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1. 发明授权

KR101738024B1 박막 디바이스를 별개의 셀들로 나누기 위한 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101738024B1
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020127013206
申请日：2010-04-15
申请人： 엠-솔브 리미티드
发明人： 브런턴애덤노쓰
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042 , B23K26/06
CPC分类号： H01L31/18 , B23K26/0676 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2203/172 , H01L31/046 , H01L31/0463 , Y02E10/50
摘要： 박막디바이스 - 하위전극층인제1 층, 활성층인제2 층및 상위전극층인제3층을포함하고, 상기층들은각각상기박막디바이스위로연속됨 - 를전기적으로직렬로상호연결된별개의셀들로분할하는장치및 방법. 상기셀들의상기분할및 인접셀들사이의상기전기적연결은상기박막디바이스를가로지르는프로세스헤드의단일패스(pass)에서수행되고, 상기프로세스헤드는상기단일패스에서다음단계들: (a) 상기제1, 2 및 3 층들을관통하는제1 커트를형성하는단계; (b) 상기제2 및 3 층들을관통하고, 상기제1 커트에인접하는제2 커트를형성하는단계; (c) 상기제3 층을관통하는제3 커트를형성하는단계 - 상기제3 커트는상기제2 커트에인접하고, 상기제1 커트에대해상기제2 커트의반대사이드(opposite side) 상에있음 -; (d) 비전도성물질을상기제1 커트안으로증착하기위해제1 잉크젯프린트헤드를사용하는단계; 및 (e) 전도성물질을도포하여, 상기제1 커트안에상기비전도성물질을브리징(bridging)하고, 상기제2 커트를완전히또는부분적으로메워서, 상기제1 층및 상기제3층사이에전기적연결이형성되게하기위해제2 잉크젯프린트헤드를사용하는단계를수행하고, 단계(a)는단계(d)에선행하고, 단계(d)는단계(e)에선행하고, 단계(b)는단계(e)에선행하고, 그렇지않으면, 상기단계들은상기박막디바이스를가로지르는상기프로세스헤드의상기단일패스에서임의의순서로수행될수 있다. 상기박막디바이스는솔라패널, 조명패널또는배터리일수 있다.

2. 发明公开

KR1020170045151A 기판 상에 레이저 어블레이션을 수행하기 위한 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于在衬底上执行激光烧蚀的设备和方法
公开(公告)号：KR1020170045151A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：KR1020167036080
申请日：2015-08-19
申请人： 엠-솔브 리미티드
发明人： 밀른데이비드찰스 , 럼스비필립토마스 , 밀레스데이비드토마스에드먼드
IPC分类号： B23K26/386 , B23K26/06 , B23K26/08 , H05K3/00 , H05K3/46 , B23K101/42
CPC分类号： B23K26/386 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/082 , B23K26/389 , B23K2201/42 , H05K3/0032 , H05K3/0035 , H05K3/0038 , H05K3/465 , H05K2203/107 , H05K2203/163
摘要： 레이저어블레이션을수행하기위한장치및 방법이개시된다. 예시적인배치에서, 공간광 변조기가고체레이저로부터펄스레이저빔을변조하는데 사용된다. 2단계축소(de-magnification) 공정은공간광 변조기에서광선세기를상대적으로낮게유지하면서중간결상면에서피드백센서에접근할수 있도록하는데 사용된다.
摘要翻译：公开了一种用于执行激光消融的装置和方法。在示例性布置中，使用空间光调制器来调制来自固态激光器的脉冲激光束。使用放大过程来允许从中间顶面访问反馈传感器，同时保持空间光调制器中的光强度相对较低。

