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    • 5. 发明公开
    • 금속산화물 박막 패턴 형성용 용액형 조성물 및 이를 이용하여 제조한 금속산화물 박막 패턴
    • 用于形成金属氧化物膜的组合物和使用其形成的金属氧化物膜
    • KR1020150080961A
    • 2015-07-13
    • KR1020130169536
    • 2013-12-31
    • 롯데정밀화학 주식회사
    • 매튜스미스
    • G03F7/004C09D7/12G03F7/028
    • G03F7/075C07D261/20G03F7/004G03F7/028
    • 본발명은금속산화물박막패턴형성용용액형조성물및 이를이용하여제조한금속산화물박막패턴에관한것이다. 본발명은산-생성화합물로엔-하이드록시나프탈이미드트리플레이트 (N-Hydroxynaphthalimidetriflate), (2,6-디니트로페닐)메틸-4-메틸벤젠설포네이트((2,6-dinitrophenyl)methyl-4-methylbenzenesulfonate), (2-니트로페닐)메틸4-벤젠설포네이트((2-nitrophenyl)methyl 4-methylbenzenesulfonate), (2-니트로페닐)메틸트리플로로메탄설포네이트((2-nitrophenyl)methyltrifluoromethanesulfonate), (3E)-3-히드라지닐리딘-4-옥소-3-3,4-디히드로나프탈렌-1-설포닉애시드((3E)-3-hydrazinylidene-4-oxo-3,4-dihydronaphthalene-1-sulfonic acid), 2-(3,5-디메톡시페닐)프로판-2-일 N-시클로헥실카바메이트(2-(3,5-dimethoxyphenyl)propan-2-yl N-cyclohexylcarbamate), (2-(3,4-디메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-1,3,5-트리아진(2-(3,4-dimethoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine), 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(5-메틸퓨란-2-일)비닐]-1,3,5-트리아진 (2,4-bis(trichloromethyl)-6-[2-(5-methylfuran-2-yl)vinyl]-1,3,5-triazine)로이루어진그룹에서선택된 1 종이상을포함하는것을특징으로한다. 본발명에의하면금속산화물박막패턴의해상도및 신뢰도를향상시킬수 있고, 증착장비를사용하지않고인쇄공정에의하므로제조공정이단순하여비용절감의효과가있다.
    • 本发明涉及一种用于形成金属氧化物薄膜图案的溶液型组合物和使用其制造的金属氧化物薄膜图案,更具体地说,涉及一种用于形成金属氧化物薄膜图案的溶液型组合物的组合物, 包括:有机金属前体; 通过光照射产生酸的产酸化合物; 以及通过氧化释放水的产水化合物。 根据本发明,可以提高金属氧化物薄膜图案的分辨率和可靠性,并且通过简单的制造工艺具有降低成本的效果。