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1. 发明公开

KR1020170137641A 수평형 플로팅 게이트를 갖는 FET형 센서의 펄스 구동 방법 审中-实审
标题翻译：具有水平浮动栅极的FET型传感器的脉冲驱动方法
公开(公告)号：KR1020170137641A
公开(公告)日：2017-12-13
申请号：KR1020170068246
申请日：2017-06-01
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 이종호 , 신종민
IPC分类号： G01N27/414 , G01N27/00
CPC分类号： G01N27/4141 , G01N27/002 , G01N27/16 , G01N33/0031 , H01L29/42328 , H01L29/788
摘要： 본발명은수평형플로팅전극을가지는 FET형센서의펄스구동방법에관한것이다. 상기 FET 형센서의펄스구동방법은, 상기제어전극에하나또는둘 이상의펄스형태의읽기준비전압(pre-bias())를인가하는읽기준비단계; 및상기제어전극에하나또는둘 이상의펄스형태의읽기전압(read-bias () )을인가하고, 상기드레인과소스사이에는상기읽기전압펄스와동기화된펄스전압()을인가하는읽기단계;를구비한다. 제어전극의입력단자에인가되는 pre-bias 펄스전압의폭이나크기에따라반응성및 회복시간을개선시킬수 있고, 산화성및 환원성가스의구분이가능하다. 또한, 읽기구간에만 FET형센서에전류가흐르기때문에전력소모를크게줄일수 있다. 또한, 본발명에따른펄스구동방법은히터를내장한 FET형센서에도적용될수 있다. Heater의 heating-bias, pre-bias, read-bias 펄스의폭, 크기, 순서, 개수를조합하여인가해줌으로써, 반응시 감지물질층을가열시켜반응및 회복특성을개선시킬수 있다. 또한, 읽기구간을제외한 pre-bias 와 heating구간에서는센서에전류가흐르지않기때문에소비전력을낮출수 있어저전력, 모바일제품에적용이가능하다.
摘要翻译：本发明涉及具有水平浮动电极的FET型传感器的脉冲驱动方法。所述FET型传感器的脉冲驱动方法包括：读取准备步骤，向所述控制电极施加一个或两个或更多个准备好读取电压的脉冲（预偏置（））; 以及读取步骤，将一个或多个脉冲的读取电压（read-bias（））施加到控制电极，并且在漏极和源极之间施加与读取电压脉冲同步的脉冲电压（）的。根据施加到控制电极的输入端的预偏置脉冲电压的宽度或尺寸可以改善反应性和恢复时间，并且可以区分氧化和还原气体。另外，由于电流仅在读取部分流过FET型传感器，所以功耗可以大大降低。根据本发明的脉冲驱动方法也可以应用于具有内置加热器的FET型传感器。通过应用加热偏置，预偏置和读偏置脉冲宽度，尺寸，顺序和加热器数量，可以通过在反应期间加热感测材料层来改善反应和恢复特性。另外，在除了读取部分之外的预偏置和加热部分中，由于电流不流入传感器，所以可以降低功耗，从而可以将其应用于低功率和移动产品。

2. 发明授权

KR101683442B1 상하 분사형 소방 설비를 구비한 건물 내 화재 통합 관리 시스템 有权
标题翻译：消防管理系统，包括用于建造向上和向下喷射喷射器类型的灭火装置
公开(公告)号：KR101683442B1
公开(公告)日：2016-12-08
申请号：KR1020160059885
申请日：2016-05-17
申请人： (주)유일엔지니어링종합건축사사무소
发明人： 김환성
IPC分类号： G06Q50/10 , G05B23/02 , G06Q50/26 , G01N27/16 , G08B17/107 , A62C37/08 , A62C35/68
CPC分类号： G05B23/02 , A62C35/68 , A62C37/08 , G01N27/16 , G06Q50/26 , G08B17/107
摘要： 본발명은특정한건물내화재의발생과화재종류를정밀하게판별하여신속한방제및 대피를구현할수 있는기술이개시된다. 본발명의실시예에따르면, 건물내발생한화재의발생여부와화재의종류, 발생위치및 확산경로를실시간으로판단하고, 이에따라적합한방염수단을구동시킴과동시에, 1차적인소화설비를최적화하여구동시켜초기에화재의확산을방지시킬수 있다.

