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1. 发明授权

KR101221168B1 클러스터 툴을 위한 보안된 범용 구성 소프트웨어 有权
标题翻译：安全通用配置软件集群工具
公开(公告)号：KR101221168B1
公开(公告)日：2013-01-18
申请号：KR1020077020847
申请日：2006-02-16
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 후앙청-호 , 판시-젠 , 창친-촨
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/3065 , G06F19/00
CPC分类号： G05B19/0426 , G05B2219/23195 , G05B2219/23255 , G05B2219/24167 , G05B2219/25066 , G05B2219/25076 , G05B2219/25314 , G05B2219/2602 , Y10S438/907 , Y10S438/908
摘要： 플라즈마 클러스터 툴을 구성하는 방법이 개시된다. 본 방법은, 플라즈마 클러스터 툴에 특정하여 부여되는 구성 제한을 캡슐화하는 키 파일을 옵션 사양으로부터 생성하는 단계를 포함한다. 또한, 본 방법은 키 파일을 이용하여 하나 이상의 시스템 전역 구성 파일 및 하나 이상의 콤포넌트 레벨 구성 파일을 생성하는 단계를 포함한다. 추가적으로 본 방법은 옵션 정의 파일, 하나 이상의 시스템 전역 구성 파일 및 하나 이상의 콤포넌트 레벨 구성 파일의 데이터베이스로부터 런타임 실행가능 객체를 생성하는 단계를 포함한다. 또한, 본 방법은 런타임 실행가능 객체를 이용하여 플라즈마 클러스터 툴을 구성하는 단계를 포함한다.
클러스터 툴

2. 发明授权

KR101221256B1 플라즈마 클러스터 툴을 구성하기 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于配置等离子体工具的方法和装置
公开(公告)号：KR101221256B1
公开(公告)日：2013-01-11
申请号：KR1020077020845
申请日：2006-02-16
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 후앙청-호 , 판시-젠 , 창친-촨
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： G05B19/0426 , G05B2219/23195 , G05B2219/23255 , G05B2219/24167 , G05B2219/25066 , G05B2219/25076 , G05B2219/25314 , G05B2219/2602
摘要： 복수의 모듈을 갖는 특정 플라즈마 클러스터 툴을 구성하는 방법. 본 방법은 모듈 옵션 정의 파일의 세트를 제공하는 단계를 포함하며, 모듈 옵션 정의 파일의 세트는 제네릭 (generic) 플라즈마 클러스터 툴에 대한 제네릭 구성 정의를 포함한다. 본 방법은 툴 특정 보호 정보의 세트를 제공하는 단계를 더 포함하며, 툴 특정 보호 정보의 세트는, 구성이 의도되는 특정 플라즈마 클러스터 툴을 특정하여 식별하는 데이터를 포함한다. 본 방법은 툴 특정 옵션 사양을 제공하는 단계를 더 포함하며, 툴 특정 옵션 사양은 특정 플라즈마 클러스터 툴에 대해 특정되는 옵션을 특정한다. 본 방법은 키 파일을 생성하는 단계를 더 포함하며, 키 파일은 특정 플라즈마 클러스터 툴에 부여되는 구성 제한을 캡슐화하고, 특정 플라즈마 툴의 구성시에 요구되는 파일로 구성된다.
클러스터 툴

3. 发明公开

KR1020080004461A 플라즈마 클러스터 툴을 구성하기 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于配置等离子体工具的方法和装置
公开(公告)号：KR1020080004461A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：KR1020077020845
申请日：2006-02-16
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 후앙청-호 , 판시-젠 , 창친-촨
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： G05B19/0426 , G05B2219/23195 , G05B2219/23255 , G05B2219/24167 , G05B2219/25066 , G05B2219/25076 , G05B2219/25314 , G05B2219/2602
摘要： A method for configuring a specific plasma cluster tool having a plurality of modules. The method includes providing a set of module option definition files, the set of module option definition files containing generic configuration definitions for generic plasma cluster tools. The method further includes providing a set of tool-specific protection information, the set of tool-specific protection information including data that specifically identifies the particular plasma cluster tool for which the configuring is intended. The method further includes providing a set of tool-specific options specifications, the set of tool-specific options specifications specifying options that are specified for the specific plasma cluster tool. The method additionally includes generating a key file, the key file encapsulating configuration restrictions imposed on the specific plasma cluster tool, the key file being configured to be a required file in the configuring the specific plasma tool.
摘要翻译：一种用于配置具有多个模块的特定等离子体簇工具的方法。该方法包括提供一组模块选项定义文件，该模块选项定义文件集合包含通用等离子体集群工具的通用配置定义。该方法还包括提供一组特定于工具的保护信息，该组特定于工具的保护信息包括专门识别用于该配置的特定等离子体簇工具的数据。该方法还包括提供一组特定于工具的选项规范，该组指定特定选项规范指定为特定等离子体簇工具指定的选项。该方法还包括生成密钥文件，封装在特定等离子体簇工具上施加的配置限制的密钥文件，密钥文件被配置为配置特定等离子体工具中的所需文件。

4. 发明公开

KR1020070120102A 클러스터 툴을 위한 보안된 범용 구성 소프트웨어 有权
标题翻译：安全通用配置软件集群工具
公开(公告)号：KR1020070120102A
公开(公告)日：2007-12-21
申请号：KR1020077020847
申请日：2006-02-16
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 후앙청-호 , 판시-젠 , 창친-촨
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/3065 , G06F19/00
CPC分类号： G05B19/0426 , G05B2219/23195 , G05B2219/23255 , G05B2219/24167 , G05B2219/25066 , G05B2219/25076 , G05B2219/25314 , G05B2219/2602 , Y10S438/907 , Y10S438/908
摘要： A method for configuring a plasma cluster tool is disclosed. The method includes generating a key file from option specifications, the key file encapsulating configuration restrictions specifically imposed on the plasma cluster tool. The method also includes generating at least one system-wide configuration file and at least one component-level configuration file using the key file. The method additionally includes generating run-time executable objects from a database of option definition files, the at least one system-wide configuration file and the at least one component-level configuration file. Furthermore, the method includes employing the run-time executable objects to configure the plasma cluster tool.
摘要翻译：公开了一种用于配置等离子体簇工具的方法。该方法包括从选项规范生成密钥文件，密钥文件封装特别强加于等离子体集群工具的配置限制。该方法还包括使用密钥文件生成至少一个系统范围的配置文件和至少一个组件级配置文件。该方法还包括从选项定义文件的数据库，至少一个系统范围的配置文件和至少一个组件级配置文件生成运行时可执行对象。此外，该方法包括采用运行时可执行对象来配置等离子体簇工具。

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