3. 发明公开

KR1020150109372A 투명 기판의 양면 상의 피막들 내에 패턴들을 형성하는 방법 및 장치 审中-实审
标题翻译：在透明基板的相对面上形成涂层的方法和装置
公开(公告)号：KR1020150109372A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：KR1020157020007
申请日：2014-01-09
申请人： 엠-솔브 리미티드
发明人： 찬육콴
IPC分类号： B23K26/36 , B23K26/00 , B23K26/18 , B23K26/40 , B23K26/60
CPC分类号： G06F3/044 , B23K26/0063 , B23K26/0619 , B23K26/18 , B23K26/36 , B23K26/361 , B23K26/362 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K26/702 , B23K2201/35 , B41M5/24 , B41M5/26 , H05K1/0274 , H05K1/0296 , H05K3/027 , H05K2201/0108
摘要： 직접기록레이저패터닝에의해투명기판의양면상의피막들내에패턴들을형성하는방법이제공되며, 상기방법은, a) 상기기판의제1 측면상에제1 투명피막을제공하는단계로서, 상기제1 피막은비교적높은레이저어블레이션(laser ablation) 문턱에너지밀도를지니는재료로형성되는, 단계; b) 스테이지상에상기기판을탑재하거나척(chuck) 상에상기기판을위치되게하는단계; c) 제1 레이저비임을사용하여레이저어블레이션에의해상기제1 투명피막내에제1 패턴을형성하는단계; d) 상기제1 패턴의형성후에상기기판의제2 측면상에제2 투명피막을제공하는단계로서, 상기제2 피막은비교적낮은레이저어블레이션또는개질문턱에너지밀도를지니는재료로형성되는, 단계; 제2 레이저비임을사용하여레이저어블레이션또는개질에의해상기제2 투명피막내에제2 패턴을형성하는단계로서, 상기제2 레이저비임의에너지밀도는상기제2 투명피막의어블레이션이상기제1 투명피막에그다지손상을주지않고수행되도록상기제1 레이저비임의에너지밀도보다낮은, 단계;를포함한다. 이러한방법을수행하도록구성된장치및 상기방법에의해형성된제품이또한기재되어있다.

4. 发明授权

KR101877370B1 2-레이어 용량성 터치 센서 패널을 만드는 방법 有权
公开(公告)号：KR101877370B1
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：KR1020137023042
申请日：2012-02-10
申请人： 엠-솔브 리미티드
发明人： 페더제임스
IPC分类号： G06F3/044
CPC分类号： H05K3/4644 , G06F3/044 , G06F2203/04103 , H05K1/0298
摘要： 2-레이어용량성터치센서패널을제작하는방법은: a) 투명커버시트상에제1의투명한전기적전도성레이어를증착하는단계; b) 분리전극구조들의제1 세트를생성하기위해서상기제1의투명한전기적전도성레이어내에제1 패턴을형성하는단계; c) 분리전극구조위로투명한유전체레이어를증착하는단계; d) 제2의투명한전기적전도성레이어를상기투명한유전체레이어상으로증착하는단계; e) 레이저절제에의해서분리전극구조들의제2 세트를생성하기위해서상기투명한전기적전도성레이어에패턴을형성하는단계로, 이패턴은상기분리전극구조들의제1 세트를손상하는것을피하기위해서상기유전체레이어를통과하지않거나또는일부만을통과하는, 형성단계; f) 상기유전체레이어를통해서상기두 투명전기적전도성레이어들사이에전기적인연결들또는비아들을형성하는단계; 및 g) 상기투명전기적전도성레이어(들) 그리고상기패널의외주에또는외주에인접하여형성된전기적인트랙이나버스바사이에전기적인연결들을형성하는단계를포함한다. 상기방법은 2-레이어 "커버통합된" 센서를제조하기위한마스크없는, 화학약품이없는방식을제공한다. 이방법에의해서제조된 2-레이어용량성터치센서패널이또한설명된다.