3. 发明授权

KR101504951B1 가스 센서용 열절연 세라믹 기판 有权
标题翻译：用于气体传感器的绝热陶瓷基板
公开(公告)号：KR101504951B1
公开(公告)日：2015-03-23
申请号：KR1020097026562
申请日：2008-05-16
申请人： 라이프 세이프티 디스트리뷰션 아게
发明人： 프랫,케이스,에프.이.
IPC分类号： G01N27/16 , G01N27/26 , G01N27/14
CPC分类号： G01N27/16
摘要： 가스 센서는 낮은 열 전도도를 갖는 기판을 포함한다. 국부적인 가열은 기판에 의해 보유되는 서펜타인 히터를 사용하여 발생될 수 있다. 상기 기판의 낮은 열 전도도는 발생되는 열을 히터의 국부적인 영역으로 실질적으로 제한하며, 이로 인하여 상기 센서의 작동에 필요한 전력이 감소된다. 상기 기판에 의해 열 절연이 제공되므로, 다수의 센싱 구성요소가 상기 기판상에 각각의 히터에 인접하여 그리고 비교적 서로 가까이 디포지트될 수 있다. 일 구현에서, 상기 센서는 세라믹 기판, 히터, 촉매 재료의 최소한 일부에 가스 불침투성 층이 오버레이되는, 상기 히터에 오버레이되는 촉매 재료를 포함할 수 있다.
가스 센서, 낮은 열 전도도, 전력감소, 히터, 촉매재료, 가스 불침투성층, 내피독성

4. 发明公开

KR1020080008324A 에칭 플라즈마 처리 설비에서의 플라즈마 상태를모니터링하는 방법 및 장치 无效
标题翻译：在蚀刻等离子体处理设备中监测等离子体条件的方法和装置
公开(公告)号：KR1020080008324A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：KR1020077023476
申请日：2006-03-15
申请人： 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
发明人： 첸잉쉰 , 뉴너제프리더블유 , 디메오프랭크주니어 , 첸필립에스에이치 , 웰치제임스 , 로더제프리에프
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/3065
CPC分类号： B81C1/00587 , B81C99/0065 , B81C2201/0138 , C23C16/4405 , G01N27/16 , H01J37/32935
摘要： A gas sensor and method of gas sensing, e.g., of a type as useful with downstream sensor elements for determining the plasma conditions (e.g., plasma etching end point) in a semiconductor etching facility that utilizes halogen-containing plasma and/or oxygen-containing plasma. Such sensor elements are capable of exhibiting temperature change in the presence of energetic gas species, e.g., fluorine, chlorine, iodine, bromine, oxygen, and derivatives and radicals thereof that are generated by the plasma, and correspondingly generating an output signal indicative of such temperature change for determination of the plasma conditions in the etching plasma processing facility.
摘要翻译：一种气体传感器和气体传感方法，例如，对于使用含卤素等离子体和/或含氧的半导体蚀刻设备中用于确定等离子体条件（例如，等离子体蚀刻终点）的下游传感器元件有用的类型等离子体。这样的传感器元件能够在由等离子体产生的能量气体物质例如氟，氯，碘，溴，氧及其衍生物和自由基的存在下表现出温度变化，并且相应地产生指示其的输出信号用于确定蚀刻等离子体处理设备中的等离子体条件的温度变化。

5. 发明公开

KR1020050100933A 공기흡입식 가스누출검지기 无效
标题翻译：空气吸入气体泄漏传感器
公开(公告)号：KR1020050100933A
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：KR1020040026162
申请日：2004-04-16
申请人： 이기원
发明人： 이기원
IPC分类号： G01N27/16
CPC分类号： G01N27/16 , G01N21/783 , G01N31/224
摘要： 본 발명의 목적은 가스레인지, 가스의 밸브, 가스보일러 등과 같이 가스의 누출위험이 있는 곳이나, 또는 누출되어 대기중에 합류된 가연성 가스를 흡입 펌프로 흡입검출하여 누출된 가스로 인한 불의의 사고를 미연에 방지할 수 있게함과 동시에 충전전원을 사용하여 휴대사용이 용이하도록 한 것으로, 본 발명은, 대기중 누출된 가스를 검출하기 위한 가스누출검지기에 있어서, 두개이상의 작동키가 구비되며, 검출된 가스의 종류, 가스의 량등을 표시하는 표시창이 형성된 검지기 본체와; 상기 검지기 본체의 일측에 체결관과 일체로 결합되어 일정하게 회동되고, 내부에 흡입로가 형성된 흡입기와; 내부에 일정형상의 흡입로가 형성되어 이루어진 케이스를 구비하고, 상기 케이스의 일측부에는 선단부가 쐐기형으로 이루어진 노즐이 결합되며, 상기 케이스 중앙부에는 접촉연소식센서가 끼워져 삽입되고, 케이스의 하단부에는 모터의 작동에 회동되는 팬이 구비된 흡입펌프와; 상기 체결관과 흡입펌프를 서로 연결시키기 위한 호스와; 상기 흡입펌프의 전원을 증가하기 위한 전원 공급부로 구비된 것을 특징을 갖는다.

