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1. 发明公开

KR1020130064107A 기판 처리 장치 및 전원 관리 방법 有权
标题翻译：基板加工设备和电源管理方法
公开(公告)号：KR1020130064107A
公开(公告)日：2013-06-17
申请号：KR1020137006806
申请日：2011-09-16
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 하시모토고지 , 무쿠타노부히로
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/02
CPC分类号： G05B19/02 , G05B19/41865 , G05B2219/32021 , G05B2219/45032 , H01L21/67276 , Y02P70/161 , Y02P70/605 , Y02P80/114 , Y02P90/20 , Y02P90/205
摘要： 기판 처리 장치(1)는, 기판의 처리를 위한 공정을 실행하는 복수의 유닛과, 상기 복수의 유닛에 각각 대응하고 있으며, 대응하는 상기 유닛에 전력을 공급하는 온 상태와, 대응하는 상기 유닛에 대한 전력 공급을 정지하는 오프 상태의 사이에서 전환되는 복수의 온·오프 전환 장치(22)와, 상기 기판 처리 장치(1)에 투입되는 기판의 처리 내용 및 종료 기한을 포함하는 생산 정보를 취득하여, 상기 처리 내용에 따라 상기 복수의 유닛에 의해 행해지는 모든 공정이 상기 종료 기한 이전에 완료되도록, 상기 복수의 유닛의 가동 계획을 나타내는 타임 차트를 상기 생산 정보에 기초하여 작성하고, 상기 타임 차트에 기초하여 상기 복수의 유닛을 가동시킴과 함께, 상기 타임 차트에 기초하여 상기 복수의 온·오프 전환 장치(22)를 제어하는 제어 장치(6)를 포함한다.

2. 发明公开

KR1020070092148A 기판 처리 장치의 제어 장치 및 기판 처리 장치의 제어방법 有权
标题翻译：用于基板处理装置的控制装置和方法
公开(公告)号：KR1020070092148A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：KR1020070022334
申请日：2007-03-07
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 이이지마기요히토
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32021 , G05B2219/45031 , H01L21/67276 , Y02P70/161 , Y02P70/605 , Y02P80/114 , Y02P90/20 , Y02P90/205 , Y02P90/265
摘要： An apparatus for controlling a substrate processing apparatus is provided to reduce the energy consumed in an idling process while precisely adjusting the condition in a process chamber by memorizing accumulated data in a memory part and by performing a precise time control while using various kinds of timers. A substrate is processed in a process chamber. A plurality of units adjust the state in the process chamber. An interval of time necessary for recovering each unit from an energy saving mode of suppressing consumption of energy to a normal mode capable of processing a substrate is memorized in every unit by a memory part. Based upon the recover time of each unit memorized in the memory part, a management part predicts an interval of time necessary for recovering a unit from an energy saving mode to a normal mode and starts recovering of a unit in an energy saving mode. A unit control part independently controls each unit to recover the unit in an energy saving mode to a normal mode according to the start time of recovering obtained by the management part. Instead of controlling each unit according to the start time of recovering obtained by the management part, the unit control part can control each unit in a manner that completes recovering of each unit from the energy saving mode by designated end time of recovering.
摘要翻译：提供了一种用于控制基板处理装置的装置，以通过将累积数据存储在存储器部分中并通过在使用各种定时器的同时执行精确的时间控制来精确地调整处理室中的状态，来减少怠速过程中的能量。在处理室中处理衬底。多个单元调整处理室中的状态。将从抑制能量消耗的能量节能模式恢复到能够处理衬底的正常模式所需的时间间隔由存储器部件存储在每个单元中。基于存储部存储的每个单元的恢复时间，管理部件将从节能模式恢复到正常模式所需的时间间隔，并且以节能模式开始恢复单元。单元控制部根据由管理部获得的恢复开始时间，独立地控制各单元将节能模式中的单元恢复到正常模式。代替根据由管理部分获得的恢复的开始时间来控制每个单元，单元控制部分可以以指定的恢复结束时间从节能模式完成每个单元的恢复的方式来控制每个单元。

