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1. 发明授权

KR100748997B1 시트 재료의 매핑과 비파괴 측정 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于非结构测量和片材材料的测绘的方法和装置
公开(公告)号：KR100748997B1
公开(公告)日：2007-08-13
申请号：KR1020037014334
申请日：2002-04-30
申请人： 리하이톤 일렉트로닉스, 인크.
发明人： 리시니,제롬씨. , 에벨하트니콜라이
IPC分类号： G01N22/00
CPC分类号： G01N22/00 , G01R31/2648 , H01L22/14 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 개시된 이동도 및 캐리어 농도의 비접촉 측정 장치는 마이크로웨이브 소스(16)와, 측정 위치에서 마이크로웨이브 방사선을 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이용 패널과 같은 샘플(59)로 전달하는 원형 도파관(50)과, 순방향 마이크로웨이브 파워를 검출하기 위한 제 1 검출기(18)와, 샘플로부터 반사된 마이크로웨이브 파워를 검출하기 위한 제 2 검출기(23)와, 홀효과 파워를 검출하기 위한 제 3 검출기(95)를 포함한다. 단지 TE11 모드만 전달하는 원형 도파관(50)의 종단에는 샘플(59)이 위치하고, 상기 샘플(59)의 후방에는 쇼트(58)가 위치된다. 샘플의 면에 수직으로( 그리고 원형 도파관(50)의 축을 따라) 자기장이 인가된다. 상기 구성에서, 주어진 입사 TE11파는 2개의 반사파를 발생시킬 것이다. 하나는 입사파와 동일한 극성을 가지는 통상의 반사파이다. 상기 반사 방사선을 측정하기 위해 검출기가 마련된다. 다른 하나의 반사파는 홀효과에 의해 형성된다. 상기 반사파의 극성은 이전 파에 수직이고, 이 반사파를 검출하기 위해 프로우브(70)가 마련된다. 상기 반사파는 프로우브(70)에 의해 검출되고, 상기 프로우브(70)의 출력은 단일 검출기에서 순방향 방사선의 감쇠되고 이상된 부분과 결합된다.
비파괴 측정

2. 发明授权

KR100861545B1 전도성 시트 물질 내의 이동도 및 시트 전하 밀도를측정하기 위한 장치 및 처리 시스템 有权
标题翻译：用于测量导电材料中的移动性和片材充电密度的装置和处理系统
公开(公告)号：KR100861545B1
公开(公告)日：2008-10-02
申请号：KR1020077005517
申请日：2005-08-10
申请人： 리하이톤 일렉트로닉스, 인크.
发明人： 브루,어스틴알 , 브론코,마이클더블유 , 멀피,스티븐씨 , 응웬,단 , 에버하트,니콜라이 , 리씨니,제롬씨 , 주이덜블리엣,윌리암
IPC分类号： H01L21/66 , G01R27/04
CPC分类号： G01R27/2652 , G01N22/00 , G01R31/2648
摘要： 시트 전하 밀도 및 이동도의 비접촉 측정을 위한 장치(10)는 마이크로파 소스(16), 마이크로파 전력을 반도체 웨이퍼 또는 평판 표시 디스플레이용 패널과 같은 샘플(59)로 전송하기 위한 원형 도파관(50), 측정 위치에서 입사 마이크로파 전력을 검출하기 위한 제 1 검출기(18), 샘플로부터 반사된 마이크로파 전력을 검출하기 위한 제 2 검출기(23), 홀 효과 전력을 검출하기 위한 제 3 검출기(95)를 포함하고 있다. 상기 테스트 장치(10) 내에서 웨이퍼(59)의 자동 포지셔닝을 위하여 자동 포지셔닝 서브시스템(700)이 또한 제공된다. 자동 포지셔닝 서브시스템(700)은 제 1 말단 장치(706)와 회전자-리프터(704)를 포함한다. 제 1 말단 장치(706)는 시트 부재(59)를 고정시켜, 시트 부재를 테스트 장치(10) 내의 소망하는 위치로 이동시킬 수 있는 반면, 회전자 리프터(704)는 시트 부재의 위치를 수동 조정할 필요 없이 전체 시트 부재가 자동적으로 맵핑될 수 있도록 시트 부재(59)의 회절 각도(theta angle)를 증분 조정할 수 있도록 한다. 2 말단 장치(716)가 제 1 말단 장치에 대향적으로 장착될 수 있으며, 측정 장치(10)의 반대 끝단에 위치하고 있는 시트 저항 테스팅 모듈(718) 내에서 시트 부재(59)를 자동적으로 위치시키는데 사용될 수 있다.

