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1. 发明授权

KR101084997B1 캐리어 기체에 의한 화합물 기화용 버블러 有权
标题翻译：用于运输气体蒸发物质的燃烧器
公开(公告)号：KR101084997B1
公开(公告)日：2011-11-18
申请号：KR1020110064788
申请日：2011-06-30
申请人： (주)그랜드 텍
发明人： 박영균 , 이병현 , 정태희 , 전병주
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4482 , C23C16/4483
摘要： PURPOSE: A bubbler for evaporating compound by carrier gas is provided to constantly maintain the density and pressure of a reaction material and carrier gas by widely dispersing bubbles and constantly maintaining the bubble volume of the carrier gas. CONSTITUTION: A container(10) receives reaction materials. A valve device(20) is formed on the upper side of the container. The valve device includes a carrier gas supply line(210) and a liquid reaction material supply valve(220). An exhaust valve(230) discharges the evaporated reaction material and carrier gas. A jacket(240) controls the temperature of the liquid reaction material in the container.
摘要翻译：目的：提供用于通过载气蒸发化合物的起泡器，以通过广泛分散气泡并恒定地保持载气的气泡体积来恒定地保持反应材料和载气的密度和压力。构成：容器（10）接收反应物质。在容器的上侧形成有阀装置（20）。阀装置包括载气供应管线（210）和液体反应材料供应阀（220）。排气阀（230）排出蒸发的反应物质和载气。护套（240）控制容器中液体反应物质的温度。

2. 发明公开

KR1020100137016A 기화기, 기화기 사용 방법, 기화 장치 사용 방법, 용기, 기화기 유닛 및 반도체 프로세스 챔버용 증기 발생 방법 有权
标题翻译：蒸发器，利用蒸发器装置的方法，容器，用于生成半导体过程室的蒸气的方法
公开(公告)号：KR1020100137016A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：KR1020107026815
申请日：2003-07-01
申请人： 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
发明人： 그레그존 , 배틀스코트 , 밴톤제프리아이 , 나이토돈 , 퓨에르마리안 , 락스만,라비,케이.
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4483 , C23C16/4408 , C23C16/4481 , C23C16/45544 , C23C16/50 , F17C3/00 , F17C3/02 , F17C11/00 , F17C2203/03 , Y02E60/321 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 기화가능한 소스 물질을 보유하기 위한 복수의 수직 적층된 용기를 포함하는 반도체 제조 프로세스에서의 사용을 위한 기화기 이송 시스템을 개시한다. 수직으로 적층된 용기의 각각은 각각의 적층된 용기의 내부로 연장되는 복수의 채널 형성된 돌기를 포함하여, 인접한 수직 적층된 용기 사이에 캐리어 가스를 통과시키기 위한 채널을 제공한다.
摘要翻译：一种用于半导体制造工艺的蒸发器输送系统，包括用于保持可蒸发的源材料的多个垂直堆叠的容器（22）。每个垂直堆叠的容器包括延伸到每个堆叠容器的内部的多个通风突起（30），从而提供用于在相邻的垂直堆叠的容器之间通过载气的通道。

3. 实用新型

KR200207312Y1 렌즈 형태의 다공성 금속 스폰지가 장착된 순간기화기 失效
标题翻译：闪光灯配有透镜形孔状海绵
公开(公告)号：KR200207312Y1
公开(公告)日：2000-12-15
申请号：KR2020000019821
申请日：2000-07-11
申请人： 학교법인 포항공과대학교
发明人： 이시우 , 이정현
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： C23C16/4483 , C23C16/18 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 유기금속 전구체로부터 금속박막을 제조하기 위한 화학증착 공정에 사용되는 순간기화기 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따라 가장자리부의 두께가 중심부의 두께 보다 얇도록 설계된 렌즈형 다공성 금속 스폰지가 장착된 순간기화기는 금속 스폰지의 부위에 따른 온도 편차가 감소되어 유기금속 전구체의 기화를 효율적으로 수행할 수 있다.

4. 发明授权

KR101882599B1 개방 셀 코어를 가진 기화기 유닛 및 작동 방법 有权
公开(公告)号：KR101882599B1
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：KR1020167022589
申请日：2015-02-04
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 나스만로날드
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/205 , C23C16/448 , C23C16/52
CPC分类号： C23C16/4483 , C23C16/52
摘要： 기판프로세싱시스템으로의기체상전구체의도입을위한기화기가제공되며, 기화기는: 기화기유입구, 기화기유출구, 및컨테이너벽을갖는기화기챔버; 및증기가적어도하나의다공성폼 부재(porous foam member)를통해흐르도록, 상기기화기유입구와상기기화기유출구사이에상기기화기챔버내에배열되는상기적어도하나의다공성폼 부재를포함하며, 상기컨테이너벽은상기기화기유입구와상기기화기유출구사이에연장되어그들사이에기화체적을정의하며, 상기컨테이너벽은상기기화기챔버의측방치수를정의하고, 상기적어도하나의다공성폼 부재는상기컨테이너벽과물리적으로접촉하여열적으로소통하며, 상기적어도하나의다공성폼 부재는상기측방치수의적어도 10%인두께를갖는다. 기화기챔버는기화기노즐및 약 30-40도의반각을갖는발산하는단면적에의해특징화되는입구챔버부분을포함한다.

