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1. 发明授权

KR101023581B1 전자석 컨트롤을 이용한 마이크로 시스템 失效
标题翻译：具有电磁控制的微系统
公开(公告)号：KR101023581B1
公开(公告)日：2011-03-21
申请号：KR1020077017940
申请日：2006-01-06
申请人： 슈나이더 일렉트릭 인더스트리스 에스에이에스
发明人： 파피뉴,실벵 , 꾸띠에,카롤린 , 가르니에,아말리에 , 그레프,비느와 , 키에시,로렌
IPC分类号： H01H51/00 , H01H57/00
CPC分类号： H01H50/005 , H01H2050/007
摘要： 본 발명은 마이크로 시스템에 관한 것이며, 기판(3)에 의해 지지되고, 적어도 하나의 전기회로를 전환하기 위해서 제1 위치와 제2 위치 사이의 자기 효과에 의해 컨트롤 되는 이동 소자를 가진 자기 마이크로 액츄에이터(2, 2')에 있어서, 영구자석 또는 솔레노이드는 상기 이동소자를 상기 제1 위치에 유지하기 위해 제1 균일 자장(B
0 )에 종속시키고, 상기 기판(3) 외부의 여자 코일(4, 6)은 상기 이동 소자를 상기 제1 위치에서 제2 위치로 이동시키기 위해 제2 자장(BS
1 )에 종속시키며,
솔레노이드 타입이고, 상기 이동 소자를 지지하는 기판을 둘러싸고 있다.
마이크로 액츄에이터, 마이크로 시스템, 여자 코일

2. 发明授权

KR100530010B1 전자기력과 정전기력을 이용하여 구동하는 토글방식의저전압, 저전력 초고주파 ＳＰＤＴ 마이크로 스위치 失效
标题翻译：低电压和低功耗肘节型 - SPDTS单极双掷rf MEMS开关由电磁和静电力组合起动
公开(公告)号：KR100530010B1
公开(公告)日：2005-11-22
申请号：KR1020030080198
申请日：2003-11-13
申请人： 한국과학기술원
发明人： 조일주 , 윤의식
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H50/005 , H01H2001/0063 , H01H2050/007
摘要： 본 발명에 따른 토글방식의 SPDT 마이크로 스위치는, 자장발생수단에 의해서 발생하는 자장을 이용해서 생긴 전자기력으로 구동하고, 정전기력으로 스위칭 상태를 유지하면서, 입력포트가 항상 두개의 출력포트 중의 어느 하나에 연결되도록 하는 것을 특징으로 한다. 정전기력에 비해서 상대적으로 큰 힘인 전자기력을 이용해서 스위칭을 하기 때문에 신뢰성 있는 동작이 가능하고, 기계적으로도 강한 구조를 가질 수 있으며, 높은 전력신호를 다룰 수 있다. 또한, 초기 변위를 크게 할 수 있어서 오프 시에 큰 절연(isolation)값을 얻을 수 있다. 스위칭 순간 후에는 전자기력을 이용하지 않고 두 전극 사이가 가까워진 상태에서의 정전기력을 이용해서 온 상태를 유지하기 때문에, 상대적으로 낮은 전압으로 구동이 가능하고, 스위칭 순간에만 전자기력 발생을 위한 전류를 인가하기 때문에 전력소모가 적다. 토글(toggle) 방식으로 하나의 스위치만으로 SPDT를 구현하고, 또 이러한 스위치가 MEMS 제작기법에 의해 하나의 기판 상에 집적되기 때문에 전체적인 소자의 크기가 매우 작다.

3. 发明授权

KR100862175B1 완화된 영구 자석 정렬 조건을 가지는 마이크로-마그네틱래칭 스위치 失效
标题翻译：微电磁闭锁开关具有放松的永磁对准要求
公开(公告)号：KR100862175B1
公开(公告)日：2008-10-09
申请号：KR1020037009546
申请日：2002-01-18
申请人： 아리조나 스테이트 유니버시티
发明人： 센준 , 루안메이춘 , 휠러샤를
IPC分类号： H01H50/00
CPC分类号： H01H50/005 , G02B26/08 , H01H1/20 , H01H2050/007 , H01P1/127
摘要： 본 발명은 마이크로 마그네틱 래칭 디바이스에 관한 것이다. 이 디바이스는 그 위에 지지된 가동성 요소를 가지는 기판을 포함한다. 가동성 요소(캔틸레버)는 장축과 자성 재료를 갖는다. 또한, 디바이스는 제 1 및 제 2 자석을 포함하고, 이는 자성 재료내의 자화를 유도하는 제 1 자기장을 생성한다. 자화는 가동성 요소의 장축을 따른 방향으로 지향하는 자화 벡터에 의해 특징져지며, 제 1 자기장은 장축의 주요 중앙부에 대해 실질적으로 직각이다. 또한, 이 디바이스는 2개의 안정 상태 사이에서 가동성 요소를 스위칭시키기 위한 제 2 자기장을 생성하는 코일을 구비하며, 자화 벡터의 방향을 변경하여 2개의 안정 상태 사이에서 가동성 요소를 스위칭하기 위해 단지 일시적인 제 2 자기장의 인가만이 요구된다.
영구 자석, 자와 벡터, 코일, 가동성 요소, 스위칭

