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1. 发明授权

KR101601460B1 압력센서 오프셋 보정 시스템 및 방법 有权
标题翻译：用于补偿压力传感器偏移的系统和方法
公开(公告)号：KR101601460B1
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：KR1020140099798
申请日：2014-08-04
申请人： 현대자동차주식회사
发明人： 반현석 , 배호준 , 이현준
IPC分类号： B60W50/04 , G01L19/04
CPC分类号： G01L27/005
摘要： 본발명의일 실시예에따른압력센서오프셋보정시스템은시스템의압력을검출하는압력센서, 미리설정된시간에따라연결된장치에자동으로전원을공급하거나또는상기전원의공급을중단하여, 상기장치를구동시키거나또는종료시키는전원관리모듈, 상기전원관리모듈과연결되고, 상기전원관리모듈로부터상기전원이공급될때, 상기압력센서로부터검출된상기시스템의압력값을바탕으로상기압력센서의오프셋을결정하는마이컴, 및상기결정된오프셋을저장하는메모리를포함하는것을특징으로한다.

2. 发明授权

KR101567399B1 체온을 이용한 접촉식 온도제어 압력 안정화장치 有权
标题翻译：压力稳定装置通过接触式温度控制使用身体加热
公开(公告)号：KR101567399B1
公开(公告)日：2015-11-10
申请号：KR1020150010341
申请日：2015-01-22
申请人： 강유신 , 장수민
发明人： 강유신 , 장수민
IPC分类号： G01L27/00 , G05D16/02
CPC分类号： G01L27/005 , G05D16/02
摘要： 본발명은특정측정점부근에서초기압력이어느정도안정화된상태에서주변환경에의한적은양의변화율또는극히적은누압을보일때 작업자의체온을압력배관등에전달하여압력의안정화를도모할수 있는새로운방식의체온을이용한접촉식온도제어압력안정화장치를제공한다. 본발명의체온을이용한접촉식온도제어압력안정화장치는한쪽에는기준압력계가설치되고반대쪽에는피실험압력계가설치되며내부에는압력매질이채워지는압력배관과, 압력배관에서분기되어설치되는압력조절관과, 압력조절관에설치되어압력을발생시키고조절하는압력발생기와, 압력배관에서분기되어설치되는압력안정화관과, 압력안정화관의끝단에설치되어작업자의신체부위가접촉되는경우체온을압력안정화관내부의압력매질로전달하는체온전달부재를포함한다.
摘要翻译：本发明提供了一种用于通过使用身体热量的接触来控制温度并且使压力稳定的装置，其将工作人员的身体热量传递到压力管等以在周围环境引起少量变化或极小的情况下稳定压力在特定测量点周围的初始压力稳定到一定程度的压力泄漏。根据本发明的用于通过使用身体热量接触温度和通过接触稳定压力的装置包括：压力管，其一侧安装有基准压力计，在另一侧安装测试对象压力计，并在其中填充压力介质; 从压力管分支的压力调节管; 压力发生器安装在压力调节管上以产生和调节压力; 从压力管分支的压力稳定管; 以及身体传热构件，安装在压力稳定管的端部上，以在工作人员的身体部分接触时将工作人员的身体热量传递到压力稳定管中的压力介质。

3. 发明授权

KR101248727B1 보상 장치 및 그 동작 방법 有权
标题翻译：补偿安排及其操作方法
公开(公告)号：KR101248727B1
公开(公告)日：2013-03-28
申请号：KR1020087003280
申请日：2005-07-29
申请人： 센사타 테크놀로지스, 인크
发明人： 티엑팀 , 헨니센빠울루스토마스요하네스
IPC分类号： G01L27/00 , G01L19/04
CPC分类号： G01D3/028 , G01D3/032 , G01L9/045 , G01L19/02 , G01L19/04 , G01L23/22 , G01L27/005
摘要： 순환 입력 신호에 보상을 제공하기 위한 장치 및 방법이 개시된다. 이 장치는 순환 출력 신호에서 제1 이벤트를 검출하는 제1 검출 유닛(20); 보상 신호를 발생시키는 신호 발생 유닛(14); 및 상기 순환 출력 신호를 획득하기 위해 상기 보상 신호와 상기 순환 입력 신호를 결합하는 신호 결합 유닛(8)을 포함한다. 보상 신호 발생 유닛(14)은 제1 이벤트의 검출과 소정의 관계를 갖는 순간에 보상신호를 조정하도록 배열된다. 순환 출력 신호의 사이클의 바로 그 순간에 보상 신호를 조정함으로써, 이 조정은 순환 출력 신호의 추가 처리에 영향을 주지 않을 것이다. 이 방법은 센서의 오프셋 및 감도(sensitivity) 특성을 보상하기 위해 사용될 수 있다.