5. 发明公开

KR1020140043791A 증착 방법 및 장치 审中-实审
标题翻译：沉积方法和装置
公开(公告)号：KR1020140043791A
公开(公告)日：2014-04-10
申请号：KR1020147001649
申请日：2012-06-06
申请人： 아익스트론 에스이
发明人： 롱,미하엘 , 게르스도르프,마르쿠스
IPC分类号： C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4481 , C23C16/4483
摘要： 본 발명은 우선 유기 출발 물질로 이루어진 층을 기판(11)상에 증착하기 위한 방법과 관련이 있으며, 이 경우 상기 유기 출발 물질은 현탁 입자 형태의 에어로졸로서 운반 가스 흐름 안에서 증발기(1) 내부로 보내지며, 이 경우 상기 현탁 입자는 그곳에서 온도 제어 장치에 의해 가열된 열 전달 면(15)에 접촉하게 되고, 상기 열 전달 면(15)의 온도에도 의존하는 평균 체류 시간 후에 증발되며, 이 경우 상기와 같이 운반 가스에 의하여 발생 된 증기는 출력 가스 흐름으로써 증발기(1)로부터 나와서 프로세스 챔버(10) 내부로 보내지며, 이곳에서 증기는 기판(11)의 표면에서 층을 형성하면서 응축된다. 에어로졸의 증발에 의해 발생하는 증기의 시간에 따른 변동률을 줄이기 위하여, 본 발명에 따라 열 전달 면(15)의 온도가 출력 가스 흐름 내에서 발생하는 증기(c)의 질량 유동의 시간에 따른 변화에 대한 응답으로서 변경되는 것이 제안된다. 또한, 본 발명은 운반 가스 흐름 내에서 운송되는 유기 현탁 입자를 증발시키기 위한 장치, 그리고 OLED를 증착하기 위한 장치와도 관련이 있다.

6. 发明公开

KR1020130133716A 전달 장치 및 이의 사용 방법 有权
标题翻译：递送装置及其使用方法
公开(公告)号：KR1020130133716A
公开(公告)日：2013-12-09
申请号：KR1020130119657
申请日：2013-10-08
申请人： 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨
发明人： 우엘크에그버트 , 디카를로주니어로날드엘.
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4402 , C23C16/4481 , C23C16/4483 , C23C16/45591
摘要： A delivery device comprises an inlet port and an outlet port. The delivery port comprises an inlet chamber and an outlet chamber. The outlet chamber is located on the opposite side of the inlet chamber and connected to the inlet chamber through a conical section which facilitates fluid communication. The outlet chamber includes a labyrinth which permits the vapor of a solid precursor compound to leave the delivery device through the output port and, at the same time, prevents the solid particles of the solid precursor compound contained in the delivery device from leaving the delivery device.
摘要翻译：输送装置包括入口和出口。输送口包括入口室和出口室。出口室位于入口室的相对侧，并通过锥形部分连接到入口室，该锥形部分便于流体连通。出口室包括迷宫，其允许固体前体化合物的蒸气离开输送装置通过输出端口，并且同时防止包含在输送装置中的固体前体化合物的固体颗粒离开输送装置。

7. 发明授权

KR101183109B1 캐리어 가스를 이용하는 승화 시스템 有权
标题翻译：运送载气的下游系统
公开(公告)号：KR101183109B1
公开(公告)日：2012-09-24
申请号：KR1020057001614
申请日：2003-07-29
申请人： 에이에스엠 아메리카, 인코포레이티드
发明人： 셰로에릭제이. , 기븐스마이클이. , 슈미트라이언
IPC分类号： C23C16/448
CPC分类号： C23C16/45544 , C23C16/4481 , C23C16/4483
摘要： 본 발명의 바람직한 실시예는 증기 반응물용 고체 소스 물질(7)이 코팅되는, 넓은 표면적의 지지 매체(60)를 가진 바람직한 특정 실시예를 포함하는 가이드 구조체를 이용한 승화 시스템을 제공한다. 바람직하게, 가이드 구조체는 증기 반응물용 고체 소스로 캐리어 가스가 용이하게 반복적으로 포화되도록 한다. 가이드 구조체를 이용하여 캐리어 가스를 포화시키는 방법도 제공된다.
승화 베드, 캐리어 가스, 플러그 플로우, 교반 탱크 반응기, 고체 소스, 지지 매체, 증기 반응물, 원자층 증착