5. 发明公开

KR1020130108593A 개별 셀들로 박막 기기를 분할하는 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于将薄膜装置分离成分离细胞的方法和装置
公开(公告)号：KR1020130108593A
公开(公告)日：2013-10-04
申请号：KR1020137010504
申请日：2011-09-16
申请人： 엠-솔브 리미티드
发明人： 브런톤아담노쓰
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/05 , B23K26/40
CPC分类号： H01L21/76879 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2203/172 , H01L21/6715 , H01L31/0463 , Y02E10/50
摘要： 하부 전극 층인 제1 층, 활성층인 제2 층 및 상부 전극 층인 제3 층을 지니는 박막 기기를 상호연결 구조들에 의해 전기적으로 상호 직렬 연결되는 개별 셀들로 분할하는 방법 및 장치가 제공되고, 상기 층들 각각은 상기 박막 기기상에 연속되며, 각각의 셀이 폭(W)을 지닌다. 상기 셀들의 분할 및 인접 셀들 간의 상호연결 구조들의 형성은 상기 박막 기기상에서의 전후의 통과 시퀀스로 한번에 2개 이상의 상호연결 구조를 작동시키도록 이루어진 프로세스 헤드에 의해 수행되며, 상기 프로세스 헤드는, a) 상기 제1, 제2 및 제3 층들을 통해 제1 절단 부분을 만드는 단계; b) 상기 제2 및 제3 층들을 통해 상기 제1 절단 부분에 인접한 제2 절단 부분을 만드는 단계; c) 상기 제3 층을 통해 상기 제2 절단 부분에 인접하고 상기 제2 절단 부분의 반대 측면 상에서 상기 제1 절단 부분에 인접한 제3 절단 부분을 만드는 단계; d) 제1 잉크 젯 인쇄 헤드를 사용하여 상기 제1 절단 부분 내에 비-도전 재료를 적층하는 단계; 및 e) 제2 잉크 젯 인쇄 헤드를 사용하여 도전 재료를 가하여 상기 제1 절단 부분에 비-도전 재료를 메우고 상기 제2 절단 부분을 완전하거나 부분적으로 충전함으로써 상기 제1 층 및 상기 제3 층 사이의 전기적 접속을 형성하는 단계;를 수행하고, 상기 단계 a)는 단계 d)보다 먼저 수행되고, 단계 d)는 단계 e)보다 먼저 수행되며 단계 b)는 단계 e)보다 먼저 수행되고(이와는 달리 상기 박막 기기를 가로지르는 프로세스 헤드의 단일 통과시 임의의 순서로 수행될 수 있음). 상기 박막 기기는 태양 전지 패널, 조명 패널 또는 배터리일 수 있다.
摘要翻译：一种用于分割具有作为下电极层的第一层，作为有源层的第二层和作为上电极层的第三层的薄膜器件的方法和装置，每个层在器件上连续，分成每个单元具有宽度W，它们通过互连结构串联电互连。单元的划分和相邻单元之间的互连结构的形成由一个过程头执行，该过程头被安排成在一个通过该设备的过程中一次的一个时间上在多个互连结构上操作，该过程头部执行以下步骤：a）通过第一层，第二层和第三层进行第一切割; b）通过所述第二和第三层进行第二切割，所述第二切口与所述第一切口相邻; c）通过所述第三层进行第三切割，所述第三切口与所述第二切口相邻，并且在所述第二切口的与所述第一切口相对的一侧上; d）使用第一喷墨打印头将非导电材料沉积到第一切割中; 以及e）使用第二喷墨打印头来施加导电材料以桥接所述第一切割中的非导电材料并且完全或部分地填充所述第二切口以在所述第一层和所述第三层之间形成电连接，其中步骤（a）在步骤（d）之前，步骤（d）在步骤（e）之前和步骤（b））在步骤（e）之前，否则步骤可以按照过程头单次通过的任何顺序进行装置）。薄膜器件可以是太阳能电池板，照明面板或电池。

6. 发明授权

KR101880699B1 박막 기기를 개별 셀들로 분할하는 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101880699B1
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：KR1020147003890
申请日：2012-07-13
申请人： 엠-솔브 리미티드
发明人： 브룬턴아담노스
IPC分类号： H01L31/04 , H01L31/18 , B23K26/36 , H01L21/301
CPC分类号： H01L21/78 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K2103/50 , H01L27/3204 , H01L31/0463 , Y02E10/50
摘要： 제1 하부전극층, 제2 활성층, 및제3 상부전극층을지니는박막기기로서상부에상기제1 하부전극층, 상기제2 활성층, 및상기제3 상부전극층 모두가연속으로적층된박막기기를전기적으로상호간에직렬로접속되는개별셀들로분할하는방법이제공되며, 적어도상기셀들을분할하는것은상기박막기기를가로지른프로세스헤드의단일통과로수행되며상기프로세스헤드는상기단일통과로적어도, a) 상기제1 하부전극층, 상기제2 활성층, 및상기제3 상부전극층을통해제1 절단부분을만드는단계; b) 상기제2 층및 상기제3 층을통해, 상기제1 절단부분에인접한제2 절단부분을만드는단계; c) 상기제3 층을통해, 상기제2 절단부분에인접하며상기제1 절단부분에대한상기제2 절단부분의반대측 상에있는제3 절단부분을만드는단계;를수행하고, 상기제1 절단부분및 상기제2 절단부분중 적어도하나는상기박막기기를가로지른프로세스헤드의단일통과동안순차적으로 2개의레이저비임을사용하여형성되며, 상기제1 레이저비임은상기층들중 적어도하나의층을통해절단부분을형성하고상기제2 레이저비임은상기층들중 적어도다른하나의층을통해절단부분을형성한다.

