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    • 3. 发明授权
    • 자기 센서 칩 및 자기 센서
    • 磁性传感器芯片和磁性传感器
    • KR101496078B1
    • 2015-02-25
    • KR1020137025801
    • 2012-01-21
    • 큐, 빙준
    • 큐,빙준시옹,웨이
    • G01R33/02G01R33/00
    • G01R33/05B82Y25/00G01R33/093H01L43/08
    • 자기 센서 칩 및 자기 센서가 배치된다. 자기 센서 칩은 자기 감광막(2, 21)을 포함하고, 상기 자기 감광막(2, 21)의 길이 방향으로 반자기장의 분할된 억제를 달성할 수 있는 다수의 n 개의 억제 유닛들(4)을 구비하고, 이때 n 수는 2 이상인 정수이다. 자기 감광막(2, 21)의 길이 방향을 따라 배치된 억제 유닛들(4)에 의하여, 자기 감광막(2, 21)은 반자기장의 억제를 달성하여 자기 감광막(2, 21)의 히스테리시스를 줄어거나 심지어 제거하고, 이로써, 자기 센서 칩의 감도를 개선시킨다.
    • 公开了一种磁传感器芯片和磁传感器。 磁传感器芯片包括一个感光膜(2,21),并且在磁敏膜(2,21)的长度方向设置有数个n个抑制单元(4),该抑制单元能够实现分解抑制 磁场,其中数字n为等于或大于2的整数。通过沿着磁敏膜(2,21)的纵向布置的抑制单元(4),感光膜(2,21) 以实现对退磁场的抑制,从而减少或甚至消除磁敏膜(2,21)的滞后,从而提高磁传感器芯片的灵敏度。
    • 4. 发明公开
    • 하이브리드형 지자기 센서 및 그 제조방법
    • 混合型地磁传感器及其制造方法
    • KR1020070120686A
    • 2007-12-26
    • KR1020060055249
    • 2006-06-20
    • 삼성전기주식회사
    • 권오조권경수
    • G01R33/05
    • G01R33/05G01R33/0206G01R33/04
    • A hybrid type geomagnetic sensor and a manufacturing method thereof are provided to perform vertical assembling of a Z-axis sensor simply by attaching and molding the Z-axis sensor on a first PCB(Printed Circuit Board) which has bonding pads on both sides and soldering a molded structure on a second PCB. A hybrid type geomagnetic sensor is composed of a first PCB(310) having plural first and second bonding pads(300a,310a) formed on both sides and electrically connected to each other; a Z-axis sensor(300) of which one side is attached on one surface of the first PCB separated from the first bonding pad in a predetermined gap; a third bonding pad(310b) formed on the other side facing one side of the Z-axis sensor; a fourth bonding pad(310c) formed on one surface of the first PCB separated from the Z-axis sensor and electrically connected with the first bonding pad; a bonding wire(110) electrically connecting the third and fourth bonding pads; a molding material(350) formed on one surface of the first PCB to protect the bonding wire and the Z-axis sensor; a second PCB(410) having a fifth bonding pad(410a) formed on the upside, disposed vertically on the second bonding pad, and soldered with the second bonding pad; and a two-axis sensor formed on the upside of the second PCB to detect two-axis components of a geomagnetic vector parallel to the second PCB.
    • 提供混合型地磁传感器及其制造方法,通过将Z轴传感器在两侧具有接合焊盘的第一PCB(印刷电路板)上附接和成型来简单地进行Z轴传感器的垂直组装,并焊接 在第二PCB上的模制结构。 混合型地磁传感器由具有形成在两侧并彼此电连接的多个第一和第二接合焊盘(300a,310a)的第一PCB(310)组成; Z轴传感器(300),其一侧以预定间隙从第一接合焊盘分离的第一PCB的一个表面上附着; 形成在面向Z轴传感器的一侧的另一侧的第三接合焊盘(310b); 形成在与所述Z轴传感器分离并与所述第一接合焊盘电连接的所述第一PCB的一个表面上的第四接合焊盘(310c) 电连接第三和第四接合焊盘的接合线(110) 形成在所述第一PCB的一个表面上以保护所述接合线和所述Z轴传感器的成型材料(350) 第二PCB(410),其具有形成在所述上侧上的第五接合焊盘(410a),所述第五焊盘垂直地设置在所述第二接合焊盘上,并且与所述第二接合焊盘焊接; 以及形成在第二PCB的上侧的两轴传感器,以检测平行于第二PCB的地磁矢量的两轴分量。
    • 6. 发明授权
    • 아몰포스 자성코어를 사용하여 제조된 마이크로플럭스게이트 센서 및 그 제조 방법
    • 用Amolphous磁芯制造的微通道门检测器及其制造方法
    • KR100503455B1
    • 2005-07-25
    • KR1020030036130
    • 2003-06-04
    • 삼성전자주식회사
    • 나경원최상언박해석심동식
    • G01R29/08
    • G01R33/05
    • 본 발명은 아몰퍼스 자성체를 코어로 하여 제조된 마이크로 플럭스게이트 센서 및 상기 센서를 마이크로 머시닝 기술을 이용하여 제조하는 방법에 관한 것이다.
