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1. 发明授权

KR101241922B1 통합 가스 배합 장치 및 방법 有权
标题翻译：集成气体混合的装置和方法
公开(公告)号：KR101241922B1
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：KR1020087001735
申请日：2006-06-22
申请人： 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
发明人： 호만제프리제이 , 아르노호세아이 , 스위니조셉디
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/22
CPC分类号： H01L21/2225 , B01F3/028 , B01F15/00207 , B01F15/0022 , B01F15/00285 , B01F15/0429 , F17C5/06 , F17C7/02 , F17C13/02 , F17C13/025 , F17C2221/01 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/035 , F17C2225/0123 , F17C2225/035 , F17C2227/0157 , F17C2250/032 , F17C2250/043 , F17C2250/0443 , F17C2250/0447 , F17C2250/0452 , F17C2250/0626 , F17C2265/025 , F17C2270/0518 , G05D11/132 , Y10T137/2509 , Y10T137/87571
摘要： 본 발명은, 활성 유체 공급원(12)과, 희석제 유체 공급원(14)과, 활성 유체와 희석제 유체 중 하나의 분배를 위한 유체 유동 계측 장치(24)와, 활성 유체와 희석제 유체를 혼합하여 희석한 활성 유체 혼합물을 형성하도록 배치된 혼합기(28), 및 희석한 활성 유체 혼합물 중의 활성 유체의 예정된 농도를 얻기 위하여 상기 희석한 활성 유체 혼합물 중의 활성 유체 및/또는 희석제 유체의 농도를 감지하고, 이에 응답하여 유체 유동 계측 장치(24)를 조절하도록 배치된 모니터(42)를 사용하는 희석 유체 운반 시스템(10)을 제공한다. 시스템으로부터 분배되는 희석한 활성 유체 혼합물의 예정된 압력을 유지하기 위해 압력 제어부(38)가 상기 활성 유체와 희석제 유체 중 다른 하나의 유동을 제어하도록 배치되어 있다. 시스템으로부터 분배된 유체는 반도체 처리 기구와 같은 유체 사용 유닛에 소정 유량으로 제공되도록 유량 제어부, 예를 들어 질량 유량 제어부에 의해 조절 가능하게 제어될 수 있다. 종료 시점 모니터링 조립체는 또한, 희석한 활성 유체 혼합물의 운반 지속성을 유지하도록 유체 공급원(12, 15)을 스위칭하기 위해 제공된다.
활성 유체, 희석제 유체, 혼합기, 모니터, 농도, 압력 제어부, 유량 제어부, 희석 활성 유체 혼합물
摘要翻译：一种用于输送稀释流体的系统（10），其利用活性流体源（12），稀释液体源（14），用于分配活性和稀释流体之一的流体流量计量装置（24），混合器 28），其布置成混合所述活性和稀释液体以形成稀释的活性流体混合物;以及监测器（42），其布置成感测所述稀释的活性流体混合物中的活性流体和/或稀释液的浓度，并响应地调节流体流量计量装置（24）以在稀释的活性流体混合物中实现预定浓度的活性流体。压力控制器（38）布置成控制另一个活性和稀释液体的流动，以便保持从系统分配的稀释的活性流体混合物的预定压力。然后，从系统分配的流体可以由流量控制器（例如质量流量控制器）可调节地控制，以向诸如半导体处理工具的流体利用单元提供期望的流量。还描述了终点监测组件，用于切换流体源（12,15）以维持稀释的活性流体混合物的输送的连续性。

