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1. 发明授权

KR100861545B1 전도성 시트 물질 내의 이동도 및 시트 전하 밀도를측정하기 위한 장치 및 처리 시스템 有权
标题翻译：用于测量导电材料中的移动性和片材充电密度的装置和处理系统
公开(公告)号：KR100861545B1
公开(公告)日：2008-10-02
申请号：KR1020077005517
申请日：2005-08-10
申请人： 리하이톤 일렉트로닉스, 인크.
发明人： 브루,어스틴알 , 브론코,마이클더블유 , 멀피,스티븐씨 , 응웬,단 , 에버하트,니콜라이 , 리씨니,제롬씨 , 주이덜블리엣,윌리암
IPC分类号： H01L21/66 , G01R27/04
CPC分类号： G01R27/2652 , G01N22/00 , G01R31/2648
摘要： 시트 전하 밀도 및 이동도의 비접촉 측정을 위한 장치(10)는 마이크로파 소스(16), 마이크로파 전력을 반도체 웨이퍼 또는 평판 표시 디스플레이용 패널과 같은 샘플(59)로 전송하기 위한 원형 도파관(50), 측정 위치에서 입사 마이크로파 전력을 검출하기 위한 제 1 검출기(18), 샘플로부터 반사된 마이크로파 전력을 검출하기 위한 제 2 검출기(23), 홀 효과 전력을 검출하기 위한 제 3 검출기(95)를 포함하고 있다. 상기 테스트 장치(10) 내에서 웨이퍼(59)의 자동 포지셔닝을 위하여 자동 포지셔닝 서브시스템(700)이 또한 제공된다. 자동 포지셔닝 서브시스템(700)은 제 1 말단 장치(706)와 회전자-리프터(704)를 포함한다. 제 1 말단 장치(706)는 시트 부재(59)를 고정시켜, 시트 부재를 테스트 장치(10) 내의 소망하는 위치로 이동시킬 수 있는 반면, 회전자 리프터(704)는 시트 부재의 위치를 수동 조정할 필요 없이 전체 시트 부재가 자동적으로 맵핑될 수 있도록 시트 부재(59)의 회절 각도(theta angle)를 증분 조정할 수 있도록 한다. 2 말단 장치(716)가 제 1 말단 장치에 대향적으로 장착될 수 있으며, 측정 장치(10)의 반대 끝단에 위치하고 있는 시트 저항 테스팅 모듈(718) 내에서 시트 부재(59)를 자동적으로 위치시키는데 사용될 수 있다.

2. 发明公开

KR1020070061540A 전도성 시트 물질 내의 이동도 및 시트 전하 밀도를측정하기 위한 장치 및 처리 시스템 有权
标题翻译：用于测量导电材料中的移动性和片材充电密度的装置和处理系统
公开(公告)号：KR1020070061540A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：KR1020077005517
申请日：2005-08-10
申请人： 리하이톤 일렉트로닉스, 인크.
发明人： 브루,어스틴알 , 브론코,마이클더블유 , 멀피,스티븐씨 , 응웬,단 , 에버하트,니콜라이 , 리씨니,제롬씨 , 주이덜블리엣,윌리암
IPC分类号： H01L21/66 , G01R27/04
CPC分类号： G01R27/2652 , G01N22/00 , G01R31/2648
摘要： An apparatus (10) for contactless measurement of sheet charge density and mobility includes a microwave source (16), a circular waveguide (50) for transmitting microwave power to a sample (59), such as a semiconductor wafer or panel for flat panel displays, at a measurement location, a first detector (18) for detecting the forward microwave power, a second detector (23) for detecting the microwave power reflected from the sample, and a third detector (95) for detecting the Hall effect power. An automatic positioning subsystem (700) is also provided for allowing automatic positioning of a wafer (59) within the test apparatus (10). The positioning system (700) includes a first end effector (706) and a rotator-lifter (704). The first end effector (706) can grasp a sheet element (59) and move it to a desired position within the test apparatus (10), while the rotator lifter (704) provides incremental adjustment of a theta angle of the sheet element (59) to allow automated mapping of an entire sheet element without the need for manual adjustment of the position of the sheet element. A second end effector (716) can be mounted opposite the first end effector (706) and can be used to automatically position the sheet element (59) within a sheet resistance testing module (718) located at an opposite end of the apparatus (10).
摘要翻译：用于片电荷密度和迁移率的非接触式测量的装置（10）包括微波源（16），用于将微波功率传送到样品（59）的圆形波导（50），例如用于平板显示器的半导体晶片或面板，在测量位置，检测前向微波功率的第一检测器（18），用于检测从样品反射的微波功率的第二检测器（23）和用于检测霍尔效应功率的第三检测器（95）。还提供了自动定位子系统（700），用于允许晶片（59）在测试装置（10）内的自动定位。定位系统（700）包括第一端部执行器（706）和旋转器升降器（704）。第一端部执行器（706）可以抓住片状元件（59）并将其移动到测试装置（10）内的期望位置，同时转子提升器（704）提供片状元件（59）的θ角的增量调节），以允许整个片材元件的自动映射，而不需要手动调整片材元件的位置。第二端部执行器（716）可以与第一端部执行器（706）相对地安装，并且可以用于将片状元件（59）自动定位在位于设备（10）的相对端的薄层电阻测试模块（718）内）。

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