号：KR1020200143993
申请日：2020-11-01
IPC分类号： B24B5/38 , B24B57/02 , B24B41/02 , B21C1/02
摘要： 본발명에따른선재신선용연마기는, 선재가통과할수 있는다이스를이용하여선재의굵기를축소시키는신선유닛으로공급되는선재의표면을연마하기위한선재신선용연마기로서, 고정프레임; 선재가통과할수 있는회전블록홀을구비하는한 쌍의회전블록과, 상기한 쌍의회전블록을상호이격된상태로연결하는연결대를구비하고, 상기한 쌍의회전블록사이를통과하는선재의이송방향과평행한회전중심축을중심으로회전할수 있도록상기고정프레임에설치되는회전프레임; 상기회전프레임에회전력을제공하는동력전달부; 및상기한 쌍의회전블록사이를통과하는선재의표면에접하여선재의표면을연마하기위한연마부를구비하고, 상기연마부가상기선재의이송방향과평행하게놓이도록상기연결대에결합되는연마재;를포함한다.

5. 发明授权

KR102371040B1 폴리싱 장치 및 폴리싱 방법 有权
公开(公告)号：KR102371040B1
公开(公告)日：2022-03-07
申请号：KR1020207005973
申请日：2018-07-11
IPC分类号： B24B37/013 , B24B49/12 , B24B57/02 , H01L21/304 , H01L21/306
摘要： 본발명에따른몇몇실시예들은웨이퍼의표면을폴리싱하도록구성된폴리싱메커니즘을가진장치를포함한다. 폴리싱메커니즘은폴리싱공정동안새로운슬러리를사용된슬러리로변환시킨다. 하나이상의이미터는전자기방사선을사용된슬러리에또는사용된슬러리를통해안내하도록구성된다. 하나이상의디텍터는사용된슬러리로부터전자기방사선의반사율또는사용된슬러리를통과하는전자기방사선의투과율을탐지하도록구성된다. 식별시스템이하나이상의디텍터와결합되며폴리싱공정의종점에도달했는지를나타내는사용된슬러리의특성을식별하도록구성된다. 제어회로가식별시스템과결합되며식별시스템으로부터트리거를수용했는지에따라폴리싱공정을중지하도록구성된다. 본발명의또 다른몇몇실시예들은폴리싱방법들을포함한다.

6. 发明授权

KR102363154B1 CMP 연마 패드용 파편-제거 홈 有权
公开(公告)号：KR102363154B1
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：KR1020170036719
申请日：2017-03-23
IPC分类号： B24B37/26 , B24B37/04 , B24B57/02
摘要： 본발명은반도체, 광학및 자성기판중의적어도하나를연마하거나평탄화하는데적합한연마패드를제공한다. 상기연마패드는, 연마또는평탄화용연마층작동영역을나타내는연마트랙, 두께, 및폴리머매트릭스를갖는연마층을포함한다. 방사성배출홈은, 상기연마트랙을통하여신장되어, 상기연마트랙을통하여그리고이를반도체기질, 광학기질및 자성기질중 적어도하나아래로, 그리고이후상기연마패드의회전동안상기연마트랙너머상기연마패드의외주면으로향하도록하여연마파편제거를용이하게한다.

7. 发明授权

KR102354885B1 알루미늄 판재를 이용한 인덕션 조리 용기 제조방법 및 그 장치 有权
公开(公告)号：KR102354885B1
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：KR1020210045094
申请日：2021-04-07
IPC分类号： A47J36/02 , A47J27/00 , B23P15/00 , B24C1/10 , B24B57/02
摘要： 개시된본 발명에따른알루미늄판재를이용한인덕션조리용기제조방법및 그장치중 알루미늄판재를이용한인덕션조리용기제조방법은, 알루미늄소재의모재표면을세척하는제1 단계; 상기모재의표면을블라스팅(Blasting)하여거친표면조도층을형성하는제2 단계; 상기모재의표면에용융상태로가열시킨자성체용융금속입자를가속시켜자성체용사층을형성하는제3 단계; 상기자성체용사층이형성시발생되는변형을평면으로교정하는제4 단계; 상기자성체용사층의용사표면을연마하는제5 단계; 및상기연마단계수행후에상기모재를조리용기형상으로프레스하는제6 단계;를포함한다. 본발명에의하면, 알루미늄판재를원형으로가공하고, 원형판재의표면에자성체의용융금속을분사하고, 분사과정에서변형된원형판재를평면교정하고, 용융금속의표면을사상한후 조리기구의형상으로프레스하게되므로자성체용사층을통해기존의열팽창계수의차이로인한변형을방지가능하고, 자성체용사에의한변형을교정을통해평면화시켜적층시부피감소에의한물류비등이감소되는효과가있다.

