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1. 发明公开

KR1020100057530A 비접촉 방식으로 물체 또는 물질을 전달 및 유지하는 장치 有权
标题翻译：用于运输和保存物品或材料的设备在免费联系人中
公开(公告)号：KR1020100057530A
公开(公告)日：2010-05-31
申请号：KR1020097023366
申请日：2008-04-09
申请人： 침머만 & 쉴프 한트하붕스테히닉 게엠베하
发明人： 쉴프,미카엘 , 침머만,요세프 , 치쯔만,아돌프
IPC分类号： B65G54/00 , B06B1/18 , B65G51/03
CPC分类号： B65G54/00 , F16C32/0611
摘要： The invention relates to a device for transporting and holding contact-sensitive components or material. Said device comprises the following characteristics: at least one oscillatory plate-shaped receiving element (2) for receiving the object that is to be transported or held and that is secured to the at least one oscillation generator (3), and at least two support elements (4), said oscillation generator (3) being arranged on a predetermined point of the plate-shaped receiving element (2) in order to displace the plate-shaped receiving element (2) in a swinging manner and the support elements (4) are disposed on one point on which the amplitude of the swinging movements is at least 50 % less than the maximum amplitude and the oscillation generator (3) is operated at a frequency that offsets the plate-shaped receiving element (2) into said oscillations such that the components or the material levitate in a contact-free manner.
摘要翻译：本发明涉及一种用于输送和保持接触敏感组件或材料的装置。所述装置包括以下特征：至少一个振荡板状接收元件（2），用于接收要被运输或保持的物体并被固定到至少一个振荡发生器（3），以及至少两个支撑元件（4），所述振荡发生器（3）布置在所述板状接收元件（2）的预定点上，以使所述板状接收元件（2）以摆动方式移动，并且所述支撑元件（4））设置在其中摆动运动的幅度比最大振幅小至少50％的一个点上，并且振荡发生器（3）以使板形接收元件（2）偏移成所述振荡的频率操作使得部件或材料以无接触的方式悬浮。

2. 发明授权

KR101759357B1 비접촉 진공 그리퍼 有权
公开(公告)号：KR101759357B1
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：KR1020127004511
申请日：2010-07-22
申请人： 침머만 & 쉴프 한트하붕스테히닉 게엠베하
发明人： 쉴프,미카엘 , 침머만,조세프 , 지쯔만,아돌프
IPC分类号： B65G47/91 , B65G49/06 , B25J15/06 , H01L21/683
CPC分类号： B65G47/91 , B25J15/0616 , B65G47/911 , B65G49/061 , H01L21/6838
摘要： 본발명은비접촉진공그리퍼, 특히태양전지, 웨이퍼, 평면화면용 패널과같이표면이예민한공작물의섬세한그립그리고서로중첩되게쌓아놓았다가위에있는것부터들어올려야하는무거운유리플레이트또는표면이매우매끄러운기타소재의플레이트의그립을위한비첩촉진공그리퍼에관한것이다. 이때비접촉진공그리퍼는다음과같은특징을갖는다. 비접촉진공그리퍼는하나의평면형또는곡선형그리퍼플레이트(2)를구비하며, 그리퍼플레이트(2)가구비된최소하나의흡입용개방구(3; 3a)를갖되, 흡입용개방구(3) 주위를빙 둘러공작물-스로틀-면(6)이형성되어있고, 그리퍼플레이트(2)의공작물을향하는쪽 면에위치하며흡입용개방구(3)를중심으로했을때 공작물-스로틀-면(6) 바깥쪽에구비된최소하나의홈(4)을가지며, 각홈(4) 내에구비된최소하나의환풍구멍(5)을갖는다.