3. 发明授权

KR101609961B1 제어 장치, 제어 방법, 및 기록 매체 有权
标题翻译：控制装置控制方法和记录介质
公开(公告)号：KR101609961B1
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：KR1020147013348
申请日：2012-08-30
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 카와이와카히로
IPC分类号： H02J13/00 , G05B19/418
CPC分类号： G05F1/66 , G05B15/02 , G05B19/41865 , G05B2219/25391 , G05B2219/32021 , G05B2219/34306 , H02J3/14 , Y02B70/3225 , Y02P70/161 , Y02P70/163 , Y02P80/11 , Y02P80/114 , Y02P90/20 , Y02P90/205 , Y04S20/222
摘要： 제어장치(20)는, 설비(A)의전력량을감시하는전력량감시부(21)와, 제조라인의정지예정기간을나타내는정지기간정보를기억하는정지기간정보기억부(23)와, 설비(B 내지 D)의전원을, 설비(A)의전력량및 정지기간정보에의거하여제어하는정지제어부(25) 및기동제어부(26)를구비한다.

4. 发明授权

KR101479885B1 전원 관리 장치 및 이 전원 관리 장치를 구비한 공작 기계 有权
标题翻译：供电管理设备和供电管理设备提供的电机工具
公开(公告)号：KR101479885B1
公开(公告)日：2015-01-06
申请号：KR1020137008674
申请日：2011-09-30
申请人： 시티즌 도케이 가부시키가이샤 , 시티즌 마쉬나리 가부시키가이샤
发明人： 마츠마루하지메 , 아키모토사토루 , 마츠모토히토시 , 시부이유타카 , 츠유사키우메오 , 시노하라히로시 , 야나기다이라시게오
IPC分类号： B23Q15/00 , G05B19/18
CPC分类号： G06F1/3203 , G05B15/02 , G05B19/18 , G05B2219/32021 , G05B2219/34306 , G05B2219/34315 , G05F5/00 , G06F1/26 , H02J3/14 , Y02P70/161 , Y02P70/163 , Y02P70/169 , Y02P80/114 , Y02P90/205
摘要： 전동부에의 전원의 공급을 효율적으로 접단할 수 있는 전원 관리 장치 및 이 전원 관리 장치를 구비한 공작 기계를 제공한다. 전원 관리 장치(101)는 제어 프로그램의 대기 지령을 검출하고, 검출한 대기 지령에 기초하여, 이 대기 지령에서 대기의 대상이 되는 각 제어 계통에서의 대기 동안의 전동부의 작동 시간을 비교한다. 다음으로, 전원 관리 장치(101)는, 대기 동안의 전동부의 작동 시간이 최대가 되는 제어 계통 이외의 제어 계통에 속하는 전동부에의 전원의 공급을, 각 제어 계통에서의 제어 종료후에 차단하고, 각 제어 계통에서의 대기의 종료시에 전원의 공급을 재개한다.

5. 发明授权

KR101444633B1 제어 장치, 제어 방법, 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 有权
标题翻译：控制装置，控制方法，计算机可读记录介质
公开(公告)号：KR101444633B1
公开(公告)日：2014-10-30
申请号：KR1020137022358
申请日：2011-03-17
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 카와이와카히로
IPC分类号： G05B19/418 , H02J13/00
CPC分类号： G05B13/02 , G05B19/418 , G05B2219/32021 , Y02P70/161 , Y02P90/02 , Y02P90/205
摘要： 제조 라인(10)은, 설비(A), 설비(B), 설비(C), 설비(D), 및 제어 장치(20)를 구비하고 있다. 설비(A), 설비(B), 설비(C), 설비(D)는, 이 순서로 워크에 대해 처리를 실행한다. 제어 장치(20)는, 설비(A)의 전원이 온으로 된 때부터 현시점까지의 설비(A)의 전력량을 감시하는 감시부(21)와, 상기 전력량이 임계치(A)보다 낮은 값부터 임계치(A) 이상의 값으로 증가한 경우에 설비(B)의 전원을 오프로부터 온으로 전환하는 전원 제어부(22)를 구비하고 있다. 이에 의해, 복수의 설비를 갖는 라인에서 불필요한 전력 소비를 억제한다.