4. 发明公开

KR1020080041676A 마이크로 캐비티 ＭＥＭＳ 장치 및 그 제조방법 失效
标题翻译：微孔MEMS器件及其制造方法
公开(公告)号：KR1020080041676A
公开(公告)日：2008-05-13
申请号：KR1020087005252
申请日：2006-08-30
申请人： 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
发明人： 수루이스씨 , 클레벤거로렌스에이 , 달튼티모시제이 , 라덴스칼제이 , 웡케이스퀑혼 , 양치차오
IPC分类号： H01P1/10
CPC分类号： H01H50/005 , H01H2050/007 , Y10T29/4902 , Y10T29/49105 , Y10T29/49147
摘要： A MEM switch is described having a free moving element (140) within in micro-cavity (40), and guided by at least one inductive element. The switch consists of an upper inductive coil (170); an optional lower inductive coil (190), each having a metallic core (180, 200) preferably made of permalloy; a micro-cavity (40); and a free-moving switching element (140) preferably also made of magnetic material. Switching is achieved by passing a current through the upper coil, inducing a magnetic field in the coil element. The magnetic field attracts the free-moving magnetic element upwards, shorting two open wires (M_l, M_r) and thus, closing the switch. When the current flow stops or is reversed, the free-moving magnetic element drops back by gravity to the bottom of the micro-cavity and the wires open. When the chip is not mounted with the correct orientation, gravity cannot be used. In such an instance, a lower coil becomes necessary to pull the free-moving switching element back and holding it at its original position.
摘要翻译：描述了一种MEM开关，其具有在微腔（40）内的自由移动元件（140），并由至少一个电感元件引导。开关由上部感应线圈（170）组成; 可选的下感应线圈（190），每个具有优选由坡莫合金制成的金属芯（180,200）微腔（40）; 以及优选也由磁性材料制成的自由移动的开关元件（140）。通过使电流通过上部线圈来实现切换，从而在线圈元件中产生磁场。磁场向上吸引自由移动的磁性元件，使两根开放的导线（M_1，M_r）短路，从而闭合开关。当电流停止或反转时，自由移动的磁性元件通过重力返回到微腔的底部并且电线打开。当芯片未正确安装时，重力不能使用。在这种情况下，需要下部线圈将自由移动的开关元件拉回并将其保持在其原始位置。

5. 发明授权

KR100474536B1 전자적으로 스위칭하는 래칭 마이크로-마그네틱 릴레이 및그 동작방법 失效
标题翻译：电子开关锁定微电磁继电器及其操作方法
公开(公告)号：KR100474536B1
公开(公告)日：2005-03-10
申请号：KR1020027009830
申请日：2001-01-26
申请人： 아리조나 스테이트 유니버시티
发明人： 루안,메이츈 , 셴,준
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： G02B26/0841 , G02B6/3566 , G02B6/3572 , G02B6/358 , G02B6/3584 , G02B26/085 , H01H50/005 , H01H67/22 , H01H2050/007
摘要： According to various embodiments of the invention, a relay is suitably formed to exhibit an open state and a closed state. The relay is operated by providing a cantilever sensitive to magnetic fields such that the cantilever exhibits a first state corresponding to the open state of the relay and a second state corresponding to the closed state of the relay. A first magnetic field may be provided to induce a magnetic torque in the cantilever, and the cantilever may be switched between the first state and the second state with a second magnetic field that may be generated by, for example, a conductor formed on a substrate with the relay.