8. 发明授权

KR102346305B1 실리콘 웨이퍼의 연마방법 有权
公开(公告)号：KR102346305B1
公开(公告)日：2022-01-03
申请号：KR1020177016099
申请日：2015-11-25
IPC分类号： H01L21/304 , B24B57/02
摘要： 본발명은, 실리콘웨이퍼의연마방법으로서, 실리콘웨이퍼에공급되어연마에사용된연마지립함유의사용완료슬러리를회수하고, 이회수한사용완료슬러리를실리콘웨이퍼에순환공급하여연마를행하는연마방법이며, 회수한사용완료슬러리에, 미사용의연마지립을주가하지않고, 킬레이트제와, pH조정제및 연마레이트촉진제중의일방또는양방을포함하는혼합알칼리용액을주가하여, 회수한사용완료슬러리를실리콘웨이퍼에순환공급하여연마를행하는것을특징으로하는실리콘웨이퍼의연마방법이다. 이에따라, 사용완료슬러리를실리콘웨이퍼에순환공급하여연마를행하는경우에, 금속불순물오염의발생을억제하고, 또한, 사용완료슬러리의조성(킬레이트제의농도등)을안정시킬수 있는실리콘웨이퍼의연마방법이제공된다.

9. 发明授权

KR102343159B1 연삭 장치 有权
公开(公告)号：KR102343159B1
公开(公告)日：2021-12-23
申请号：KR1020160087998
申请日：2016-07-12
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/005 , B24B37/34 , B24B57/02 , H01L21/306 , H01L21/66 , H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/449
摘要： (과제) 초음파를전파하는세정수를분사하여연삭지석을세정하는연삭장치를사용하여웨이퍼를연삭하는경우에, 연삭지석의연삭력을유지한다. (해결수단) 연삭장치 (1) 에있어서, 연삭수단 (7) 에구비되는연삭지석 (740) 의연삭면 (740a) 에초음파를전파하는세정수를분사하는초음파세정수공급수단 (9) 과, 스핀들모터 (72) 의전류값을측정하는전류값측정부 (14) 와, 전류값측정부 (14) 가측정하는전류값에따라초음파발진의 ON/OFF 를전환하는 ON/OFF 수단 (16) 을포함하고, ON/OFF 수단 (16) 은, 연삭수단 (7) 에의한연삭중에변화되어전류값측정부 (14) 가측정하는스핀들모터 (72) 의전류값에대해상한값과하한값을설정하고, 전류값측정부 (14) 가측정하는스핀들모터 (72) 의전류값의상한값과하한값사이에서초음파세정수공급수단 (9) 에구비되는고주파전원 (91) 으로부터의고주파전력의공급을 ON/OFF 수단 (16) 에의해전환하여연삭하는것으로하였다.

10. 发明授权

KR102305377B1 연마 장치 有权
公开(公告)号：KR102305377B1
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：KR1020160057361
申请日：2016-05-11
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/67 , B24B37/04 , B24B37/34 , B24B57/02
摘要： 본발명은, 슬러리의사용량을줄임과더불어, 효율적으로슬러리를순환이용할수 있도록하는것을목적으로한다. 연마장치(1)는, 척테이블(3)의하측에서슬러리(45)를저류하여연마패드(25)의연마면(25a)에슬러리(45)를순환공급하는슬러리순환수단(50)을구비하고, 슬러리순환수단(50)은, 척테이블(3)의주위에서슬러리(45)를저류하는오목형상의통부(51)와, 상기연마면(25a)을향해에어를분출하는에어분출구(56)를통부(51)에저류된슬러리중에갖는에어공급수단(55)을구비하기때문에, 통부(51)에슬러리(45)를저류해둘 수있음과더불어에어공급수단(55)이에어분출구(56)로부터에어를분출시키고통부(51)에저류된슬러리(45)를뿜어올려연마패드(25)의연마면(25a)에슬러리(45)를순환공급할수 있다. 따라서, 슬러리(45)의사용량을줄임과더불어효율적으로슬러리(45)를순환이용할수 있다.

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