6. 发明公开

KR1020140096075A 생산 처리 시스템, 생산 처리의 제어 장치, 생산 처리의 제어 방법 및 생산 처리의 제어 프로그램 审中-实审
标题翻译：生产加工系统，生产加工用控制装置，生产加工控制方法及生产加工控制方案
公开(公告)号：KR1020140096075A
公开(公告)日：2014-08-04
申请号：KR1020147013815
申请日：2012-11-08
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 이토,다카히로
IPC分类号： H01L21/02 , G05B19/418
CPC分类号： G05B19/402 , G05B19/41865 , G05B2219/32021 , G05B2219/45031 , G05B2219/49001 , Y02P70/161 , Y02P70/605 , Y02P80/114 , Y02P90/20 , Y02P90/205 , Y02P90/28
摘要： 본 발명은 설비를 복수의 처리 장치에서 공용하여, 에너지를 삭감하는 것이 가능한 생산 처리 시스템, 생산 처리의 제어 장치, 생산 처리의 제어 방법 및 생산 처리의 제어 프로그램을 제공한다. 생산 처리 시스템은, 생산 관리용 호스트 컴퓨터(1)와, 군 컨트롤러(2)와, 공용 컨트롤러(3)와, 복수의 처리 장치(41)를 포함하는 처리 장치군(4)과, 각 처리 장치(41)에 공용되는 1개 또는 복수의 설비(51)를 포함하는 공용 설비군(5)과, 반송 시스템(6)을 구비하고 있다. 처리 장치(41)로부터의 사용 정보에만 기초하여 처리 장치(41) 및 설비(51)를 제어하는 것은 아니고, 미리 취득한 사용 계획을 이용한다. 그 때문에, 효율적으로 공용 설비군(5) 내의 설비(51)를 공용할 수 있으며, 결과적으로 소비 에너지를 저감할 수 있다.

7. 发明公开

KR1020140052822A 기판 처리 장치, 기판 처리 시스템, 기판 처리 장치의 제어 방법 및 기록 매체 有权
标题翻译：基板处理装置，基板处理系统，基板处理装置的控制方法和记录介质
公开(公告)号：KR1020140052822A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：KR1020130104676
申请日：2013-09-02
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 나카무라야스노리 , 나카가와노부히코 , 가와시마나오히코
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： G05B15/02 , G05B19/41865 , G05B2219/32021 , G05B2219/34306 , G05B2219/45031 , Y02P70/161 , Y02P70/163 , Y02P70/605 , Y02P80/114 , Y02P90/02 , Y02P90/20 , Y02P90/205
摘要： The present invention enables to execute the management of the substrate processing. A plurality of function units (200, 300, 400, 500) selectively obtains operation state capable of executing the processing for a substrate, and a standby state in which the consumption of energy is low than the operation state. The present invention controls the state of each of the function units (200, 300, 400, 500) between the operation state and the standby state. When a recipe which defines a processing procedure for the substrate is executed, a device control unit (50) which executes the processing by letting the function unit which performs the processing according to the recipe select the operation state is installed. And then, if a prearranged recipe is given, the device control unit (50) specifies a function unit capable of the processing according to the prearranged recipe from the function units (200, 300, 400, 500) and gets the consumption of a resource which is necessary to restore the specified function unit as the operation state.
摘要翻译：本发明能够执行基板处理的管理。多个功能单元（200,300,400,500）选择性地获得能够执行基板的处理的操作状态和能量消耗低于操作状态的待机状态。本发明控制在操作状态和待机状态之间的每个功能单元（200,300,400,500）的状态。当执行定义衬底的处理过程的配方时，安装通过使执行根据配方的处理的功能单元选择操作状态来执行处理的设备控制单元（50）。然后，如果给出了预先安排的配方，则设备控制单元（50）根据功能单元（200,300,400,500）根据预先排列的配方指定能够进行处理的功能单元，并获得资源的消耗这是恢复指定的功能单元作为操作状态所必需的。