6. 发明公开

KR1020050009669A 가스 센서의 제조방법 失效
标题翻译：气体传感器及其制造方法通过增加阻力与引导之间的摩擦力来维持粘结强度
公开(公告)号：KR1020050009669A
公开(公告)日：2005-01-25
申请号：KR1020040053843
申请日：2004-07-12
申请人： 휘가로기켄 가부시키가이샤
发明人： 히가시네히로시 , 혼다도모야스 , 오코시도키오
IPC分类号： G01N27/14
CPC分类号： G01N27/16 , G01N21/783 , G01N2001/4094
摘要： PURPOSE: A gas sensor and a method manufacturing the same are provided to maintain a bonding strength in a horizontal direction and a vertical direction to a substrate by increasing friction force between a bump and a lead. CONSTITUTION: A gas sensor(2) has a heater film, a gas sensing part(2), and a pad(12) formed on a substrate(10) and a lead(16) bonded on the pad(12) for connecting the substrate(10) to the outside thereof. The lead(16) is bonded in such a manner that the lead(16) is interposed between a gold pad and a gold bump. The gold bump has a disc shape without a sunken part. A front end of the lead passes through the bump on the pad. The front end of the lead having a diameter r is arranged on the gold pad. A ball having a diameter above five times the diameter r and below ten times the diameter r is formed at a front end of a gold wire for making a bump having above 1.5 times the diameter r.
摘要翻译：目的：提供一种气体传感器及其制造方法，通过增加凸块和引线之间的摩擦力来保持与基板的水平方向和垂直方向的接合强度。构成：气体传感器（2）具有加热器膜，气体检测部分（2）和形成在基板（10）上的焊盘（12）和接合在焊盘（12）上的引线（16），用于将衬底（10）到其外部。引线（16）以使引线（16）插入金垫和金凸块之间的方式结合。金色凹凸具有没有凹陷部分的圆盘形状。引线的前端通过焊盘上的凸块。具有直径r的引线的前端布置在金垫上。在金线的前端形成直径大于直径r的五倍直径r并且小于直径r的十倍的球，以制造具有大于直径r的1.5倍的凸块。

7. 发明授权

KR100143539B1 가스검출장치 失效
标题翻译：多功能因子，选择性气体探测器
公开(公告)号：KR100143539B1
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：KR1019940702791
申请日：1993-02-10
申请人： 바카라치인코포레이티드
发明人： 마아크제이.코플러 , 로버트엘.노박 , 존이.토지어 , 피터엠.노블
IPC分类号： G01N27/00 , G01N33/00 , G01N33/22
CPC分类号： G01N33/0008 , G01N27/16
摘要： 본 발명은 다수의 미리 정해진 기체중 선택된 하나의 농도를 측정하기 위한 기체 검출기 장치에 관한 것으로써, 이는 기체 시료내의 선택 예정된 가스의 농도와 관련된 가스 출력신호를 발생하는 가스 센서를 포함한다. 그 가스 센서와 연결된 K계수 저장수단은 센서를 사용하여 발생된 다수의 예정된 가스 각각에 대한 최소한 하나의 유일한 K계수를 저장한다. 프로세서는 선택된 가스제어 신호에 응답하여 K계수 저장수단으로 부터 선택된 가스에 대한 K계수 혹은 계수들을 선택하고, 여기에 저장된 예정된 순서에 따라 기체 시료내의 선택된 가스의 농도를 나타내는 농도신호를 계산한다.

8. 发明授权

KR101828549B1 빙결개선을 위한 접촉연소식 수소센서 有权
公开(公告)号：KR101828549B1
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：KR1020160142882
申请日：2016-10-31
申请人： 세종공업 주식회사
发明人： 조용준 , 엄재현 , 장지상 , 서호철
IPC分类号： G01N27/16
CPC分类号： G01N27/16
摘要： 본발명은박막형접촉연소식수소센서에관한것으로서, 중앙부가원기둥의박막인기판; 박막의상면중앙에는박막의면적보다작은면적의원형촉매가있는검지체; 히터는검지체와동심을이루는원형이고, 전원인가시, 히터에의해검지체가가열됨으로서빙결을제거하며, 검지체의저항과히터의저항은서로병렬연결되고, 히터의저항이더 크고, 검지체의저항와히터만박막에내장된보상부는휘트스톤브릿지로구현되며, 수소검지에의한검지체의저항증가에따라, 휘트스톤브릿지의전압평형이깨지고, 휘트스톤브릿지의양단에출력전압이생기고, 직경이원형촉매

