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1. 发明公开

KR1020120108054A 센서를 구비한 가공 백 용기 有权
标题翻译：带传感器的工艺袋集装箱
公开(公告)号：KR1020120108054A
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：KR1020127022346
申请日：2011-03-09
申请人： 이엠디 밀리포어 코포레이션
发明人： 웡데니스데니스
IPC分类号： B01F7/16 , B01F13/08 , C12M1/02 , B01L3/00
CPC分类号： C12M41/00 , B01F7/162 , B01F13/08 , B01F15/00071 , B01F15/00175 , B01F15/00207 , B01F15/0022 , B01F15/00227 , B01F15/00831 , B01F15/0085 , B01L3/52 , C12M23/14 , C12M23/26 , C12M27/02
摘要： 가요성 백 (12), 상기 백에 밀봉된 적어도 하나의 입구(14) 및 하나의 출구(34)를 포함하는 가공 백 용기(10)가 제공된다. 프로브 작성을 위한 프로브 하우징(18)은 백에 밀봉된다. 바람직하게는, 프로브 하우징은 적어도 부분적으로 백 내부로 연장되며, 또 외부표면을 따라 존재하는 전력 및 데이터 전송을 위한 케이블(32)에 접속된다; 백의 상부 또는 그의 지지 용기(30)에도 접속된다. 프로브 작성은 백 내의 시약 조성뿐만 아니라 백 내의 환경을 모니터링하기 위해 변형될 수 있다. 백 내의 시약을 혼합하기 위하여 백 내부에 혼합기(24)가 배치된다.

2. 实用新型

KR200450981Y1 The water-soluble adhesive injection device 审中-公开
公开(公告)号：KR200450981Y1
公开(公告)日：2010-11-15
申请号：KR20100006429
申请日：2010-06-18
IPC分类号： B05B7/02 , B05B7/24 , B05B15/00
CPC分类号： B05B7/0408 , B01F15/00123 , B01F15/00207 , B05B7/0093 , B05B15/003 , C08L101/00
摘要： 본 고안은 수용성 접착제 분사장치에 관한 것으로, 그 구성은 내부에 수용성 접착제가 수용되는 투명한 재질의 저장용기;와, 상기 저장용기의 상부에 위치되며, 상기 저장용기의 개폐를 결정하는 상부덮개;와, 상기 저장용기의 하부에 위치하며, 상기 저장용기를 지지하는 지지판;과, 상기 저장용기의 내부로 공기를 공급하는 에어실린더;와, 상기 저장용기로 유입되는 공기의 흐름을 개폐하는 에어조절부;와, 상기 저장용기에 수용된 수용성 접착제를 외부로 배출시키는 분사노즐;을 포함하는 수용성 접착제 분사장치에 있어서,
내부에 수용성 접착제가 수용되며, 상기 저장용기의 내부에 안치되어 수용성 접착제가 보이도록 투명한 재질을 갖는 수용용기;와, 상기 상부덮개의 상부 중심에 위치하며, 내부에 베어링이 형성되되, 내부 중심에는 상기 상부덮개의 중심에 형성된 관통구멍과 연통되게 삽입구멍이 형성되는 고정베어링;과, 하부는 상기 수용용기에 내부에 수용되며, 상부는 상기 고정베어링의 삽입구멍을 관통하는 교반축;과, 상기 교반축의 하부에 결합되는 적어도 하나 이상의 교반날개;와, 상기 교반축의 상부에 결합되어 상기 교반축으로 회전력을 제공하는 구동부;와, 장치의 작동을 결정하는 온-오프 스위치와, 장치가 작동하는 시간을 미리 예약할 수 있는 타이머가 구비된 제어부;로 된 것을 특징으로 하는 것으로서,
상기 저장용기 내부에 탈착이 용이한 수용용기를 별도로 형성하여 수용성 접착제가 수용되는 용기 청소의 편의성을 확보할 뿐만 아니라, 수용용기 내면에 접착제에 의한 부식 및 크랙을 방지하는 강화코팅층을 형성하여 장치의 사용수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 수용용기에 수용되는 수용성 접착제가 골고루 혼합되도록 교반수단이 마련되므로, 적어도 2가지 이상의 혼합물로 이루어진 수용성 접착제가 골고루 혼합된 상태에서 외부로 배출될 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 장치의 작동을 제어하는 제어부에 장치의 작동시간을 설정 제어하는 타이머를 형성함으로, 사용시간의 제약이 있는 경화제를 사용하더라도 사용시간을 초과하지 않고 사용할 수 있어 사용자에게 사용의 편의성을 제공할 수 있는 효과가 있다.

