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    • 4. 发明授权
    • 시트저항측정기 및 전자부품 제조방법
    • 我们可以通过电子邮件发送给您
    • KR100381062B1
    • 2003-04-26
    • KR1020000074901
    • 2000-12-09
    • 샤프 가부시키가이샤
    • 하라다요시노리
    • H01L21/00
    • G01N27/023
    • The sheet resistance meter has: a coil which produces a magnetic field; a sensor head provided to enable the magnetic field to induce eddy currents in a thin film formed on a substrate so that the lines of a magnetic force exerted by the magnetic field extend on one side of the substrate; a control device for detecting the sheet resistance of the thin film according to a variation of the magnetic field caused by the eddy currents; a capacitor for achieving resonance with the coil; and a groove section, a primary air port, an auxiliary air port, and a side air port, provided in the sensor head, for controlling the temperature of the coil. The arrangement stabilizes results of the measurement of a sheet resistance by a sheet resistance meter of a one-sided eddy current detection type when it is used continuously.
    • 薄层电阻计具有:产生磁场的线圈; 传感器头,其被设置为使得所述磁场能够在形成在衬底上的薄膜中引起涡流,使得由所述磁场施加的磁力线在所述衬底的一侧上延伸; 控制装置,用于根据由涡流引起的磁场的变化来检测薄膜的薄层电阻; 用于实现与线圈共振的电容器; 以及设置在传感器头中的用于控制线圈温度的槽部,主空气口,辅助空气口和侧空气口。 当连续使用时,通过单面涡流检测型薄层电阻计测量薄层电阻的结果稳定。
    • 6. 发明公开
    • 시트 컨덕턴스 및 시트 저항 측정 시스템
    • 表格导电/电阻测量系统
    • KR1020080068914A
    • 2008-07-24
    • KR1020087014074
    • 2006-11-10
    • 리하이톤 일렉트로닉스, 인크.
    • 브루,어스틴브론코,마이크멀피,스티븐씨벨,스티브
    • G01R33/12G01R33/00
    • G01N27/04A61B5/02028A61B5/053G01N27/023G01N27/028
    • An apparatus for testing of electrical or physical properties of a material include a single coil sensor (4) mounted adjacent to a sample (6) of the material. Sheet conductance of a wide variety of materials may be measured using the single coil (4) to determine if the material conforms to generally accepted standards for the use to which the material will be put. In some examples, the material is a semiconductor wafer or flat panel, In other examples, the material is the body tissue of a patient. A non-invasive technique is disclosed for monitoring the health of patient tissue such as musculature, and/or to determine whether healthy circulation is present, by measuring the conductance of the patient tissue (6) in response to a magnetic field applied by the single coil (4). The single coil (4) maybe hand held, or it may be movable using an automated positioning system (26, 35, 44) under computer control (46).
    • 用于测试材料的电学或物理性质的装置包括邻近材料样品(6)安装的单个线圈传感器(4)。 可以使用单个线圈(4)测量各种材料的片材电导,以确定材料是否符合材料将被使用的普遍接受的使用标准。 在一些示例中,该材料是半导体晶片或平板。在其他实例中,该材料是患者的身体组织。 公开了一种非侵入性技术,用于通过测量患者组织(6)的电导响应于由单个的(例如)的磁场来监测患者组织的健康,例如肌肉组织和/或确定是否存在健康的循环, 线圈(4)。 单个线圈(4)可以是手持的,或者可以使用在计算机控制(46)下的自动定位系统(26,35,44)来移动。
    • 8. 发明公开
    • 시트저항측정기 및 전자부품 제조방법
    • 电子元件的电阻测量装置和制造方法
    • KR1020010070290A
    • 2001-07-25
    • KR1020000074901
    • 2000-12-09
    • 샤프 가부시키가이샤
    • 하라다요시노리
    • H01L21/00
    • G01N27/023
    • PURPOSE: To stabilize the measured result of sheet resistance by an eddy-current system, in a continuous operation. CONSTITUTION: A sensor head 2, which comprises a coil 2a used to generate a magnetic field and by which an eddy current due to the magnetic field being formed on a thin film on a substrate, is installed in such a way that the magnetic line of force of the magnetic field can be directed at one face of the substrate. A control device, which detects the sheet resistance of the thin film on the basis of the change amount of the magnetic field due to the eddy current, is installed. A capacitor which forms a resonance state with the coil 2a and a resistor for voltage detection are installed. A groove part 2d, a main ventilation port 2e, auxiliary ventilation ports 2f and side-part ventilation ports 2g, which control the temperatures of the coil 2a, are formed in a case 2b.
    • 目的:通过涡流系统稳定测量结果,连续运行。 构成:传感器头2包括用于产生磁场的线圈2a,并且由于在基板上的薄膜上形成由磁场引起的涡流,传感器头2以这样的方式安装: 磁场的力可以指向衬底的一个面。 基于由于涡电流引起的磁场变化量来检测薄膜的薄层电阻的控制装置被安装。 与线圈2a和电压​​检测用电阻器形成共振状态的电容器。 在情况2b中形成有控制线圈2a的温度的槽部2d,主通风口2e,辅助通风口2f和侧部通气口2g。
    • 10. 发明公开
    • 차동형 염분 센서 및 이를 이용한 염분 측정 장치
    • 差分盐度传感器和盐度测量装置
    • KR1020060006634A
    • 2006-01-19
    • KR1020040055742
    • 2004-07-16
    • 한국해양연구원
    • 이희준조형래추용식박경수
    • G01N27/02
    • G01N27/023G01N25/18G01N27/048G01N27/227
    • 본 발명은 차동형 염분 센서 및 이를 이용한 염분 측정 장치에 관한 것으로서, 4개의 임피던스(Z1,Z2,Z3,Z4) 소자를 마름모꼴로 접속하고 대향하는 코너를 각각 전원 분기와 검출기 분기로 브릿지한 회로를 통해, 전원 분기단에 전원 인가시 Z1Z2=Z3Z4의 조건과 검출기 분기단의 전위차가 영이 되어 전류가 흐르지 않는 조건을 만족하는 평형 상태를 이루는 브릿지 구조에, 표준 해수 실린더와 측정 해수 실린더를 차동형 브릿지 형태로 적용하여 표준 해수와 측정 해수의 전기전도도를 측정한 후, 측정된 전기전도도의 차이를 통해 측정 해수의 염분을 측정할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다.
      본 발명에 따르면, 동일한 온도와 압력 조건 하에서 차동형 브릿지 형태로 표준 해수와 측정 해수의 전기전도도 차이를 비교한 후 측정 해수의 염분을 측정함으로써 주변 환경의 영향을 최소화하면서도 정확한 측정을 행할 수 있다.
      차동, 염분, 전기전도도, 센서, 측정, 브릿지 구조
    • 本发明涉及一种差动盐度传感器和盐度测量装置使用相同的,通过电路桥具有四个阻抗(Z1,Z2,Z3,Z4)到角用于将设备连接到菱形和相对各供给支路和检测器分支 时,电源的电势差是在Z 1 Z 2 =所述Z3Z4条件和功率分支端和所述检测器的分支级是零到桥结构形成的平衡满足不携带电流的条件下,标准的水缸和测定水气缸到差分桥型 并测量标准海水和测量海水的电导率,然后通过测量的电导率的差异来测量所测海水的盐度。