7. 发明公开

KR1020170039296A 투명한 기판의 대향하는 제 1 표면 및 제 2 표면 각각에 데포지션된 투명한 제 1 도전 레이어 및 제 2 도전 레이어를 레이저 스크라이빙하는 방법 审中-实审
标题翻译：相对的第一和第二表面的透明的第一导电层和第二导电层，激光划线，以在制冰位置到每个所述透明基板的是如何
公开(公告)号：KR1020170039296A
公开(公告)日：2017-04-10
申请号：KR1020177006291
申请日：2015-07-21
申请人： 엠-솔브 리미티드
发明人： 밀른데이비드찰스
IPC分类号： B23K26/57 , B23K26/06 , B23K103/16 , B23K103/00
CPC分类号： B23K26/57 , B23K26/0619 , B23K2203/172 , B23K2203/50 , B23K2203/54
摘要： 투명기판(11)의대향하는각 제 1 및제 2 표면(12, 13) 상에각각데포지션된투명한제 1 도전레이어(14) 및제 2 도전레이어(14')을레이저스크라이브하는방법이설명된다. 상기방법은, 집속레이저빔이하나이상의렌즈(22)를통해제 1 레이저빔(21)을상기기판(11)의제 1 표면(12)로지향시켜서, 집속레이저빔(21)은기판(11)의제 2 도전레이어(14') 및제 2 표면(13)을통과하게되는지향시키는단계; 상기제 1 도전레이어(14)에제 1 패턴을스크라이브하기위하여제 1 레이저빔(21)의축에수직인평면에서두개의축방향으로상기제 1 레이저빔(21)가상기기판(11)을사이에서의상대적인운동을개시하는단계; 집속레이저빔(21)이기판(11)의제 1 표면(12) 및제 1 도전레이어(14)을통과하도록상기기판(11)의제 2 표면(13) 상에위치하거나인접하게위치하는초점스팟에하나이상이렌즈(22')를통하여제 2 레이저빔(21')을지향시키는단계; 제 2 도전레이어(14')에제 2 패턴을스크라이브하기위하여제 2 레이저빔(21')의축에수직인평면에서두개의축방향으로제 2 레이저빔(21') 및기판(11) 사이에서상대적인운동을개시하는단계를포함한다.
摘要翻译：每个所述第一医疗mitje第二表面（12，13）的面向所述的透明基板（11），用于在描述了用于激光划线的方法在透明的第一导电层14 mitje第二导电层14”各自具有的位置。该方法中，通过至少一个透镜22的激光束（21）议程第一表面12洛奇方向聚焦到第一基板11用激光束，聚焦的激光束（21）具有基板（11）议程第二导电层（14“）引导穿过mitje第二表面（13）; 第一激光束21的第一激光束21，在一个平面中的轴的两个方向上的虚拟设备板11之间垂直于uichuk刻划EJE第一图案的第一导电层14 发起所述相对运动; 聚焦的激光束（21）的板（11）议程第一表面12 mitje一个在聚焦到衬底上的位置或相邻位置（11）议程第二表面13是光点穿过第一导电层14 异常透镜22“（第二激光束21）通过，选择加入方向的步骤; 14第二导电层之间的相对“EJE第二激光束来刻划所述第二图案（21”在所述轴的两个方向）的平面内垂直于所述uichuk第二激光束21“和基板11，和开始运动的步骤。

8. 发明公开

KR1020160095068A 그래핀 및 금속 나노와이어를 포함하는 전도성 박막의 제조 审中-实审
标题翻译：包含石墨和金属纳米线的制造导电薄膜
公开(公告)号：KR1020160095068A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：KR1020167017944
申请日：2014-12-01
申请人： 엠-솔브 리미티드
发明人： 달톤알란브라이언 , 유레비치이자벨라 , 사토레스터타쿠
IPC分类号： H01B1/22 , H01B1/04 , H01B1/02 , G06F3/041 , H01L31/04
CPC分类号： H01B1/22 , H01B1/04 , B82B3/00 , G06F3/041 , H01B1/023 , H01B1/026 , H01L31/04 , Y02E60/12
摘要： 기판상에복합재층을포함하는전도성박막을제조하는방법및 장치로서, 상기복합재층이금속나노와이어층에직접적으로인접한용액공정기반그래핀층을포함한다.