9. 发明授权

KR101758755B1 일체형 지지 구조들을 포함하는 가연성 가스 센서 및 다수의 활성 요소들을 구비한 가연성 가스 센서 有权
标题翻译：一种可燃气体传感器，包括整体支撑结构和具有多个有源元件的可燃气体传感器
公开(公告)号：KR101758755B1
公开(公告)日：2017-07-17
申请号：KR1020127012147
申请日：2010-10-29
申请人： 엠에스에이 테크놀로지, 엘엘씨
发明人： 자넬라마크플로리
IPC分类号： G01N27/16 , G01N33/00 , G01N27/416
CPC分类号： G01N27/16 , G01N33/0016 , G01N33/0027 , G01N33/0031 , G01N33/0073
摘要： 가연성가스센서는전자회로와전기접속되는예로서 20㎛미만의평균직경을갖는제1 전도성요소를포함하는적어도하나의제 1 감지요소를포함한다. 가연성가스센서는제1 고정단부와, 제2 고정단부와, 제1 고정단부와제2 고정단부사이의연장중간섹션을구비하는제1 지지요소를더 포함하며, 연장중간섹션은제1 전도성요소를위한지지부를제공한다. 다른가연성가스센서는제1 감지요소와제2 감지요소를포함한다. 제1 감지요소는 500㎛의직경을갖는구 보다적은체적을가지는제1 촉매지지부재를포함한다. 제2 감지요소는 500㎛의직경을갖는구 보다적은체적을갖는제2 촉매지지부재를포함한다. 가연성가스센서는제1 감지요소가더 높은파워모드에서동작되고제2 감지요소가더 낮은파워모드에서동작되는제1 모드와제2 감지요소가더 높은파워모드에서동작되고제1 감지요소가더 낮은파워모드에서동작되는제2 모드사이에서사이클링하도록구성된전자회로를더 포함한다.
摘要翻译：可燃气体传感器包括至少一个第一感测元件，其包括具有小于20μm的平均直径的第一导电元件，例如电连接到电子电路。可燃性气体传感器具有第一固定端和第二固定端;以及第一固定端和第二以及权利要求，还包括具有所述固定端和延伸中间部分之间延伸的中间部分的第一支撑元件具有第一导电元件 Lt。另一种可燃气体传感器包括第一传感元件和第二传感元件。第一传感元件包括具有小于直径为500μm的球的体积的第一催化剂支撑部件。第二传感元件包括第二催化剂支撑部件，其体积小于直径为500μm的球体。可燃性气体传感器包括：第一感测元件，所述更高的功率模式操作，并且在所述第二感测元件还第一模式是在低功率模式和具有较高功率模式中的第二检测元件，第一感测元件操作进一步操作并且电子电路被配置为在以低功率模式操作的第二模式之间循环。

10. 发明授权

KR101745985B1 접촉 연소식 가스센서 有权
标题翻译：接触燃烧气体传感器
公开(公告)号：KR101745985B1
公开(公告)日：2017-06-12
申请号：KR1020150119572
申请日：2015-08-25
申请人： 야마하 파인 테크 가부시키가이샤
发明人： 핫토리아츠오
IPC分类号： G01N27/16 , G01N33/22 , G01K13/00 , H02N11/00
CPC分类号： G01N27/16 , G01N33/0027
摘要： 가연성가스를검출하는접촉연소식가스센서는단열부와, 단열부상에형성된히터와, 단열부상에있어서히터상에형성되고가연성가스의연소촉매를담지한담체를포함하는가스반응막과, 단열부상에있어서가스반응막의근방에형성된측온소자와, 단열부상에형성되고단열부와가스반응막사이에배치된균열부를갖고있다. 이균열부는균열부에전달된열을균열부전체에분산시키도록구성되어있다.
摘要翻译：检测可燃性气体接触燃烧式气体传感器是隔热部件，以及形成在所述绝缘部的加热器，在形成于加热器携带的可燃性气体燃烧催化剂载气的反应膜和包括绝热部的部分的绝缘以及形成在绝热部分上并设置在绝热部分和气体反应膜纱线之间的开裂部分。绝热部分构造成将传递到裂纹部分的热量分散到整个裂纹部分。

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