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    • 1. 发明授权
      KR101467611B1 측정 셀 장치의 교정 및 가동 방법 有权
    • 측정 셀 장치의 교정 및 가동 방법
    • 用于校准和操作测量细胞布置的方法
    • KR101467611B1
    • 2014-12-01
    • KR1020107002973
    • 2008-06-09
    • 인피콘 게엠베하
    • 베르크,크리스티안 , 슈트리에첼,카슈텐
    • G01L27/00 , G01L21/00
    • G01L27/005 , G01L21/00
    • 진공측정셀 장치의교정을위하여이하의방법순서가제안된다:a) 측정셀 장치(1)를교정장치(10)에연결하면서커넥터(5)를진공볼륨(58)에연결하고측정셀 인터페이스(8)를신호라인(20)에의하여교정진행제어기(11)에연결하는단계;b) 측정셀 장치의제1 가열온도를미리정한일정한값으로셋팅하는단계;c) 진공볼륨(58)에서하나이상의미리정한압력을발생시키면서동시에측정셀 장치(1) 및하나이상의참조측정셀(6)로부터의진공신호를검출함으로써측정셀 장치(1)의제1 교정단계를실행하고검출된압력값을교정데이터메모리(13)에저장하는단계;d) 교정프로세서(14)를사용하여측정셀 장치(1) 및참조측정셀(6)의측정된차이값으로부터보상값을측정하고이 차이값을교정진행제어기(11)의교정데이터메모리(13)에서버퍼링하는단계;e) 측정된보상값을측정셀 데이터메모리(6)에전송하여, 참조측정셀(60)에대하여미리정한상이한조작포인트에서측정된압력및 온도에대한편차치에대하여측정셀 장치(1)를조정하는단계.
    • 基本信息 添加关注 加入工作空间 PDF全文 PDF下载 全文下载 相似专利 双屏查看 权利要求书 说明书全文 Espacenet 法律信息 同族专利 专利引用
    • 2. 发明公开
      KR1020100057800A 측정 셀 장치의 교정 및 가동 방법 有权
    • 측정 셀 장치의 교정 및 가동 방법
    • 用于校准和操作测量细胞布置的方法
    • KR1020100057800A
    • 2010-06-01
    • KR1020107002973
    • 2008-06-09
    • 인피콘 게엠베하
    • 베르크,크리스티안 , 슈트리에첼,카슈텐
    • G01L27/00 , G01L21/00
    • G01L27/005 , G01L21/00
    • The following method sequence is proposed for calibrating a vacuum measuring cell arrangement: a) the measuring cell arrangement is connected to a calibrating device, with the measuring connection being connected to a vacuum volume (58) and the measuring cell interface being connected to a calibrating sequence controller by means of a signal line; b) a first heating temperature in the measuring cell arrangement is set to a predefined constant value; c) a first step for calibrating the measuring cell arrangement is carried out by generating at least one predefined pressure in the vacuum volume (58) while simultaneously detecting the vacuum signals from the measuring cell arrangement and at least one reference measuring cell, and the pressure values detected are stored in a calibrating data memory; d) a calibrating processor is used to determine compensation values from the determined differential values of the measuring cell arrangement and the reference measuring cell (6), and these differential values are buffered in a calibrating data memory of the calibrating sequence controller (11); e) the measuring cell arrangement is adjusted by transmitting the determined compensation values to the measuring cell data memory for the differing values for pressures and temperature, which are determined at the different predefined operating points, with respect to the reference measuring cell (60).
    • 提出了以下用于校准真空测量单元布置的方法顺序：a）测量单元布置连接到校准装置，测量连接连接到真空容积（58），并且测量单元接口连接到校准 序列控制器通过信号线; b）将测量单元布置中的第一加热温度设置为预定义的常数值; c）通过在真空容积（58）中产生至少一个预定压力同时检测来自测量单元装置和至少一个参考测量单元的真空信号，以及压力 检测到的值存储在校准数据存储器中; d）校准处理器用于根据确定的测量单元布置和参考测量单元（6）的差分值来确定补偿值，并且将这些差分值缓冲在校准序列控制器（11）的校准数据存储器中; e）通过相对于参考测量单元（60）在不同的预定义工作点确定不同的压力和温度值，将确定的补偿值发送到测量单元数据存储器来调整测量单元布置。
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