9. 发明公开

KR1020150131389A 두 개의 회전하는 회절 광학 요소들을 사용하여 레이저 빔들의 복수의 그룹들을 형성하는 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：使用两个旋转衍射光学元件形成激光束的平面组的装置和方法
公开(公告)号：KR1020150131389A
公开(公告)日：2015-11-24
申请号：KR1020157030211
申请日：2014-03-13
申请人： 엠-솔브 리미티드
发明人： 브런턴아담노쓰 , 헨리시몬존
IPC分类号： B23K26/067 , B23K26/06 , B23K26/364 , G02B5/18 , G03F7/20 , B23K101/40
CPC分类号： H01L31/0463 , B23K26/0652 , B23K26/067 , B23K26/364 , B23K26/402 , B23K2201/40 , B23K2203/50 , G02B13/22 , G02B26/0808 , G02B26/0816 , G02B27/1093 , G02B27/283 , G03F7/70383 , H01L31/1876
摘要： 레이저빔들의다수의그룹들(2, 2', 2'')을형성하는장치및 방법이정의된다. 각각의그룹(2, 2', 2'')은두 개이상의레이저빔들을포함할수 있다. 상기장치는제1 회절광학요소(3)(diffractive optical element; DOE) 및제2 회절광학요소(8)(DOE)를포함하며, 상기제1 DOE(3)는제1 레이저빔(1)을수신하여상기제1 레이저빔(1)을다수의제2 레이저서브-빔들로분할하도록조정되고, 상기제2 DOE(8)는상기다수의제2 레이저서브-빔들을수신하여이들각각을제3 레이저서브-빔들의두 개이상의그룹들(2, 2', 2'')로분할하도록조정되며, 제1 축에수직한방향으로의상기그룹들간의간격은상기제1 DOE(3)의광축주위의상기제1 DOE(3)의회전에의해조정가능하며, 상기제1 축에수직한방향으로의각 그룹(2, 2', 2'') 내상기제3 레이저서브-빔들의간격은상기제2 DOE(8)의광축주위의상기제2 DOE(8)의회전에의해조정가능하다.
摘要翻译：定义了形成多组激光束（2,2'，2“）的装置和方法。每组（2,2'，2“）可以包括两个或更多个激光束。该装置包括第一衍射光学元件（3，称为DOE）和第二衍射光学元件（8），所述第一DOE（3）被布置成接收第一激光束（1）并将其分成多个第二激光子束和第二DOE（8）被布置成接收所述多个第二激光子束，并将它们分成两组或更多组第三激光子束（2,2'，2“）在与第一轴垂直的方向上的组的分离可通过第一DOE（3）围绕其光轴的旋转和第三激光子束（2,2'，2“）在每个在垂直于第一轴线的方向上的组可以通过第二DOE（8）围绕其光轴的旋转而被调节。

10. 发明公开

KR1020150122179A 용량성 터치 센서용 전극 구조를 형성하는 방법 审中-实审
标题翻译：形成电容式触摸传感器的电极结构的方法
公开(公告)号：KR1020150122179A
公开(公告)日：2015-10-30
申请号：KR1020157025579
申请日：2014-02-14
申请人： 엠-솔브 리미티드
发明人： 찬윅관 , 프리에토리오카밀로
IPC分类号： G06F3/044 , G06F3/041
CPC分类号： B23K26/362 , B23K26/361 , B23K26/402 , B23K2203/50 , G06F3/0412 , G06F3/044 , G06F2203/04103
摘要： 유리기판의제1 측면상에위치한제1 투명전도성레이어내에용량성터치센서용의전극구조를형성하는방법이제공되며, 상기유리기판의제2 측면상에는투명한비-전도성레이어로오버-코팅된컬러필터레이어그리고펄스고체레이저 (pulsed solid state laser)를이용한직접쓰기레이저스크라이빙프로세스에의한제2 투명전도성레이어가존재하며, 레이저파장은 257nm 내지 266nm 범위내 그리고펄스길이는 50fs 내지 50ns 범위내이며, 그래서상기제1 투명전도성레이어에그루브들이형성되어, 각그루브의서로반대쪽의측면들상의상기제1 투명전도성레이어의영역들을전기적으로절연시킨다. 파장및 펄스길이의이 선택은상기유리기판의상기제2 측면상의밑에있는컬러필터레이어, 상기투명한비-전도성레이어또는상기제2 투명전도성레이어에대해실질적으로어떤손상도없으면서상기그루브들이형성되는것을가능하게한다.
摘要翻译：以及用于在位于玻璃基片，的第一侧上的第一透明导电层提供了一种电容式触摸传感器形成电极结构的方法的透明的非形成在玻璃基板的在导电层涂布颜色的第二侧滤光层和，以及脉冲固态激光器通过使用（脉冲固态激光器）直接写入激光划片工艺的第二透明导电层时，激光波长为257nm至266nm的范围和脉冲长度是50fs至50ns的范围和从而在第一透明导电层中形成凹槽以电隔离每个凹槽的相对侧上的第一透明导电层的区域。波长，并且该选择脉冲长度的具有在形成所述凹槽的滤色器层，在该玻璃基板的所述第二侧下方的透明非，eopeumyeonseo也基本上用于导电层或所述第二透明导电层的任何损坏是可能它使。

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