3. 发明授权

KR101227926B1 평면요소의 무접촉 운송장치 有权
标题翻译：用于连续运输平板元件的设备
公开(公告)号：KR101227926B1
公开(公告)日：2013-01-31
申请号：KR1020067011488
申请日：2004-11-11
申请人： 침머만 & 쉴프 한트하붕스테히닉 게엠베하
发明人： 짐머만,요세프 , 지쯔만,아돌프 , 쉴프,마이클 , 볼리그,토비아스
IPC分类号： B65G54/02 , B65G54/00
CPC分类号： B65G54/02 , B65G54/00
摘要： 본 발명은 콘베이어의 경로를 따라 구성 요소(1) 또는 기구들이 접촉이 없이 또는 최소한의 접촉으로 운반되는 운송 장치에 관련된 것이다. 본 발명은 역시 접촉이 없거나 또는 최소한의 접촉으로 구성 요소(1)나 기구들을 취급하고 보관하는 장치에 관련된다. 본 발명은 음파 공중 부양에 의하여 부양 상태를 창조한 장치를 제공하며 다음과 같은 특색 즉, 평면(3)이 있는 견고한 지지 구조물(2)이 중력 또는 부양된 대상 물체(1)의 가속으로 인한 수직으로 작용된 힘을 흡수하고, 진동할 수 있는 얇은 표면요소(4)는 지지 구조물의 평면과 평행으로 설치되어 있고, 진동 발생은 발진할 수 있는 얇은 표면요소(4)가 발진 상태로 설치되어 있고, 표면요소(4)는 무접촉으로 지주 구조 평면(3) 윗 쪽에서 공중 부양하며, 대상 목적물(1)은 표면요소(4) 윗 쪽에서 공중 부양하도록 되어 있다.
공중부양, 평면요소

4. 发明授权

KR100830358B1 비접촉 방식으로 물체를 그립핑 및 홀딩하기 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于以非接触方式夹持和保持物体的装置
公开(公告)号：KR100830358B1
公开(公告)日：2008-05-20
申请号：KR1020027017978
申请日：2002-04-05
申请人： 침머만 & 쉴프 한트하붕스테히닉 게엠베하
发明人： 횐,미하엘 , 회프너,위르겐
IPC分类号： B65G49/06
CPC分类号： B65G54/00 , B65G47/90 , G10K15/00
摘要： 중력(F)의 방향(z)에 대항해 적어도 부분적으로 물체(1)의 상부에 그리고 여기로부터 이격되어 배치된 홀딩 엘리먼트(3)를 사용하여, 적어도 부분적으로 중력(F)의 방향(z)으로 향한 방향(z)으로부터 비접촉 방식으로 물체(1)를 그립핑 및 홀딩하기 위한 장치가 제공되고, 상기 장치는 경우에 따라 존재하는 입자의 동반 흐름 또는 이동이 광범위하게 방지된다. 이로 인해 본 발명에 따라, 홀딩 엘리먼트(3)가 레비테이션 웨이브의 발생을 위한 진동 홀딩 엘리먼트(3)로서 형성된다.
물체, 홀딩 엘리먼트, 홀딩면, 개구, 홈

5. 发明授权

KR101545761B1 검사 장치 有权
标题翻译：检查设备
公开(公告)号：KR101545761B1
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：KR1020107012115
申请日：2008-10-31
申请人： 침머만 & 쉴프 한트하붕스테히닉 게엠베하
发明人： 쉴프,미카엘 , 침머만,요세프 , 치츠만,아돌프
IPC分类号： G01N21/95 , H01L21/66 , H01L21/683 , G01N21/01
CPC分类号： G01N21/88 , G01N21/01 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N2021/0339
摘要： 본발명은접촉민감성만곡표면들을갖는재료들뿐아니라, 접촉민감성판형재료들또는가공물,예컨대반도체산업용웨이퍼들, 태양전지들, FPD 기판들또는바이오센서들용생물학적활성기판들을검사하기위한검사장치에관한것이다. 상기검사장치는그 상부상에재료(3)를지지하기위한지지요소(1), 상기지지요소(1)에연결되고, 그발진주파수및 진폭이지지요소(1) 상에재료(3)가부상하여유지되도록하는방식으로선택되는적어도하나의발진기및 적어도하나의광학센서(4)를구비한다. 지지요소는광투과성재료로만들어지고, 광학센서(4)는지지요소(1) 아래에배치된다.
摘要翻译：本发明涉及具有接触敏感弯曲表面的材料以及用于检查接触敏感板材或工件（诸如用于半导体工业的晶片，太阳能电池，FPD基板或用于生物传感器的生物活性基板）的检查设备它涉及。其特征在于，检测装置连接到用于在其上表面上支撑材料（3）的支撑元件（1），其振动频率和振幅连接到支撑元件（1）至少一个光学传感器（4）和至少一个振荡器被选择为保持光学传感器（4）。支撑元件由透光材料制成，并且光学传感器4布置在支撑元件1下方。