8. 发明公开

KR1020120032554A 증기 이송 시스템, 기화기, 기화기 유닛 및 기화된 공급원 물질 이송 방법 有权
标题翻译：蒸气输送系统，蒸发器，蒸发器单元和用于输送蒸发源材料的方法
公开(公告)号：KR1020120032554A
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：KR1020127003114
申请日：2003-07-01
申请人： 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
发明人： 그레그존 , 배틀스코트 , 밴톤제프리아이 , 나이토돈 , 퓨에르마리안
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4483 , C23C16/4408 , C23C16/4481 , C23C16/45544 , C23C16/50 , F17C3/00 , F17C3/02 , F17C11/00 , F17C2203/03 , Y02E60/321 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 기화가능한 공급원 물질을 보유하기 위한 복수의 수직 적층된 용기를 포함하는 반도체 제조 프로세스에서의 사용을 위한 기화기 이송 시스템을 개시한다. 수직으로 적층된 용기의 각각은 각각의 적층된 용기의 내부로 연장되는 복수의 채널 형성된 돌기를 포함하여, 인접한 수직 적층된 용기 사이에 캐리어 가스를 통과시키기 위한 채널을 제공한다.
摘要翻译：一种用于半导体制造工艺的蒸发器输送系统，包括用于保持可蒸发的源材料的多个垂直堆叠的容器（22）。每个垂直堆叠的容器包括延伸到每个堆叠容器的内部的多个通风突起（30），从而提供用于在相邻的垂直堆叠的容器之间通过载气的通道。

9. 发明公开

KR1020160077229A 형태학적으로 제어된 고체를 이용한 고체 전구체계 유체 운반 审中-实审
标题翻译：使用固体前驱体的流体利用控制固体物质的流体
公开(公告)号：KR1020160077229A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：KR1020167016576
申请日：2007-08-31
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 클리어리존엠 , 아르노호세아이 , 헨드릭스브라이언씨 , 나이토돈 , 배틀스코트 , 그레그존 , 우젠스키마이클제이 , 쑤총잉
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/453
CPC分类号： C23C16/4481 , C23C14/48 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18 , C23C16/30 , C23C16/4402 , C23C16/45525 , C23C16/45544 , C23C16/448 , C23C16/4483 , C23C16/453
摘要： 본발명의장치및 방법은, 증기내에입자가생성또는존재하기쉬운소스반응물을기화시키는것에관한것으로서, 그러한입자의생성또는존재가증기발생시스템의구조적또는처리적특징에의해억제된다. 그러한장치및 방법은액체및 고체소스반응물, 특히예를들면하프늄할라이드등의금속할라이드와같은고체소스반응물에적용할수 있다. 하나의특정실시예에서, 소스반응물은다공성모놀리스벌크형태의소스반응물재료로구성된다. 본발명의장치및 방법은원자층증착(ALD) 및이온주입과같은용례를위한소스반응물증기를제공하는데에이용하기에유용하다.
摘要翻译：用于挥发容易产生颗粒或在相应的源试剂蒸气中存在颗粒的源试剂的装置和方法，其中通过蒸气产生系统的结构或加工特征抑制了这种颗粒产生或存在。这种装置和方法适用于液体和固体源试剂，特别是固体源试剂如金属卤化物，例如氯化铪。一种具体实施方案中的源试剂由源试剂材料的多孔整体块形式构成。本发明的装置和方法有用地用于提供用于例如原子层沉积（ALD）和离子注入的应用的源试剂蒸气。

10. 发明公开

KR1020080098448A 베이퍼라이저 전달 앰플 无效
标题翻译：蒸气送货
公开(公告)号：KR1020080098448A
公开(公告)日：2008-11-07
申请号：KR1020087024621
申请日：2003-07-01
申请人： 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
发明人： 그레그존 , 배틀스코트 , 밴톤제프리아이 , 나이토돈 , 퓨에르마리안
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4483 , C23C16/4408 , C23C16/4481 , C23C16/45544 , C23C16/50 , F17C3/00 , F17C3/02 , F17C11/00 , F17C2203/03 , Y02E60/321 , Y10S261/65
摘要： A vaporizer delivery system (10) for use in semiconductor manufacturing processes including a plurality of vertically stacked containers (22) for holding a vaporizable source material. Each of the vertically stacked containers (22) includes a plurality of vented protuberances (30) extending into the interior (27) of the each stacked container (22) thereby providing channels for passage of a carrier gas between adjacent vertically stacked containers (22).
摘要翻译：一种用于半导体制造过程的蒸发器输送系统（10），包括用于保持可蒸发的源材料的多个垂直堆叠的容器（22）。每个垂直堆叠的容器（22）包括延伸到每个堆叠的容器（22）的内部（27）中的多个通气突起（30），从而提供用于在相邻的垂直堆叠的容器（22）之间通过载气的通道，。

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