      본 발명에 따른 마이크로 플럭스게이트 센서는 두개의 바형태 또는 사각 링형태로 제조된 아몰퍼스 자성코어, 상기 아몰퍼스 자기코어를 권선한 형태의 여자코일 및 자계검출용 코일, 상기 코일상에 증착되어 보호막을 형성하는 절연층 및 상기 절연층을 패터닝하여 상기 코일을 외부로 노출시키는 패드를 포함한다.
      한편, 본 발명에 따른 마이크로 플럭스게이트 센서의 제조 방법은, 웨이퍼상에 여자코일 및 자계검출용 코일의 하부코일을 제작하는 단계, 상기 하부코일 상에 제1절연층을 증착한후, 두개의 바형태의 아몰퍼스 자성코어를 제작하는 단계, 상기 아몰퍼스 자성코어상에 제2절연층을 증착한후, 상기 하부코일과 연결된 상부코일을 제작하여 여자 코일 및 자계검출용 코일을 제작하는 단계 및 상기 코일의 상부부분상에 보호막을 씌우고 패드를 노출시키는 단계를 포함한다.
      본 발명에 따라 제조된 마이크로 플럭스게이트 센서는 아몰퍼스 자성코어를 이용함으로써 자계 검출 감도가 훨씬 더 개선되며, 기존의 제조 방법에 따라 제조하는 경우보다 소형화, 경량화되는 효과가 있다.
    • 7. 发明公开
    • 반도체기판에 집적된 자계검출소자 및 그 제조방법
    • 集成在半导体基板中的金属氧化物传感器及其制造方法
    • KR1020040068440A
    • 2004-07-31
    • KR1020030005078
    • 2003-01-25
    • 삼성전자주식회사
    • 나경원최상언박해석심동식
    • H01L43/02G01R33/02
    • G01R33/04G01R15/185G01R33/05
    • PURPOSE: A fluxgate sensor integrated in a semiconductor substrate is provided to remarkably reduce the size of a system by integrating a fluxgate sensor with other sensors and circuits, and to detect an organic voltage according to an outer magnetic field by differentially driving a voltage induced from each core or each side in spite of being very small. CONSTITUTION: A soft magnetic core is formed on a semiconductor substrate. An excitation coil is wound around the upper and lower layers of the soft magnetic core, insulated at the upper and lower portions of the soft magnetic core by an insulation layer. A magnetic field variation detecting coil is so formed to wind the soft magnetic field, insulated at the upper and lower portions of the excitation coil by an insulation layer.
    • 目的:集成在半导体衬底中的磁通门传感器通过将磁通门传感器与其他传感器和电路集成在一起,显着地减小了系统的尺寸,并且通过差分驱动由外部磁场引起的电压来检测根据外部磁场的有机电压 每个核心或每一侧尽管非常小。 构成:在半导体衬底上形成软磁芯。 励磁线圈缠绕在软磁芯的上层和下层,通过绝缘层在软磁芯的上部和下部绝缘。 形成磁场变化检测线圈以缠绕通过绝缘​​层在励磁线圈的上部和下部绝缘的软磁场。
    • 9. 发明公开
    • 자기장 왜곡을 자동 보정하는 지자기 센서 및 그 방법
    • 用于自动校准偏差的地磁传感器及其使用方法
    • KR1020060013761A
    • 2006-02-14
    • KR1020040062351
    • 2004-08-09
    • 삼성전기주식회사
    • 이승완최상언
    • G01C17/38G01C17/30
    • G01R33/05G01C17/30G01C17/38
    • 자기장 왜곡을 자동 보정하는 지자기 센서 및 그 방법이 개시된다. 본 자기장 왜곡을 자동 보정하는 지자기 센서는 상호 직교하는 X축 및 Y축 플럭스게이트(fluxgate)를 구비하며, 구동신호가 인가되면 지자기에 대응되는 기전력을 검출하는 지자기 검출부 지자기 검출부로부터 출력되는 기전력을 소정의 X축 및 Y축 출력값들로 변환하여 출력하는 신호처리부, 및 지자기 검출부에 구동신호를 인가하는 구동신호 생성부를 구비하며, 지자기 검출부의 X축 및 Y축 플럭스게이트는 각각 코어(core), 구동신호를 수신하여 코어를 여자시키는 솔레노이드형 여자코일, 및 코어와 여자코일에 의해 유도된 기전력을 검출할 수 있도록 코어를 솔레이노이드 형태로 권선한 구조로서 서로 상이한 권선수를 갖는 적어도 두개의 검출코일들을 구비한다. 이에 의해, 지자기 검출부의 검출코일을 분리하여 분리된 검출코일에서 검출된 출력값을 이용하여 방위각을 측정함으로써 외부 자기장과 무관하게 정확한 방위각을 용이하게 검출할 수 있다.
      지자기 센서, 자기장 왜곡, 플럭시 게이트, 검출코일, 여자코일, 보정