6. 发明公开

KR1020070011245A 평면요소의 무접촉 운송장치 有权
标题翻译：用于连续运输平板元件的设备
公开(公告)号：KR1020070011245A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：KR1020067011488
申请日：2004-11-11
申请人： 침머만 & 쉴프 한트하붕스테히닉 게엠베하
发明人： 짐머만,요세프 , 지쯔만,아돌프 , 쉴프,마이클 , 볼리그,토비아스
IPC分类号： B65G54/02 , B65G54/00
CPC分类号： B65G54/02 , B65G54/00
摘要： The invention relates to a device for the contactless or minimal contact transporting of components (1) or materials along a path of conveyance. The invention also relates to a device for the contactless or minimal contact handling and storage of components (1) or materials. The invention provides a device for creating a state of suspense by acoustic levitation having the following features: a rigid supporting structure (2) with a supporting structure surface (3) for absorbing forces acting by gravitation or acceleration of the suspended object (1) perpendicular to the supporting structure surface (3) ; a thin oscillatory surface element (4) placed parallel to the supporting structure surface (3); oscillation generating means (5) for setting the thin oscillatory surface element (4) in oscillatory motions so that the surface element (4) contactlessly floats above the supporting structure surface (3), and the object (1) floats above the surface element (4). ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：本发明涉及一种用于沿着传送路径的部件（1）或材料的非接触或最小接触传送的装置。本发明还涉及用于非接触或最小接触处理和储存部件（1）或材料的装置。本发明提供了一种用于通过具有以下特征的声音悬浮来产生悬浮状态的装置：具有支撑结构表面（3）的刚性支撑结构（2），用于吸收由悬挂物体（1）的重力或加速度作用的力垂直到支撑结构表面（3）; 平行于支撑结构表面（3）放置的薄振荡表面元件（4）; 用于将薄振荡表面元件（4）设置在振荡运动中的振荡产生装置（5），使得表面元件（4）非接触地浮在支撑结构表面（3）上方，并且物体（1）浮在表面元件 4）。 ®KIPO＆WIPO 2007

7. 发明授权

KR101507185B1 비접촉 방식으로 물체 또는 물질을 전달 및 유지하는 장치 有权
标题翻译：用于运输和保存物品或材料的设备在免费联系人中
公开(公告)号：KR101507185B1
公开(公告)日：2015-04-06
申请号：KR1020097023366
申请日：2008-04-09
申请人： 침머만 & 쉴프 한트하붕스테히닉 게엠베하
发明人： 쉴프,미카엘 , 침머만,요세프 , 치쯔만,아돌프
IPC分类号： B65G54/00 , B06B1/18 , B65G51/03
CPC分类号： B65G54/00 , F16C32/0611
摘要： 본발명은접촉감응형구성요소들또는물질들을전달및 유지하는장치에관한것으로, 상기장치는, 적어도하나의오실레이션(oscillation) 발생기(3)가고정되는, 전달되거나유지될상기물체를수용하는적어도하나의진동하는판 형상테이크-업(2), 및적어도 2개의지지부재(4)를포함하며, 상기오실레이션발생기(3)는상기판 형상테이크-업(2)을휨 진동으로설정하기위해상기판 형상테이크-업(2)의미리정해진위치에배치되고, 상기지지부재(4)는상기휨 진동의진폭이최대진폭보다적어도 50%만큼낮은위치에배치되며, 상기오실레이션발생기(3)는상기판 형상테이크-업(2)을진동으로설정하는주파수에서동작되어, 전달되어온 물체또는물질(1)이기체나공기의막 상에서떠돌게한다.