8. 发明授权

KR101165913B1 A method for the condition assessment based on the risk assessment and the managing system for the hydro power generator 有权
标题翻译：一种基于风险评估和水力发电机管理制度的状况评估方法
公开(公告)号：KR101165913B1
公开(公告)日：2012-07-19
申请号：KR20100110788
申请日：2010-11-09
IPC分类号： G01R31/34 , G05B19/4065 , G05B23/02
CPC分类号： Y02P70/161
摘要： 본 발명은 위험도 평가 기반의 수력발전기 상태 평가방법 및 그에 의한 수력발전기 관리시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 절연진단 시험과 기술적 수명초과 평가를 통한 기술적 평가와, 연간등가분석을 이용한 경제적 평가를 종합한 위험도 평가를 기반으로 수력발전기의 상태를 미리 객관적이고 정확하게 평가 및 점검할 수 있도록 함으로써 고장을 미리 철저하게 방지하여 전기를 안정적으로 생산 및 공급할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 위험도 평가 기반의 수력발전기 상태 평가방법 및 그에 의한 수력발전기 관리시스템에 관한 것이다.
즉, 본 발명은, 절연진단 시험과 기술적 수명초과 평가를 통해 설비의 열화 가속정도를 평가하는 기술평가지수와, 설비의 전 수명에 걸쳐 발생된 투자비용과 운용비용을 바탕으로 연간등가분석을 이용한 경제적인 평가를 하는 경제평가지수를, 위험도 평가기반 매트릭스에 적용하여 수력발전기의 상태를 객관적으로 파악할 수 있도록 함은 물론 부품 별로 교체 혹은 유지보수 여부를 결정할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.

9. 发明公开

KR20120049507A A method for the condition assessment based on the risk assessment and the managing system for the hydro power generator 有权
标题翻译：基于风力发电机风险评估的条件评估方法和水力发电机的管理系统
公开(公告)号：KR20120049507A
公开(公告)日：2012-05-17
申请号：KR20100110788
申请日：2010-11-09
申请人： KOREA WATER RESOURCES CORP
发明人： CHANG JEONG HO , LEE SUNG HUN , LEE EUN CHUN , SUN JONG HO
IPC分类号： G01R31/34 , G05B19/4065 , G05B23/02
CPC分类号： Y02P70/161
摘要： PURPOSE: A risk evaluation based water power generator state evaluation method and a water power generator management system using the same are provided to objectively and precisely monitor a water power generator state in beforehand, thereby securely preventing malfunctions of the water power generator. CONSTITUTION: A risk evaluation based water power generator state evaluation method is comprised of the following processes. An evaluation index is acquired from an insulation diagnosis test(10). The evaluation index due to a technical lifetime excess degree is acquired(20). An economical evaluation index is acquired(30).
摘要翻译：目的：提供一种基于风险评估的水力发电机状态评估方法和使用该风力发电机状态评估方法的水力发电机管理系统，以事先客观，精确地监视发电机状态，从而可靠地防止水力发电机故障。构成：基于风险评估的水力发电机状态评估方法由以下过程组成。从绝缘诊断试验（10）获取评价指标。获得技术寿命超额度的评价指标（20）。获得经济评价指标（30）。

10. 发明授权

KR100826693B1 기판 처리 장치의 제어 장치 및 기판 처리 장치의 제어방법 有权
标题翻译：用于基板处理装置的控制装置和方法
公开(公告)号：KR100826693B1
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：KR1020070022334
申请日：2007-03-07
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 이이지마기요히토
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32021 , G05B2219/45031 , H01L21/67276 , Y02P70/161 , Y02P70/605 , Y02P80/114 , Y02P90/20 , Y02P90/205 , Y02P90/265
摘要： 컨디션을 조정하고, 소비에너지를 저감하도록 기판 처리 장치를 제어하는 제어 장치를 제공한다. 데이터베이스(250)는 통상 모드에서 에너지 절약 모드(절약 모드, 휴면 모드, 동면 모드)로의 이행 시간 A, 에너지 절약 모드에서 통상 모드로의 복구 시간 B를 PM(400)에 마련된 유닛마다 미리 기억하고 있다. 관리부(270)는 기억된 각 유닛의 에너지 절약 이행 시간 A 및 에너지 절약 복구 시간 B에 의거해서, 에너지 절약 개시 타이머(285a), 에너지 절약 종료 타이머(285b)를 이용하여, 유닛마다의 에너지 절약 모드로의 이행개시 시각, 에너지 절약 모드로부터의 복구개시 시각을 관리한다. 유닛 제어부(260)는 이행개시 시각 및 복구개시 시각에 따라서 각 유닛을 통상 모드에서 에너지 절약 모드까지 이행시키고, 에너지 절약 모드에서 통상 모드까지 복구시키도록 각 유닛을 독립해서 각각 제어한다.

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