3. 发明授权

KR101319293B1 시트 컨덕턴스 및 시트 저항 측정 시스템 有权
标题翻译：表格导电/电阻测量系统
公开(公告)号：KR101319293B1
公开(公告)日：2013-10-29
申请号：KR1020087014074
申请日：2006-11-10
申请人： 리하이톤 일렉트로닉스, 인크.
发明人： 브루,어스틴 , 브론코,마이크 , 멀피,스티븐씨 , 벨,스티브
IPC分类号： G01R33/12 , G01R33/00
CPC分类号： G01N27/04 , A61B5/02028 , A61B5/053 , G01N27/023 , G01N27/028
摘要： 물질의 전기적 또는 물리적 성질을 검사하기 위한 장치로서, 그 물질 샘플(6)에 인접하여 장착되는 단일 코일 센서(4)를 포함하고 있다. 해당 물질이 장착되는 곳에서 사용을 위해서 그 해당 물질이 일반적으로 수용되는 표준에 따르는지를 결정하기 위해서 단일 코일(4)을 사용하여 다양한 범위의 물질에 대한 시트 컨덕턴스가 측정될 수 있다. 일부 실시예에서, 그 물질은 반도체 웨이퍼 또는 평판(flat panel)이고, 다른 실시예에서 그 물질은 환자의 신체 조직이다. 단일 코일(4)로 인가되는 자기장에 대한 환자 조직의 컨덕턴스를 측정함으로써, 근조직과 같은 환자 조직의 건강을 점검하기 위한 기법 및/또는 양호한 순환이 존재하는지를 결정하기 위한 비-침습적 기법이 개시된다. 단일 코일(4)은 소형이거나, 컴퓨터 제어(46)를 받고 있는 자동화 배치 시스템(26, 35, 44)을 사용하여 이동할 수 있다.

4. 发明公开

KR1020070061540A 전도성 시트 물질 내의 이동도 및 시트 전하 밀도를측정하기 위한 장치 및 처리 시스템 有权
标题翻译：用于测量导电材料中的移动性和片材充电密度的装置和处理系统
公开(公告)号：KR1020070061540A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：KR1020077005517
申请日：2005-08-10
申请人： 리하이톤 일렉트로닉스, 인크.
发明人： 브루,어스틴알 , 브론코,마이클더블유 , 멀피,스티븐씨 , 응웬,단 , 에버하트,니콜라이 , 리씨니,제롬씨 , 주이덜블리엣,윌리암
IPC分类号： H01L21/66 , G01R27/04
CPC分类号： G01R27/2652 , G01N22/00 , G01R31/2648
摘要： An apparatus (10) for contactless measurement of sheet charge density and mobility includes a microwave source (16), a circular waveguide (50) for transmitting microwave power to a sample (59), such as a semiconductor wafer or panel for flat panel displays, at a measurement location, a first detector (18) for detecting the forward microwave power, a second detector (23) for detecting the microwave power reflected from the sample, and a third detector (95) for detecting the Hall effect power. An automatic positioning subsystem (700) is also provided for allowing automatic positioning of a wafer (59) within the test apparatus (10). The positioning system (700) includes a first end effector (706) and a rotator-lifter (704). The first end effector (706) can grasp a sheet element (59) and move it to a desired position within the test apparatus (10), while the rotator lifter (704) provides incremental adjustment of a theta angle of the sheet element (59) to allow automated mapping of an entire sheet element without the need for manual adjustment of the position of the sheet element. A second end effector (716) can be mounted opposite the first end effector (706) and can be used to automatically position the sheet element (59) within a sheet resistance testing module (718) located at an opposite end of the apparatus (10).
摘要翻译：用于片电荷密度和迁移率的非接触式测量的装置（10）包括微波源（16），用于将微波功率传送到样品（59）的圆形波导（50），例如用于平板显示器的半导体晶片或面板，在测量位置，检测前向微波功率的第一检测器（18），用于检测从样品反射的微波功率的第二检测器（23）和用于检测霍尔效应功率的第三检测器（95）。还提供了自动定位子系统（700），用于允许晶片（59）在测试装置（10）内的自动定位。定位系统（700）包括第一端部执行器（706）和旋转器升降器（704）。第一端部执行器（706）可以抓住片状元件（59）并将其移动到测试装置（10）内的期望位置，同时转子提升器（704）提供片状元件（59）的θ角的增量调节），以允许整个片材元件的自动映射，而不需要手动调整片材元件的位置。第二端部执行器（716）可以与第一端部执行器（706）相对地安装，并且可以用于将片状元件（59）自动定位在位于设备（10）的相对端的薄层电阻测试模块（718）内）。