4. 发明公开

KR1020070059108A 미세가공된 절대 압력 감지 다이를 이용한 배출 가스재순환 시스템 无效
标题翻译：使用绝对微压力感测器的排气回收系统
公开(公告)号：KR1020070059108A
公开(公告)日：2007-06-11
申请号：KR1020077006524
申请日：2005-08-23
申请人： 허니웰 인터내셔널 인코포레이티드
发明人： 마르커스필립제이. , 웨이드리차드에이. , 웨슬리트레비스디. , 레인필립제이. , 버켓마이클제이.
IPC分类号： G01L13/06
CPC分类号： G01L19/148 , G01L9/0092 , G01L19/069 , G01L19/143 , G01L19/147 , G01L27/005
摘要： An absolute pressure sensor is disclosed that includes a plurality of pressure sense die and a hermetically sealed cover located above the plurality of pressure sense die. A carrier can be provided to which the pressure sense die are mounted by a cured adhesive. The carrier and the pressure sense die can be attached to a circuit board populated with a plurality of surface mounted components for electrical connection to the absolute pressure sensor. An ASIC can also be provided for digitally calibrating the pressure sense die with temperature compensation, wherein the ASIC automatically controls a plurality of output modes thereof during calibration.
摘要翻译：公开了一种绝对压力传感器，其包括多个压力感测模和位于多个压力感测模上方的气密密封盖。可以通过固化的粘合剂来提供压力感测模头安装的载体。载体和压力感应模具可以附接到安装有多个表面安装部件的电路板，用于与绝对压力传感器电连接。还可以提供用于通过温度补偿数字校准压力感测管芯的ASIC，其中ASIC在校准期间自动控制其多个输出模式。

5. 发明公开

KR1020070045413A Ｉｎ ―ｓｉｔｕ법에 의한 진공게이지의 절대교정 및 비교교정 장치 및 방법 有权
标题翻译：通过绝对和比较方法进行真空计的标准校准装置
公开(公告)号：KR1020070045413A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：KR1020050101657
申请日：2005-10-27
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 홍승수 , 신용현 , 정광화 , 임인태
IPC分类号： G01L21/02 , G01L21/00
CPC分类号： G01L27/005 , C21D11/00
摘要： 본 발명은 부피가 서로 다른 진공체임버에 기체를 순차적으로 확장시켜 진공체임버의 압력을 계산하는 정적법 표준기에서 절대교정된 기준진공게이지를 이용하여 진공게이지의 이동이 없이 in-situ 상태에서 오리피스 기체흐름 제어 방법에 따라 진공게이지의 비교교정이 가능한 장치의 개발에 관한 사항이다. 관련 세부기술로는 정적법에 의한 기준진공게이지 절대교정과 오리피스 기체흐름 제어 방법에 의한 진공게이지 비교교정 결합기술, 저진공에서 고진공 영역까지의 기준압력 발생기술 및 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법에 의한 진공게이지 비교교정에 관한 기법을 포함한다. 본 발명은 진공게이지의 절대 교정과 비교교정이 각각 다른 장치에서만 가능했던 것을 두 교정 장치를 결합한 새로운 장치의 개발로 교정시간 단축과 이동교정 등 교정효율 향상에 관한 것이다.
정적법, 기준진공게이지, 절대교정, 비교교정, 결합기술, 기준압력, 발생기술, 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법, 진공게이지, 이동교정, 교정효율