3. 发明公开

KR1020080033453A 용액 제조 시스템 및 방법 有权
标题翻译：解决方案制造系统和方法
公开(公告)号：KR1020080033453A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：KR1020087004597
申请日：2006-07-27
申请人： 카르길,인코포레이티드
发明人： 힐드레쓰클레이 , 호엘르마이클 , 아크사미트스코트
IPC分类号： B01F1/00 , B01F15/00 , B01F5/10 , G05D11/13
CPC分类号： B01F5/106 , B01F1/0016 , B01F1/0038 , B01F15/00032 , B01F15/00155 , B01F15/00207 , B01F15/0022 , B01F15/00285 , B01F15/00305 , B01F15/00844 , G05D11/135 , Y10S422/902 , Y10T137/034 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509 , Y10T436/115831
摘要： A solution making system and apparatus are described. The solution maker mixes a chemical or slurry with a solvent to a desired concentration. The concentration of the solution is monitored by one or more methods. Based upon this measurement, the concentration of the solution may be adjusted.
摘要翻译：描述了一种溶液制备系统和装置。溶液制造商将化学品或浆料与溶剂混合至所需浓度。通过一种或多种方法监测溶液的浓度。基于该测量，可以调节溶液的浓度。

4. 发明公开

KR1020080002878A 수술용 시멘트 중합 방법 및 장치 无效
标题翻译：用于聚合外科水泥的装置和方法
公开(公告)号：KR1020080002878A
公开(公告)日：2008-01-04
申请号：KR1020077024618
申请日：2006-03-28
申请人： 더 퀸즈 유니버시티 오브 벨파스트
发明人： 오르,존,펜윅 , 던,니콜라스
IPC分类号： A61F2/46
CPC分类号： A61B17/8802 , A61B2017/883 , A61B2017/8844 , A61F2002/4631 , B01F15/00207
摘要： An apparatus for monitoring the polymerisation of surgical cement comprising a container for holding the surgical cement, sensing means to detect at least one environmental factor affecting surgical cement polymerisation or property of surgical cement indicating the level of polymerisation, wherein the sensing means is adapted to produce an output according to at least one environmental factor or property. The apparatus further comprises signal means to inform a user of the condition of the surgical cement according to the output of the sensing means. Suitably at least one environmental factor or property of the surgical cement is ambient temperature, ambient humidity, temperature of the surgical cement, viscosity of the surgical cement or the speed of sound through the surgical cement.
摘要翻译：一种用于监测手术水泥聚合的装置，包括用于保持手术水泥的容器，用于检测至少一个影响手术水泥聚合的环境因素的感测装置，指示聚合水平的手术水泥的性质，其中感测装置适于产生根据至少一个环境因素或属性的输出。该装置还包括根据感测装置的输出通知用户手术水泥的状况的信号装置。手术水泥的至少一种环境因素或性质适合环境温度，环境湿度，手术水泥的温度，手术水泥的粘度或通过外科手术水泥的声速。

5. 发明授权

KR101191549B1 기판 세정 방법, 기판 세정 장치 및 프로그램 기록 매체 有权
标题翻译：清洗基板和程序记录介质的方法和装置
公开(公告)号：KR101191549B1
公开(公告)日：2012-10-15
申请号：KR1020070024996
申请日：2007-03-14
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 와타나베즈카사 , 신도나오키 , 후루카와다카히로 , 가미카와유지
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： B08B3/12 , B01F15/00207 , B01F15/0022 , B01F15/0429 , B08B3/00 , C11D11/0047 , H01L21/67057
摘要： 본 발명은, 피처리 기판의 전면으로부터 파티클을 높은 제거 효율로 제거할 수 있는 기판 세정 방법을 제공한다. 본 발명에 의한 기판 세정 방법에 있어서, 피처리 기판(W)은 세정조(12)에 저류된 세정액 속에 침지된다. 이어서, 상기 세정조(12) 내의 세정액에 초음파가 발생되게 되어, 피처리 기판(W)이 초음파 세정된다. 피처리 기판(W)이 세정되는 동안, 세정조 내의 세정액에 용해된 가스의 용존 농도를 변화시킬 수 있다.