6. 发明授权

KR100662724B1 마이크로 릴레이 失效
标题翻译：微型继电器
公开(公告)号：KR100662724B1
公开(公告)日：2006-12-28
申请号：KR1020057019935
申请日：2005-01-25
申请人： 파나소닉 전공 주식회사
发明人： 하시모토다케시 , 후루모토노리테루 , 오쿠무라나오키 , 에노모토히데키 , 사다모리다케시 , 기시모토신이치 , 시모무라쓰토무 , 사카이고지 , 호리마사미
IPC分类号： H01H50/02 , H01H50/04 , H01H50/18 , H01H50/36
CPC分类号： H01H50/005 , H01H2050/007
摘要： 본 발명의 마이크로 릴레이는 베이스 기판(3), 아마추어 블록(5) 및 커버(7)를 포함한다. 베이스 기판(3)은 전자기 장치(1)를 수납하기 위한 수납 리세스(41)를 갖는다. 수납 리세스는 베이스 기판(3)을 관통하는 구멍(41a)과, 베이스 기판의 한쪽 표면에 고착되어 구멍을 폐쇄하는 박막의 수납 리세스 덮개로 구성된다. 전자기 장치(1)는 수납 리세스 덮개(41b)에 의해 접점 기구로부터 격리되어 접점의 신뢰도를 증가시킨다. 전자기 장치(1)는 요크(10), 요크에 감겨져 여자 전류에 응답하여 자속을 발생하는 코일(11) 및 요크에 고착되어 아마추어(51)와 요크(10)를 통과하는 자속을 발생하는 영구 자석(12)을 포함함다. 영구 자석(12)이 요크(10)에 고정되므로, 본 마이크로 릴레이는 두께를 감소시킬 수 있다.
영구 자석, 전자기 장치, 수납 리세스, 자성체, 가동 접점, 고정 접점

7. 发明公开

KR1020060014034A 마이크로 릴레이 失效
标题翻译：微型继电器
公开(公告)号：KR1020060014034A
公开(公告)日：2006-02-14
申请号：KR1020057019935
申请日：2005-01-25
申请人： 파나소닉 전공 주식회사
发明人： 하시모토다케시 , 후루모토노리테루 , 오쿠무라나오키 , 에노모토히데키 , 사다모리다케시 , 기시모토신이치 , 시모무라쓰토무 , 사카이고지 , 호리마사미
IPC分类号： H01H50/02 , H01H50/04 , H01H50/18 , H01H50/36
CPC分类号： H01H50/005 , H01H2050/007
摘要： A micro relay includes a base substrate (3), an armature block (5), and a cover (7). The base substrate (3) has an indentation (41) for containing an electromagnetic device (1). The indentation is formed by a through hole (41a) penetrating the base substrate (3) and an indentation cover (41b) of thin film attached to one surface of the base substrate so as to close the opening of the hole. The electromagnetic device (1) is isolated from a contact mechanism by the indentation cover (41b), thereby increasing the reliability of the contact. The electromagnetic device (1) includes a yoke (10), a coil (11) wound around the yoke (10) to generate a magnetic flux in accordance with the excitation current, and a permanent magnet (12) attached to the yoke (10) and generating a magnetic flux passing through the armature (51) and the yoke (10). By attaching the permanent magnet (12) to the yoke (10), it is possible to reduce the thickness of the relay.
摘要翻译：微型继电器包括基底（3），电枢块（5）和盖（7）。基底（3）具有用于容纳电磁装置（1）的凹部（41）。凹陷由穿过基底基板（3）的通孔（41a）和附着在基底基板的一个表面上的薄膜凹陷盖（41b）形成，以封闭孔的开口。电磁装置（1）通过压痕盖（41b）与接触机构隔离，从而提高接触的可靠性。电磁装置（1）包括轭（10），缠绕在轭（10）上的线圈（11），以根据励磁电流产生磁通量;以及永磁体（12），其附接到轭）并产生通过电枢（51）和磁轭（10）的磁通量。通过将永磁体（12）附接到轭（10），可以减小继电器的厚度。