2. 发明公开

KR1020080032113A 통합 가스 배합 장치 및 방법 有权
标题翻译：集成气体混合的装置和方法
公开(公告)号：KR1020080032113A
公开(公告)日：2008-04-14
申请号：KR1020087001735
申请日：2006-06-22
申请人： 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
发明人： 호만제프리제이 , 아르노호세아이 , 스위니조셉디
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/22
CPC分类号： H01L21/2225 , B01F3/028 , B01F15/00207 , B01F15/0022 , B01F15/00285 , B01F15/0429 , F17C5/06 , F17C7/02 , F17C13/02 , F17C13/025 , F17C2221/01 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/035 , F17C2225/0123 , F17C2225/035 , F17C2227/0157 , F17C2250/032 , F17C2250/043 , F17C2250/0443 , F17C2250/0447 , F17C2250/0452 , F17C2250/0626 , F17C2265/025 , F17C2270/0518 , G05D11/132 , Y10T137/2509 , Y10T137/87571
摘要： A system (10) for delivery of dilute fluid, utilizing an active fluid source (12), a diluent fluid source (14), a fluid flow metering device (24) for dispensing of one of the active and diluent fluids, a mixer (28) arranged to mix the active and diluent fluids to form a diluted active fluid mixture, and a monitor (42) arranged to sense concentration of active fluid and/or diluent fluid in the diluted active fluid mixture, and responsively adjust the fluid flow metering device (24) to achieve a predetermined concentration of active fluid in the diluted active fluid mixture. A pressure controller (38) is arranged to control flow of the other of the active and diluent fluids so as to maintain a predetermined pressure of the diluted active fluid mixture dispensed from the system. The fluid dispensed from the system then can be adjustably controlled by a flow rate controller, e.g., a mass flow controller, to provide a desired flow to a fluid-utilizing unit, such as a semiconductor process tool. An end point monitoring assembly is also described, for switching fluid sources (12, 15) to maintain continuity of delivery of the diluted active fluid mixture.
摘要翻译：一种用于输送稀释流体的系统（10），其利用活性流体源（12），稀释液体源（14），用于分配活性和稀释流体之一的流体流量计量装置（24），混合器 28），其布置成混合所述活性和稀释液体以形成稀释的活性流体混合物;以及监测器（42），其布置成感测所述稀释的活性流体混合物中的活性流体和/或稀释液的浓度，并响应地调节流体流量计量装置（24）以在稀释的活性流体混合物中实现预定浓度的活性流体。压力控制器（38）布置成控制另一个活性和稀释液体的流动，以便保持从系统分配的稀释的活性流体混合物的预定压力。然后，从系统分配的流体可以由流量控制器（例如质量流量控制器）可调节地控制，以向诸如半导体处理工具的流体利用单元提供期望的流量。还描述了终点监测组件，用于切换流体源（12,15）以维持稀释的活性流体混合物的输送的连续性。

3. 发明授权

KR101412735B1 유체 저장/분배, 탈황, 및 적외선 복사 방출에 유용한 탄소질 재료, 이를 이용하는 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于流体储存/分配，脱硫和红外辐射排放的碳质材料，以及使用其的装置和方法
公开(公告)号：KR101412735B1
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：KR1020087021277
申请日：2007-01-29
申请人： 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
发明人： 디메오프랭크 , 카루더스도날드제이 , 우드젠스키마이클제이 , 맥마누스제임스브이 , 마줄로조셉 , 루코트스티븐엠 , 스위니조셉디 , 킹맥켄지 , 보비타브라이언
IPC分类号： B01D53/02 , B82Y30/00
CPC分类号： B01D53/0415 , B01D53/0446 , B01D2253/102 , B01D2253/1122 , B01D2253/202 , B01D2253/308 , B01D2253/311 , B01D2253/342 , B01D2256/24 , B01D2257/30 , B01D2258/0216 , B01D2259/40096 , B01D2259/4146 , B01D2259/4525 , B01D2259/455 , B01J20/20 , B01J20/28011 , B01J20/28014 , B01J20/28023 , B01J20/28033 , B01J20/28042 , B01J20/28052 , B01J20/2808 , B01J20/28097 , B01J2220/66 , B82Y30/00 , C01B3/0021 , C01B13/0251 , C10G25/003 , C10G45/02 , C10G67/06 , C10G2300/1033 , C10G2300/1044 , C10G2300/1051 , C10G2300/1055 , C10G2300/202 , C10G2300/207 , F17C11/00 , F17C11/007 , Y02E60/321 , Y02E60/325 , Y10S95/903 , Y10T428/249956 , Y10T428/249957
摘要： 유체 저장/분배 및 탈황 용례에 실용성을 갖는 탄소질 재료가 개시된다. 탄소질 재료는 일 구현예에서 나노다공성 탄소만을 갖는 것과 비교할 때 경도, 내마모성 및 인성으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 특징에 대해 향상된 특징을 복합재에 부여하는 재료로 적어도 부분적으로 충전된 기공을 갖는 나노다공성 탄소 복합재이다. 다른 구현예는 염소 가스를 위한 저장 매체로서 다공성 탄소 재료를 이용한다. 부가의 구현은 예를 들어 수소 연료 전지와 같은 수소 저장 매체로서 다공성 탄소 재료를 이용한다. 다른 구현에서, 다공성 탄소 재료는 다수의 다공성 탄소 물품의 배열에서 유체 저장 및 분배 시스템 내의 수착성 매체로서 이용되고, 위치 안정화 구조체가 이용되어 이동에 대해 배열을 억제한다. 제어된 방식으로 산소와의 반응을 위한 실란을 저장하기 위해 탄소 흡착제를 이용하는 적외선 이미터 디바이스가 개시된다. 탄소 흡착제가 흡착제의 저항성 및/또는 유도성 가열에 의해 잔류 유체로부터 탈착되는 배열이 개시된다. 탄소 흡착제를 팽윤제와 접촉시키고, 이어서 탄소 흡착제를 압축 가스 침투제와 접촉시키고, 이어서 팽윤제 및 침투제를 제거함으로써 다공성 탄소 흡착제의 로딩 용량을 증가시키는 방법이 또한 개시된다.

