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    • 8. 发明公开
    • 고속분광편광 측정장치 및 방법
    • 用于高速光谱旋光仪的设备和方法
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    • 김대석마그누손,로버트
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    • 본발명에따른고속분광편광측정장치는, 광대역백색광을평행광으로변환시키고, 상기평행광의크기를조절하여측정물을향하여평행광을조사하는평행광모듈; 상기측정물을투과한평행광의광경로를빔 스플리터로직행경로와변조경로로나누고, 변조경로로나뉘어진평행광을편광자를통하여편광상태를변조시키고, 직행경로로의평행광과변조경로의평행광을수광하고듀얼스펙트럼감지모듈로조사하는편광변조모듈; 상기편광변조모듈로부터입사된평행광을빔 스플리터로분리하고, 분리된평행광을각각 s선형편광상태와 p선형편광상태로편광하고, 듀얼분광기로연결하여각각편광된평행광의간섭스펙트럼을스냅샷으로측정하는듀얼스펙트럼감지모듈; 상기듀얼스펙트럼감지모듈이측정한스냅샷의측정값을기초로하여분광정보를갖는스토크스벡터를계산하는컴퓨터장치; 를포함할수 있으며, 스냅샷방식으로측정함으로써기존발명과대비하여수십배 이상의고속측정이가능하여다이나믹한측정이필요한반도체나디스플레이생산공정인라인모니터링분야에큰 효과를가져올수 있다. 또한, 본발명의고속분광편광측정장치의구성을변형함으로써, 고속분광타원계측기및 고속분광반사계측기의구성도도출해낼수 있다.
    • 快速分光偏振计测装置,并转换成光平行于光学模块的并行宽带白光用于通过调整根据本发明的平行光的尺寸朝向照射测量对象的平行光; 该测量给出一个作为通过水传递到直线路径和调制路径到光束分离器平行光的光路,通过并行光偏振器由调制路径分为偏振状态和,平行调节为平行光,并且调制路径直线路径, 偏振调制模块,用于接收光并照射双频谱感测模块; 分离的平行光入射的偏振调制模块作为分束器,每个s直线偏振光透过的分开的平行光状态和对具有线性偏振状态,和偏振,通过连接一个双分光计镜头捕捉的各偏振平行光的干涉光谱 双频谱感测模块,用于测量电池的功率; 一种计算装置,用于基于由双频谱感测模块测量的快照的测量值来计算具有频谱信息的斯托克斯矢量; 它可以包括,并且通过测量的快照的方法可能导致在需要半导体或显示器制造过程中在线监控,一个快速测量是可能通过比现有发明的测量量值的动态几个数量级的较大的效果。 此外,通过修饰本发明的高速分光偏振测量装置的结构,它获得的高速椭圆偏振光谱仪和高速光谱反射计haenaelsu的结构图。