8. 发明公开

KR1020130117809A 카세트 로딩 및 언로딩 방법 无效
标题翻译：加载和卸载CASSETTE的方法
公开(公告)号：KR1020130117809A
公开(公告)日：2013-10-28
申请号：KR1020137014861
申请日：2011-11-11
申请人： 침머만 & 쉴프 한트하붕스테히닉 게엠베하
发明人： 쉴프,미카엘 , 지쯔만,아돌프 , 침머만,요세프
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07
CPC分类号： C23C16/458 , B05B5/082 , H01L21/67772 , Y10T29/49815 , H01L21/6773 , H01L21/6723
摘要： 본 발명은 카세트에 대한 로딩 및 언로딩 방법에 관한 것으로, 예를 들어 플라즈마 코팅 프로세스에 적용되며 다음과 같은 단계로 구성된다. a. 분해 및 조립 로보트를 이용하여 분해 및 조립 가능한 카세트(1)를 준비한다. b. 카세트를 자동 분해하되, 카세트의 바닥(2)이 분리되게 한다. c. 바닥(2)과 처리될 워크피스(workpiece)와 결합시켜주는 최소 하나의 조립기기로 바닥(2)을 공급 및 배치한다. d. 워크피스와 결합된 바닥(2)을 카세트(1)에 조립한다. e. 카세트(1)를 프로세스가 실시되는 프로세스시행장소로 이동시킨다. f. 프로세스를 실시한다. g. 카세트(1)를 분해 및 조립 로보트 또는 또 다른 분해 및 조립 로보트로 공급해준다. h. 카세트(1)를 분해하는데, 카세트의 바닥(2)이 분리되게 한다. i. 처리된 워크피스를 자동으로 제거한다.

9. 发明公开

KR1020120051025A 비접촉 진공 그리퍼 有权
标题翻译：无缝真空刮板
公开(公告)号：KR1020120051025A
公开(公告)日：2012-05-21
申请号：KR1020127004511
申请日：2010-07-22
申请人： 침머만 & 쉴프 한트하붕스테히닉 게엠베하
发明人： 쉴프,미카엘 , 침머만,조세프 , 지쯔만,아돌프
IPC分类号： B65G47/91 , B65G49/06 , B25J15/06 , H01L21/683
CPC分类号： B65G47/91 , B25J15/0616 , B65G47/911 , B65G49/061 , H01L21/6838 , B65G2249/04
摘要： 본 발명은 비접촉 진공 그리퍼, 특히 태양전지, 웨이퍼, 평면화면 용 패널과 같이 표면이 예민한 공작물의 섬세한 그립 그리고 서로 중첩되게 쌓아 놓았다가 위에 있는 것부터 들어올려야 하는 무거운 유리플레이트 또는 표면이 매우 매끄러운 기타 소재의 플레이트의 그립을 위한 비첩촉 진공 그리퍼에 관한 것이다. 이때 비접촉 진공 그리퍼는 다음과 같은 특징을 갖는다. 비접촉 진공 그리퍼는 하나의 평면형 또는 곡선형 그리퍼플레이트(2)를 구비하며, 그리퍼플레이트(2)가 구비된 최소 하나의 흡입용개방구(3; 3a)를 갖되, 흡입용개방구(3) 주위를 빙 둘러 공작물-스로틀-면(6)이 형성되어 있고, 그리퍼플레이트(2)의 공작물을 향하는 쪽 면에 위치하며 흡입용개방구(3)를 중심으로 했을 때 공작물-스로틀-면(6) 바깥 쪽에 구비된 최소 하나의 홈(4)을 가지며, 각 홈(4) 내에 구비된 최소 하나의 환풍구멍(5)을 갖는다.

10. 发明公开

KR1020100105566A 검사 장치 有权
标题翻译：检查装置
公开(公告)号：KR1020100105566A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：KR1020107012115
申请日：2008-10-31
申请人： 침머만 & 쉴프 한트하붕스테히닉 게엠베하
发明人： 쉴프,미카엘 , 침머만,요세프 , 치츠만,아돌프
IPC分类号： G01N21/95 , H01L21/66 , H01L21/683 , G01N21/01
CPC分类号： G01N21/88 , G01N21/01 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N2021/0339
摘要： The invention relates to a device for inspecting contact-sensitive planar materials or workpieces, e.g. wafers for the semiconductor industry, solar cells, glasses, FPD substrates, or biologically active substrates for biosensors, as well as materials having contact-sensitive curved surfaces. Said inspection device comprises a support element (1) for supporting a material (3) on the top face of the support element (1), at least one oscillator which is connected to the support element (1) and the oscillation frequency and amplitude of which are selected in such a way as to keep the material (3) hovering on the support element (1), and at least one optical sensor (4). The support element is made of a light-permeable material, and the optical sensor (4) is arranged below the support element (1).

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