4. 发明公开

KR1020120020209A 유체 저장/분배, 탈황, 및 적외선 복사 방출에 유용한 탄소질 재료, 이를 이용하는 장치 및 방법 无效
标题翻译：用于流体储存/分配，脱硫和红外辐射排放的碳质材料，以及使用其的装置和方法
公开(公告)号：KR1020120020209A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR1020127002053
申请日：2007-01-29
申请人： 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
发明人： 디메오프랭크 , 카루더스도날드제이 , 우드젠스키마이클제이 , 맥마누스제임스브이 , 마줄로조셉 , 루코트스티븐엠 , 스위니조셉디 , 킹맥켄지 , 보비타브라이언
IPC分类号： B01D53/02 , B82Y30/00 , B01D53/48 , C10G45/00
CPC分类号： B01D53/0415 , B01D53/0446 , B01D2253/102 , B01D2253/1122 , B01D2253/202 , B01D2253/308 , B01D2253/311 , B01D2253/342 , B01D2256/24 , B01D2257/30 , B01D2258/0216 , B01D2259/40096 , B01D2259/4146 , B01D2259/4525 , B01D2259/455 , B01J20/20 , B01J20/28011 , B01J20/28014 , B01J20/28023 , B01J20/28033 , B01J20/28042 , B01J20/28052 , B01J20/2808 , B01J20/28097 , B01J2220/66 , B82Y30/00 , C01B3/0021 , C01B13/0251 , C10G25/003 , C10G45/02 , C10G67/06 , C10G2300/1033 , C10G2300/1044 , C10G2300/1051 , C10G2300/1055 , C10G2300/202 , C10G2300/207 , F17C11/00 , F17C11/007 , Y02E60/321 , Y02E60/325 , Y10S95/903 , Y10T428/249956 , Y10T428/249957
摘要： 유체 저장/분배 및 탈황 용례에 실용성을 갖는 탄소질 재료가 개시된다. 탄소질 재료는 일 구현예에서 나노다공성 탄소만을 갖는 것과 비교할 때 경도, 내마모성 및 인성으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 특징에 대해 향상된 특징을 복합재에 부여하는 재료로 적어도 부분적으로 충전된 기공을 갖는 나노다공성 탄소 복합재이다. 다른 구현예는 염소 가스를 위한 저장 매체로서 다공성 탄소 재료를 이용한다. 부가의 구현은 예를 들어 수소 연료 전지와 같은 수소 저장 매체로서 다공성 탄소 재료를 이용한다. 다른 구현에서, 다공성 탄소 재료는 다수의 다공성 탄소 물품의 배열에서 유체 저장 및 분배 시스템 내의 수착성 매체로서 이용되고, 위치 안정화 구조체가 이용되어 이동에 대해 배열을 억제한다. 제어된 방식으로 산소와의 반응을 위한 실란을 저장하기 위해 탄소 흡착제를 이용하는 적외선 이미터 디바이스가 개시된다. 탄소 흡착제가 흡착제의 저항성 및/또는 유도성 가열에 의해 잔류 유체로부터 탈착되는 배열이 개시된다. 탄소 흡착제를 팽윤제와 접촉시키고, 이어서 탄소 흡착제를 압축 가스 침투제와 접촉시키고, 이어서 팽윤제 및 침투제를 제거함으로써 다공성 탄소 흡착제의 로딩 용량을 증가시키는 방법이 또한 개시된다.