6. 发明公开

KR1020110030186A 다공압력프로브의 교정시스템 및 교정방법 有权
标题翻译：多孔压力探头的校准系统和校准方法
公开(公告)号：KR1020110030186A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：KR1020090088202
申请日：2009-09-17
申请人： 군산대학교산학협력단
发明人： 오석형 , 김장권
IPC分类号： G01L27/00 , G01L25/00
CPC分类号： G01L27/005 , G01L15/00 , G01P21/025
摘要： PURPOSE: Calibration system and method of a multi-hole pressure probe are provided to correct a yaw angle and a pitch angle even if a yaw coefficient and a pitch coefficient do not exist on an intersection point. CONSTITUTION: A calibration system of a multi-hole pressure probe comprises a multi-hole pressure probe, a coefficient calculating unit and an angle calculating unit. The multi-hole pressure probe measures pressure data. The coefficient calculating unit calculates a yaw coefficient and a pitch coefficient from the pressure data. The angle calculating unit calculates a yaw angle and a pitch angle, which correspond to the yaw coefficient and the pitch coefficient.
摘要翻译：目的：提供多孔压力探头的校准系统和方法，即使在交叉点上不存在偏航系数和俯仰系数，也能校正偏航角和俯仰角。构成：多孔压力探头的校准系统包括多孔压力探头，系数计算单元和角度计算单元。多孔压力探头测量压力数据。系数计算单元根据压力数据计算偏航系数和俯仰系数。角度计算单元计算与偏航系数和俯仰系数对应的偏航角和俯仰角。

7. 发明公开

KR1020100057800A 측정 셀 장치의 교정 및 가동 방법 有权
标题翻译：用于校准和操作测量细胞布置的方法
公开(公告)号：KR1020100057800A
公开(公告)日：2010-06-01
申请号：KR1020107002973
申请日：2008-06-09
申请人： 인피콘 게엠베하
发明人： 베르크,크리스티안 , 슈트리에첼,카슈텐
IPC分类号： G01L27/00 , G01L21/00
CPC分类号： G01L27/005 , G01L21/00
摘要： The following method sequence is proposed for calibrating a vacuum measuring cell arrangement: a) the measuring cell arrangement is connected to a calibrating device, with the measuring connection being connected to a vacuum volume (58) and the measuring cell interface being connected to a calibrating sequence controller by means of a signal line; b) a first heating temperature in the measuring cell arrangement is set to a predefined constant value; c) a first step for calibrating the measuring cell arrangement is carried out by generating at least one predefined pressure in the vacuum volume (58) while simultaneously detecting the vacuum signals from the measuring cell arrangement and at least one reference measuring cell, and the pressure values detected are stored in a calibrating data memory; d) a calibrating processor is used to determine compensation values from the determined differential values of the measuring cell arrangement and the reference measuring cell (6), and these differential values are buffered in a calibrating data memory of the calibrating sequence controller (11); e) the measuring cell arrangement is adjusted by transmitting the determined compensation values to the measuring cell data memory for the differing values for pressures and temperature, which are determined at the different predefined operating points, with respect to the reference measuring cell (60).
摘要翻译：提出了以下用于校准真空测量单元布置的方法顺序：a）测量单元布置连接到校准装置，测量连接连接到真空容积（58），并且测量单元接口连接到校准序列控制器通过信号线; b）将测量单元布置中的第一加热温度设置为预定义的常数值; c）通过在真空容积（58）中产生至少一个预定压力同时检测来自测量单元装置和至少一个参考测量单元的真空信号，以及压力检测到的值存储在校准数据存储器中; d）校准处理器用于根据确定的测量单元布置和参考测量单元（6）的差分值来确定补偿值，并且将这些差分值缓冲在校准序列控制器（11）的校准数据存储器中; e）通过相对于参考测量单元（60）在不同的预定义工作点确定不同的压力和温度值，将确定的补偿值发送到测量单元数据存储器来调整测量单元布置。

8. 发明公开

KR1020090014711A 압력 게이지 교정 방법 및 이를 이용한 압력 게이지 교정시스템 无效
标题翻译：用于校准压力计的方法和使用该压力表的压力计的系统
公开(公告)号：KR1020090014711A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：KR1020070078861
申请日：2007-08-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 윤석 , 이영미
IPC分类号： G01L27/00
CPC分类号： G01L27/005 , G01L9/0072 , G01L9/12
摘要： A pressure gauge calibration method and a pressure gauge calibration system using the method are provided to confirm pressure gauge measurement results and calibration results through graphs so as to calibrate a calibrated pressure gauge more accurately and rapidly. A pressure gauge calibration method includes a step(S110) of measuring pressure with a reference pressure gauge and a calibration pressure gauge, a step(S120) of indicating the measurement result as a graph, and a step(S130) of confirming the indication result to determine whether the calibration pressure gauge satisfies requirement specifications.
摘要翻译：提供压力计校准方法和使用该方法的压力表校准系统，以通过图形来确认压力表测量结果和校准结果，以便更精确和快速地校准校准的压力计。压力计校准方法包括用参考压力计和校准压力计测量压力的步骤（S110），将测量结果指示为曲线图的步骤（S120）和确认指示结果的步骤（S130）以确定校准压力表是否满足要求规范。