6. 发明公开

KR1020110074672A 포토리소그래피용 현상액 및 레지스트 패턴 형성 방법, 그리고 포토리소그래피용 현상액의 제조 방법 및 제조 장치 有权
标题翻译：用于光刻技术的发展解决方案，用于形成电阻图案的方法，以及用于生产用于光刻机的开发解决方案的方法和装置
公开(公告)号：KR1020110074672A
公开(公告)日：2011-07-01
申请号：KR1020100130417
申请日：2010-12-20
申请人： 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
发明人： 구마가이도모야 , 우에노나오히사 , 고시야마준
IPC分类号： G03F7/32 , H01L21/027 , G03F7/004 , G03F7/42 , G03F7/075
CPC分类号： G03F7/322 , B01F3/088 , B01F3/20 , B01F3/2078 , B01F7/18 , B01F15/00175 , B01F15/00207 , B01F15/00396 , G03F7/004 , G03F7/075 , G03F7/42 , H01L21/0274
摘要： PURPOSE: A photolithography developing solution, a method for forming resist patterns, a method for manufacturing the photolithography developing solution, and an apparatus for manufacturing the same are provided to suppress the precipitation of hydroxide tetrabutyl ammonium. CONSTITUTION: A photolithography developing solution, which is obtained from an apparatus for manufacturing the photolithography developing solution(1), includes at least one selected from a group including tetrabutyl ammonium hydroxide, an aqueous organic solvent, a surfactant, and an inclusion compound. The content of the aqueous organic solvent is between 1 and 10 weight%. The aqueous organic solvent is polyhydric alcohol. The polyhydric alcohol is one selected from a group including ethylene glycol, propylene glycol, and glycerin. The content of the surfactant is between 0.01 and 10 weight%. The surfactant is selected from a group including cyclodextrin and crown ether.
摘要翻译：目的：提供光刻显影液，抗蚀图案的形成方法，光刻显影液的制造方法及其制造装置，以抑制氢氧化四丁基铵的析出。构成：从用于制造光刻显影液（1）的装置获得的光刻显影液包括选自氢氧化四丁基铵，含水有机溶剂，表面活性剂和包合物的组中的至少一种。水性有机溶剂的含量为1〜10重量％。含水有机溶剂是多元醇。多元醇是选自乙二醇，丙二醇，甘油等的多元醇。表面活性剂的含量为0.01〜10重量％。表面活性剂选自包括环糊精和冠醚的组。

7. 发明公开

KR1020080032113A 통합 가스 배합 장치 및 방법 有权
标题翻译：集成气体混合的装置和方法
公开(公告)号：KR1020080032113A
公开(公告)日：2008-04-14
申请号：KR1020087001735
申请日：2006-06-22
申请人： 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
发明人： 호만제프리제이 , 아르노호세아이 , 스위니조셉디
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/22
CPC分类号： H01L21/2225 , B01F3/028 , B01F15/00207 , B01F15/0022 , B01F15/00285 , B01F15/0429 , F17C5/06 , F17C7/02 , F17C13/02 , F17C13/025 , F17C2221/01 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/035 , F17C2225/0123 , F17C2225/035 , F17C2227/0157 , F17C2250/032 , F17C2250/043 , F17C2250/0443 , F17C2250/0447 , F17C2250/0452 , F17C2250/0626 , F17C2265/025 , F17C2270/0518 , G05D11/132 , Y10T137/2509 , Y10T137/87571
摘要： A system (10) for delivery of dilute fluid, utilizing an active fluid source (12), a diluent fluid source (14), a fluid flow metering device (24) for dispensing of one of the active and diluent fluids, a mixer (28) arranged to mix the active and diluent fluids to form a diluted active fluid mixture, and a monitor (42) arranged to sense concentration of active fluid and/or diluent fluid in the diluted active fluid mixture, and responsively adjust the fluid flow metering device (24) to achieve a predetermined concentration of active fluid in the diluted active fluid mixture. A pressure controller (38) is arranged to control flow of the other of the active and diluent fluids so as to maintain a predetermined pressure of the diluted active fluid mixture dispensed from the system. The fluid dispensed from the system then can be adjustably controlled by a flow rate controller, e.g., a mass flow controller, to provide a desired flow to a fluid-utilizing unit, such as a semiconductor process tool. An end point monitoring assembly is also described, for switching fluid sources (12, 15) to maintain continuity of delivery of the diluted active fluid mixture.
摘要翻译：一种用于输送稀释流体的系统（10），其利用活性流体源（12），稀释液体源（14），用于分配活性和稀释流体之一的流体流量计量装置（24），混合器 28），其布置成混合所述活性和稀释液体以形成稀释的活性流体混合物;以及监测器（42），其布置成感测所述稀释的活性流体混合物中的活性流体和/或稀释液的浓度，并响应地调节流体流量计量装置（24）以在稀释的活性流体混合物中实现预定浓度的活性流体。压力控制器（38）布置成控制另一个活性和稀释液体的流动，以便保持从系统分配的稀释的活性流体混合物的预定压力。然后，从系统分配的流体可以由流量控制器（例如质量流量控制器）可调节地控制，以向诸如半导体处理工具的流体利用单元提供期望的流量。还描述了终点监测组件，用于切换流体源（12,15）以维持稀释的活性流体混合物的输送的连续性。