5. 发明授权

KR100718029B1 시트형 물질의 검사 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于测试材料的方法和装置
公开(公告)号：KR100718029B1
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：KR1020017014560
申请日：2000-05-19
申请人： 리하이톤 일렉트로닉스, 인크.
发明人： 블루오스틴알 , 아이두코니스알렉산더
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 시트 형태의 물질의 전기적, 기계적, 물리적 및/또는 화학적 특성을 검사하는 장치는 시트를 보관하기 위한 카세트와 이 카세트에 대해 견고히 장착되어 있는 센서들을 포함하고 있다. 이들 센서는 카세트 외부의 검사 장소에 인접하여 장착될 수도 있다. 카세트 및 센서들의 구성 및 위치 관계는, 적당한 엔드 이펙터가 시트형 물질을 카세트내의 보관 장소와 센서들에 인접한 검사 장소간에 이동시킬 수 있도록 되어 있으면 된다. 시트형 물질의 검사 방법은, 시트형 물질을 카세트 내에 놓는 단계와, 이 카세트에 대해 견고하게 장착된 하나 이상의 센서를 사용하여 검사를 수행하는 단계를 포함하고 있다. 본 방법은 시트를 카세트로부터 꺼내고, 시트를 센서에 대해 복수의 위치에 단계별로 위치시키며, 또한 검사의 완료 후에 시트를 카세트에 되돌려 놓기 위해, 엔드 이펙터를 사용하는 단계를 더 포함하고 있다. 검사할 물질로는, 컴퓨터 화면 및 다른 응용 분야에 대한 평판 패널 및 반도체 웨이퍼가 있다.
카세트, 엔드 이펙터, 검사 헤드, 물질 검사

6. 发明公开

KR1020080068914A 시트 컨덕턴스 및 시트 저항 측정 시스템 有权
标题翻译：表格导电/电阻测量系统
公开(公告)号：KR1020080068914A
公开(公告)日：2008-07-24
申请号：KR1020087014074
申请日：2006-11-10
申请人： 리하이톤 일렉트로닉스, 인크.
发明人： 브루,어스틴 , 브론코,마이크 , 멀피,스티븐씨 , 벨,스티브
IPC分类号： G01R33/12 , G01R33/00
CPC分类号： G01N27/04 , A61B5/02028 , A61B5/053 , G01N27/023 , G01N27/028
摘要： An apparatus for testing of electrical or physical properties of a material include a single coil sensor (4) mounted adjacent to a sample (6) of the material. Sheet conductance of a wide variety of materials may be measured using the single coil (4) to determine if the material conforms to generally accepted standards for the use to which the material will be put. In some examples, the material is a semiconductor wafer or flat panel, In other examples, the material is the body tissue of a patient. A non-invasive technique is disclosed for monitoring the health of patient tissue such as musculature, and/or to determine whether healthy circulation is present, by measuring the conductance of the patient tissue (6) in response to a magnetic field applied by the single coil (4). The single coil (4) maybe hand held, or it may be movable using an automated positioning system (26, 35, 44) under computer control (46).
摘要翻译：用于测试材料的电学或物理性质的装置包括邻近材料样品（6）安装的单个线圈传感器（4）。可以使用单个线圈（4）测量各种材料的片材电导，以确定材料是否符合材料将被使用的普遍接受的使用标准。在一些示例中，该材料是半导体晶片或平板。在其他实例中，该材料是患者的身体组织。公开了一种非侵入性技术，用于通过测量患者组织（6）的电导响应于由单个的（例如）的磁场来监测患者组织的健康，例如肌肉组织和/或确定是否存在健康的循环，线圈（4）。单个线圈（4）可以是手持的，或者可以使用在计算机控制（46）下的自动定位系统（26,35,44）来移动。