5. 发明公开

KR1020080100221A 유체 저장/분배, 탈황, 및 적외선 복사 방출에 유용한 탄소질 재료, 이를 이용하는 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于流体储存/分配，脱硫和红外辐射排放的碳质材料，以及使用其的装置和方法
公开(公告)号：KR1020080100221A
公开(公告)日：2008-11-14
申请号：KR1020087021277
申请日：2007-01-29
申请人： 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
发明人： 디메오프랭크 , 카루더스도날드제이 , 우드젠스키마이클제이 , 맥마누스제임스브이 , 마줄로조셉 , 루코트스티븐엠 , 스위니조셉디 , 킹맥켄지 , 보비타브라이언
IPC分类号： B01D53/02 , B82Y30/00
CPC分类号： B01D53/0415 , B01D53/0446 , B01D2253/102 , B01D2253/1122 , B01D2253/202 , B01D2253/308 , B01D2253/311 , B01D2253/342 , B01D2256/24 , B01D2257/30 , B01D2258/0216 , B01D2259/40096 , B01D2259/4146 , B01D2259/4525 , B01D2259/455 , B01J20/20 , B01J20/28011 , B01J20/28014 , B01J20/28023 , B01J20/28033 , B01J20/28042 , B01J20/28052 , B01J20/2808 , B01J20/28097 , B01J2220/66 , B82Y30/00 , C01B3/0021 , C01B13/0251 , C10G25/003 , C10G45/02 , C10G67/06 , C10G2300/1033 , C10G2300/1044 , C10G2300/1051 , C10G2300/1055 , C10G2300/202 , C10G2300/207 , F17C11/00 , F17C11/007 , Y02E60/321 , Y02E60/325 , Y10S95/903 , Y10T428/249956 , Y10T428/249957
摘要： Carbonaceous materials are described, having utility for fluid storage/dispensing and desulfurization applications. The carbonaceous material in one implementation is a nanoporous carbon composite having porosity that is at least partially filled with material imparting to the composite an enhanced character with respect to characteristics selected from the group consisting of hardness, wear-resistance and toughness, as compared with the nanoporous carbon alone. Another implementation utilizes porous carbon material as a storage medium for chlorine gas. A further implementation utilizes porous carbon material as a hydrogen storage medium, e.g., for hydrogen fuel cells. In another implementation, porous carbon material is employed as a sorbent medium in a fluid storage and dispensing system, in an arrangement of multiple porous carbon articles, and positional stabilization structure is employed to restrain the arrangement against movement. Infrared emitter devices are described, which utilize carbon adsorbent to store silane for reaction with oxygen in a controlled manner. An arrangement in which carbon adsorbent is desorbed of residual fluid by resistive and/or inductive heating of the adsorbent is described. Also described is a method of increasing the loading capacity of a porous carbon adsorbent, by contacting of the carbon adsorbent with a swelling agent, followed by contacting of the carbon adsorbent with a pressurized gaseous penetration agent, and by removal of the swelling agent and penetration agent.
摘要翻译：描述了碳质材料，其用于流体储存/分配和脱硫应用。一种实施方案中的碳质材料是具有孔隙率的纳米多孔碳复合材料，其至少部分地填充有赋予复合材料的材料，相对于选自硬度，耐磨性和韧性的特性，与单独纳米孔碳。另一个实施方案是利用多孔碳材料作为氯气的储存介质。另外的实施例使用多孔碳材料作为储氢介质，例如用于氢燃料电池。在另一实施方案中，多孔碳材料用作流体储存和分配系统中的吸附剂介质，在多个多孔碳制品的排列中，并且使用位置稳定结构来限制该装置的移动。描述了红外发射器件，其利用碳吸附剂以可控的方式存储用于与氧反应的硅烷。描述了通过吸附剂的电阻和/或感应加热使碳吸附剂解吸残余流体的布置。还描述了通过使碳吸附剂与溶胀剂接触，然后使碳吸附剂与加压的气体渗透剂接触，并且通过除去溶胀剂和渗透物来增加多孔碳吸附剂的负载能力的方法剂。

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