8. 发明公开

KR1020070093894A 기판 세정 방법, 기판 세정 장치 및 프로그램 기록 매체 有权
标题翻译：清洗基板和程序记录介质的方法和装置
公开(公告)号：KR1020070093894A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：KR1020070024996
申请日：2007-03-14
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 와타나베즈카사 , 신도나오키 , 후루카와다카히로 , 가미카와유지
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： B08B3/12 , B01F15/00207 , B01F15/0022 , B01F15/0429 , B08B3/00 , C11D11/0047 , H01L21/67057
摘要： A substrate cleaning method and apparatus and a programmable recording medium are provided to improve the particle removing efficiency of a substrate by uniformly removing particles from the substrate. A substrate(W) is immersed in a cleaning liquid stored in a cleaning tank(12). The substrate is cleaned by generating ultrasonic waves in the cleaning liquid contained in the cleaning tank. In the step of cleaning the substrate, a dissolved gas concentration of a gas dissolved by the cleaning liquid inside the cleaning tank is changed. The generation of ultrasonic waves is stopped, and the dissolved gas concentration is changed during stop. When the dissolved gas concentration is changed, the dissolved gas concentration of the cleaning liquid is lowered.
摘要翻译：提供了基板清洗方法和装置以及可编程记录介质，以通过从基板均匀地除去颗粒来提高基板的颗粒去除效率。将衬底（W）浸入存储在清洗槽（12）中的清洗液中。通过在包含在清洗槽中的清洗液中产生超声波来清洁基板。在清洗基板的步骤中，清洗槽内的清洗液溶解的气体的溶解气体浓度变化。停止产生超声波，停止时溶解气体浓度变化。当溶解气体浓度变化时，清洗液的溶解气体浓度降低。

9. 发明授权

KR100692290B1 살균수의 제조장치 失效
标题翻译：用于生产灭菌水的装置
公开(公告)号：KR100692290B1
公开(公告)日：2007-03-09
申请号：KR1020047017721
申请日：2003-05-08
申请人： 가부시키가이샤 패밀리 라이프
发明人： 사카타유 , 오카자키토시오 , 이케다토시즈미
IPC分类号： C02F1/50 , A61L2/18
CPC分类号： G01F1/22 , A61L2/18 , B01F3/0861 , B01F3/088 , B01F5/0415 , B01F5/0617 , B01F5/0619 , B01F15/00207 , B01F15/0412 , B01F2005/0435 , B01F2005/0621 , B01F2005/0637 , C02F1/50 , C02F1/66 , C02F1/686 , C02F1/76 , C02F2103/026 , C02F2209/42 , C02F2301/043 , C02F2303/04 , G05D11/006 , G05D11/131 , Y10T137/87595
摘要： 염소가스의 발생을 억제하면서, 염소계 수용액의 살균력을 충분히 발휘시킴과 동시에, 간이한 구조의 살균수의 제조장치를 제공한다. 본 발명에 있어서는, 물, 산 수용액, 염소계 수용액의 3액을 충분히 제어된 농도에서 적절히 혼입ㆍ혼합하는 것에 의해, 소망의 살균수를 제조하는 살균수 제조장치를 제공한다. 물(1)은 산 수용액(21)이나 염소수용액(31)에 비하여 대량으로 사용된다. 본 발명의 어느 태양의 살균수 제조장치에 있어서는, 혼입기(4, 400, 26, 36)에 있어서, 산 수용액과 염소계 수용액의 양자를 물로 희석하므로써 서로 혼합하도록 할 수 있다.

10. 发明公开

KR1020030082481A 고점도 유체 배합물의 제조를 위한 자동화 시스템 및 공정 无效
标题翻译：用于制造高粘度流体制剂的自动化系统和工艺
公开(公告)号：KR1020030082481A
公开(公告)日：2003-10-22
申请号：KR1020030024318
申请日：2003-04-17
申请人： 롬 앤드 하스 캄파니
发明人： 린센마이클윌리엄 , 스쿠레마크리차드 , 웨이더마이어크리스틴
IPC分类号： B01F15/04
CPC分类号： B01F15/0022 , B01F7/16 , B01F13/1055 , B01F13/1066 , B01F15/00025 , B01F15/00194 , B01F15/00207 , B01F15/00246 , B01F15/00344 , B01F15/0201 , B01F15/0245 , B01F15/0479 , B01F2215/0037 , B01F2215/0495 , G01N1/38 , G01N2035/00217
摘要： 소규모의 실험실 조작에 사용되는 자동화 유체 배합 시스템에 관한 것이다. 상기 시스템은 성분의 측정 및 전체 배합 공정의 정밀한 제어를 제공하는 컴퓨터를 사용한다. 본 발명의 새로운 특징은 에멀젼 및 겔과 같은 고점도의, 높은 고형분 유체의 배합을 정밀하게 제어할수 있다는 것이다. 나아가, 예비-프로그램된 세척 사이클을 컴퓨터내로 입력시켜 상기 혼합 원소를 자동으로 세척할 수 있으며, 이에 따라 상기 혼합 원소는 배합 전의 물질로 후속적인 배합물을 오염시키지 않는다.

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