8. 发明授权

KR100547217B1 마이크로 릴레이 失效
标题翻译： 마이크로릴레이
公开(公告)号：KR100547217B1
公开(公告)日：2006-01-26
申请号：KR1020047006555
申请日：2003-07-31
申请人： 파나소닉 전공 주식회사
发明人： 사카이고지 , 에노모토히데키 , 오쿠무라나오키 , 시모무라쓰토무 , 호리마사미
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H50/005 , H01H50/023 , H01H50/026 , H01H2050/007
摘要： This micro relay comprises a body 1, a cover 4, an armature block 3. The body 1, which is made of silicon or glass, has an electromagnetic mechanism 2. The cover 4 is also made of silicon or glass. The armature block 3 is made of silicon. The armature block 3 is composed of an armature base 30 and a frame 31. The frame 31 surrounds an entire circumference of the armature base 30 and supports the armature base 30 pivotally. The armature base 30 is cooperative with a magnetic material 32 on a surface of the armature base 30 to define an armature 300. A fixed contacts 14A, 14B, 15A, 15B and movable contacts 33A, 33B are selectively closed and opened by a pivot motion of the armature 300. And, the frame 31 is directly bonded over its entire circumference to a periphery 19 of the body 1 and to a periphery 41 of the cover 4 to define a sealed space surrounded by the frame 31 and closed between the body 1 and the cover 4 for accommodating the armature 300 and the fixed contacts and the movable contacts.
摘要翻译：该微型继电器包括主体1，盖4，电枢块3.由硅或玻璃制成的主体1具有电磁机构2.盖4也由硅或玻璃制成。电枢块3由硅制成。电枢块3由电枢基部30和框架31构成。框架31围绕电枢基部30的整个周边并且枢转地支撑电枢基部30。衔铁基座30与衔铁基座30的表面上的磁性材料32配合以限定衔铁300.通过枢转运动选择性地闭合和打开固定触头14A，14B，15A，15B和可动触头33A，33B 并且，框架31在其整个圆周上直接结合到主体1的外围19和外壳4的外围41，以限定由框架31围绕并且在主体1之间封闭的密封空间以及用于容纳电枢300以及固定触点和可移动触点的盖4。＆lt;图像＆GT;

9. 发明公开

KR1020100029782A 마이크로 릴레이 无效
标题翻译：微型继电器
公开(公告)号：KR1020100029782A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：KR1020097027475
申请日：2008-06-25
申请人： 파나소닉 전공 주식회사
发明人： 하기하라요스케 , 하시모토다케시 , 우오토메리이치 , 에노모토히데키 , 가키모토가쓰미 , 요코야마고지 , 기시모토신이치
IPC分类号： B81B3/00 , H01H51/22
CPC分类号： H01H50/005 , H01H2001/0042 , H01H2050/007
摘要： A microrelay includes a magnetic member and a permanent magnet, in addition to a main substrate, a fixed contact, an armature and a coil. The magnetic member includes a core arranged in a first through hole on the main substrate. The permanent magnet is arranged at an end of the magnetic member or at a part in the magnetic member. The main substrate has a plurality of laminated layers. The coil is composed of a plurality of planar coils connected in series. The planar coils are formed on the laminated layers, respectively, and are arranged around the core.
摘要翻译：除了主基板，固定触点，电枢和线圈之外，微型继电器还包括磁性构件和永磁体。磁性构件包括布置在主衬底上的第一通孔中的芯体。永磁体设置在磁性部件的一端或磁性部件的一部分。主基板具有多个层叠层。线圈由串联连接的多个平面线圈组成。平面线圈分别形成在层叠层上，并且布置在芯周围。

10. 发明公开

KR1020070117546A 전자석 컨트롤을 이용한 마이크로 시스템 失效
标题翻译：具有电磁控制的微结构
公开(公告)号：KR1020070117546A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：KR1020077017940
申请日：2006-01-06
申请人： 슈나이더 일렉트릭 인더스트리스 에스에이에스
发明人： 파피뉴,실벵 , 꾸띠에,카롤린 , 가르니에,아말리에 , 그레프,비느와 , 키에시,로렌
IPC分类号： H01H51/00 , H01H57/00
CPC分类号： H01H50/005 , H01H2050/007
摘要： The invention relates to a microsystem, comprising a magnetic microactuator (2, 2"), with a mobile element supported by a substrate (3) and controlled by magnetic effect between a first position and a second position for switching at least one electric circuit, whereby a permanent magnet or a solenoid subjects the mobile element to a first uniform magnetic field (B0) to hold the same in the first position, an energising coil (4, 6), external to the substrate (3), said energising coil (4, 6), on energising the above, submits the mobile element to a second magnetic field (BSi) to move the mobile element from the first position to the second position, the energising coil being of the solenoid type and surrounding the substrate supporting the mobile element.
摘要翻译：本发明涉及一种包括磁微型致动器（2,2“）的微系统，其中移动元件由衬底（3）支撑并由第一位置和第二位置之间的磁效应控制，用于切换至少一个电路，由此永磁体或螺线管将移动元件施加到第一均匀磁场（B0）以将其保持在第一位置，在基板（3）外部的激励线圈（4,6），所述激励线圈（在上述情况下，将移动元件提供给第二磁场（BSi），以将移动元件从第一位置移动到第二位置，激励线圈为螺线管型，并围绕支撑移动元素。

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