9. 发明公开

KR1020060035316A 센서 데이터의 보정방법 및 인터락 시스템의 인터락평가방법 有权
标题翻译：传感器数据的标定方法和联锁系统的联锁评估方法
公开(公告)号：KR1020060035316A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：KR1020040084757
申请日：2004-10-22
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이승준 , 김학용 , 장유석 , 박충훈 , 도승용
IPC分类号： G05F1/08
CPC分类号： G01L27/005 , G01L27/007
摘要： 본 발명은 센서 데이터의 보정방법 및 인터락 시스템의 인터락 평가방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 센서 데이터의 보정방법은 소정의 드리프트 상한치 및 드리프트 하한치를 설정하는 단계와; 기준 모델에 대한 기준 패턴 정보를 생성하는 단계와; 상기 센서 데이터에 대한 센서 패턴 정보를 생성하는 단계와; 상기 센서 패턴 정보가 상기 드리프트 상한치 및 상기 드리프트 하한치를 만족하는지 여부를 판정하는 단계와; 상기 센서 패턴 정보가 상기 드리프트 상한치 및 상기 드리프트 하한치를 만족하는 경우, 상기 기준 패턴 정보 및 상기 센서 패턴 정보에 기초하여 드리프트 오프셋을 산출하는 단계와; 산출된 상기 드리프트 오프셋에 기초하여 상기 센서 데이터를 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 통계적인 드리프트 보정 알고리즘을 통해 동종 설비에 대한 인터락 설정 및 관리를 단순화하고, 웨이퍼 간의 허용 변동량의 크기를 최소화시킴으로서 불량 웨이퍼에 대한 검정력을 증가시킬 수 있고, 이를 통하여 설비의 이상 유무를 보다 정확하게 판정할 수 있다.
摘要翻译：校正传感器数据的方法和互锁系统的互锁评估方法。根据本发明的校正传感器数据的方法包括：设定预定漂移上限和下限漂移极限; 为参考模型生成参考模式信息; 为传感器数据生成传感器模式信息; 确定传感器模式信息是否满足漂移上限值和下限漂移下限值; 当传感器图案信息满足漂移上限值和所述漂移的下限值，并且计算的参考图案信息和图案信息传感器的基础上，偏移漂移的步骤; 并根据计算出的漂移偏移校正传感器数据。其结果是，统计通过所述漂移补偿算法，可以简化联锁设定和同类型设备的管理，并提高了测试的功率为sikimeuroseo缺陷晶片，以尽量减少晶片之间的允许变化量，错误的设施中的存在的规模，通过该它可以更准确地确定。

10. 发明公开

KR1020040086498A 압력 트랜스듀서의 캘리브레이션을 위한 향상된 시스템 失效
标题翻译：改进的压力传感器校准系统
公开(公告)号：KR1020040086498A
公开(公告)日：2004-10-11
申请号：KR1020037004245
申请日：2002-03-25
申请人： 카운슬 오브 사이언티픽 앤드 인더스트리얼 리서치
发明人： 조세프안토니 , 쿠마르비자이 , 프라부데사이쉬바난드 , 메라프라카쉬 , 데사엘리취 , 나그베카르수레카마헤쉬
IPC分类号： G01L27/00
CPC分类号： G01L27/005
摘要： 본 발명은 복수개의 압력 트랜스듀서를 캘리브레이션하는 시스템에 관한 것으로서, 상기 시스템은 공동의 실린더(14)를 통하여 압력 소스(11)로부터 압력 입력을 받고 그리고 압력을 모든 압력 트랜스듀서에 고르게 분배시키는 장착 수단상에 장착된 복수개의 압력 트랜스듀서(13.1 내지 13.n)를 구비하며, 상기 복수개의 압력 트랜스듀서는 압력 트랜스듀서의 온도를 변화시키기 위하여 용기(15)의 내측에 배치되고 장착 수단상에 장착되며, 상기 압력 소스는 표준의 압력 트랜스듀서(17)에 연결되고 표준 압력 트랜스듀서의 온도는 압력 트랜스듀서(13.1 내지 13.n)의 온도와 같은 레벨로 유지된다.

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