7. 发明公开

KR1020040015241A 시트 재료의 매핑과 비파괴 측정 장치 및 방법 有权
标题翻译：绘图和非破坏性测量装置和薄片材料的方法
公开(公告)号：KR1020040015241A
公开(公告)日：2004-02-18
申请号：KR1020037014334
申请日：2002-04-30
申请人： 리하이톤 일렉트로닉스, 인크.
发明人： 리시니,제롬씨. , 에벨하트니콜라이
IPC分类号： G01N22/00
CPC分类号： G01N22/00 , G01R31/2648 , H01L22/14 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 이동도 및 캐리어 농도의 비접촉 측정 장치는, 마이크로웨이브 소스(16)와, 측정 위치에서 마이크로웨이브 방사선을 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이용 패널과 같은 샘플(59)로 전달하는 원형 도파관(50)과, 순방향 마이크로웨이브 파워를 검출하기 위한 제 1 검출기(18)와, 샘플로부터 반사된 마이크로웨이브 파워를 검출하기 위한 제 2 검출기(23)와, 홀효과 파워를 검출하기 위한 제 3 검출기(95)를 포함한다. 단지 TE11 모드만 전달하는 원형 도파관(50)은 샘플(59)에 의해 마감되고, 상기 샘플(59)의 후방에 쇼트(58)가 구성된다. 샘플의 면에 수직으로( 그리고 원형 도파관(50)의 축을 따라) 자기장이 인가된다. 상기 구성에서, 제공된 입사 TE11파는 2개의 반사파를 형성시킬 것이다. 하나는 입사파와 동일한 편파를 가지는 통상의 반사파이다. 상기 반사 방사선을 측정하기 위해 검출기가 구성된다. 다른 하나의 반사파는 홀효과에 의해 형성된다. 상기 반사파의 편파는 이전 파에 수직이고, 상기를 검출하기 위해 프로우브(70)가 구성된다. 상기 반사파는 프로우브(70)에 의해 검출되고, 상기 프로우브(70)의 출력은 단일 검출기에서 순방향 방사선의 감쇠되고 이상된 부분과 결합된다.

8. 发明公开

KR1020020039267A 시트형 물질의 검사 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于检查片状材料的方法和设备
公开(公告)号：KR1020020039267A
公开(公告)日：2002-05-25
申请号：KR1020017014560
申请日：2000-05-19
申请人： 리하이톤 일렉트로닉스, 인크.
发明人： 블루오스틴알 , 아이두코니스알렉산더
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 시트 형태의 물질의 전기적, 기계적, 물리적 및/또는 화학적 특성을 검사하는 장치는 시트를 보관하기 위한 카세트와 이 카세트에 대해 견고히 장착되어 있는 센서들을 포함하고 있다. 이들 센서는 카세트 외부의 검사 장소에 인접하여 장착될 수도 있다. 카세트 및 센서들의 구성 및 위치 관계는, 적당한 엔드 이펙터가 시트상 물질을 카세트내의 보관 장소와 센서들에 인접한 검사 장소간에 이동시킬 수 있도록 되어 있으면 된다. 시트상 물질의 검사 방법은, 시트상 물질을 카세트 내에 놓는 단계와, 이 카세트에 대해 견고하게 장착된 하나 이상의 센서를 사용하여 검사를 수행하는 단계를 포함하고 있다. 본 방법은 시트를 카세트로부터 꺼내고, 시트를 센서에 대해 복수의 위치에 단계별로 위치시키며, 또한 검사의 완료 후에 시트를 카세트에 되돌려 놓기 위해, 엔드 이펙터를 사용하는 단계를 더 포함하고 있다. 검사할 물질로는, 컴퓨터 화면 및 다른 응용 분야에 대한 평판 패널 및 반도체 웨이퍼가 있다.

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