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1. 发明公开

KR1020080069898A 마이크로머신 디바이스의 구동 제어 방법 및 장치 无效
标题翻译：用于控制MICROMACHINE装置驱动的方法和装置
公开(公告)号：KR1020080069898A
公开(公告)日：2008-07-29
申请号：KR1020070108399
申请日：2007-10-26
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤 , 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤
发明人： 미시마나오유끼 , 요네자와유 , 시마노우찌다께아끼 , 미시아오유 , 다까노다께시 , 아오끼노부히사 , 나까야유우따
IPC分类号： H01H59/00 , B81B3/00
CPC分类号： H01G5/18 , H03H7/38 , H03H2007/006
摘要： A method and a device for controlling drive of a micro machine device are provided to prevent generation of a space charge in variable capacitance by switching positive and negative polarity of a control voltage. A device for controlling drive of a micro machine device(11) includes first and second electrodes(24,25) facing each other and a dielectric layer(26). The device for controlling the drive of the micro machine device further includes a control voltage application device for applying a control voltage between the first and second electrodes to displace the first electrode or the second electrode by applying an electrostatic force to the first and second electrodes. The control voltage application device applies the control voltage to switch positive and negative polarity for the first and second electrodes within a predetermined period.
摘要翻译：提供了一种用于控制微机器驱动的方法和装置，以通过切换控制电压的正负极来防止产生可变电容中的空间电荷。用于控制微机器（11）的驱动的装置包括彼此面对的第一和第二电极（24,25）和电介质层（26）。用于控制微机器装置的驱动的装置还包括控制电压施加装置，用于通过向第一和第二电极施加静电力来在第一和第二电极之间施加控制电压以使第一电极或第二电极移位。控制电压施加装置在预定时间段内施加控制电压以对第一和第二电极切换正极性和负极性。

2. 发明授权

KR100593354B1 탄성 경계파 디바이스 및 그 제조방법 失效
标题翻译：弹性边界波装置及其制造方法
公开(公告)号：KR100593354B1
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：KR1020040092009
申请日：2004-11-11
申请人： 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 , 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 미시마나오유끼 , 미우라미찌오
IPC分类号： H03H9/25 , H03H3/08
CPC分类号： H03H9/0222 , H03H3/08
摘要： 본 발명은 접합면의 접합 강도가 균일하고 또한 기판에 휨이 없는 탄성 경계파 디바이스 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
압전성 기판인 제1 기판(2)과, 제1 기판(2)의 주면상에 형성된 IDT(3)와, 이 IDT(3)를 덮으며 평활한 표면(4)을 갖는 제1 유전체막(5)과, 실리콘(Si)계 기판인 제2 기판(6)과, 제2 기판(6)의 주면에 형성된 제2 유전체막(7)을 갖고, 유전체막(5)의 평탄한 표면(4)과 유전체막(7)의 표면이 접합된 구성을 갖는다.
탄성 경계파, 유전체막, 압전성 기판, 필터 소자, 발진자

3. 发明授权

KR100831526B1 스위치 失效
标题翻译：开关
公开(公告)号：KR100831526B1
公开(公告)日：2008-05-22
申请号：KR1020060116413
申请日：2006-11-23
申请人： 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 , 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 요네자와유 , 미시마나오유끼 , 나까따니다다시 , 구옌,안투안 , 우에다사또시
IPC分类号： H01H49/00 , H01H3/30 , H01H3/54
CPC分类号： B81B3/0086 , B81B2201/018 , G02B6/3566 , G02B6/357 , G02B6/3584 , H01H59/0009 , H01H2059/0054
摘要： 소형화 가능하고, 구동 전력의 저전압화 또는 스위치 접점부의 접점 동작의 안정화가 가능한 스위치를 제공한다. 본 발명은, 기판(60)에 각각의 일단이 고정된 복수의 비틀림 스프링(12a, 12b)과, 복수의 비틀림 스프링(12a, 12b) 각각의 다른 쪽의 일단이 고정되고, 정전 액튜에이터(20a, 20b)에 의해 요동하는 들보부(10)와, 들보부(10)에 형성된 제1 접점(32a, 32b)과 기판(60)에 고정된 제2 접점(36a, 36b)이 접속 또는 비접속하는 스위치 접점부(30a, 30b)를 구비하는 것을 특징으로 하는 스위치이다.
비틀림 스프링, 들보, 접점, 액튜에이터, 기판, 저전압화, 구동 전력
摘要翻译：提供了一种能够小型化并且能够降低驱动功率或稳定开关接触部分的接触操作的开关。各自具有固定到基板60的一端和多个扭转弹簧12a和12b中的另一个的一端的多个扭转弹簧12a和12b被固定，并且静电致动器20a，并且，形成在梁部分10上的第一触点32a和32b以及固定在基板60上的第二触点36a和36b连接或断开和开关接触部分（30a，30b）。

4. 发明公开

KR1020070055380A 스위치 失效
公开(公告)号：KR1020070055380A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：KR1020060116413
申请日：2006-11-23
申请人： 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 , 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 요네자와유 , 미시마나오유끼 , 나까따니다다시 , 구옌,안투안 , 우에다사또시
IPC分类号： H01H49/00 , H01H3/30 , H01H3/54
CPC分类号： B81B3/0086 , B81B2201/018 , G02B6/3566 , G02B6/357 , G02B6/3584 , H01H59/0009 , H01H2059/0054
摘要： 소형화 가능하고, 구동 전력의 저전압화 또는 스위치 접점부의 접점 동작의 안정화가 가능한 스위치를 제공한다. 본 발명은, 기판(60)에 각각의 일단이 고정된 복수의 비틀림 스프링(12a, 12b)과, 복수의 비틀림 스프링(12a, 12b) 각각의 다른 쪽의 일단이 고정되고, 정전 액튜에이터(20a, 20b)에 의해 요동하는 들보부(10)와, 들보부(10)에 형성된 제1 접점(32a, 32b)과 기판(60)에 고정된 제2 접점(36a, 36b)이 접속 또는 비접속하는 스위치 접점부(30a, 30b)를 구비하는 것을 특징으로 하는 스위치이다.
비틀림 스프링, 들보, 접점, 액튜에이터, 기판, 저전압화, 구동 전력

5. 发明公开

KR1020060043316A 접합 기판, 탄성 표면파 소자 및 탄성 표면파 디바이스 有权
标题翻译：贴合基板，表面声波芯片和表面声波设备
公开(公告)号：KR1020060043316A
公开(公告)日：2006-05-15
申请号：KR1020050017198
申请日：2005-03-02
申请人： 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 , 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 미우라미찌오 , 우에다마사노리 , 아이까와순이찌 , 우에무라도루 , 와다구니히사 , 미시마나오유끼
IPC分类号： H03H9/25 , H03H9/145 , H03H9/64
CPC分类号： H03H9/02559 , H01L41/312 , H03H9/02574
摘要： A bonded substrate includes a lithium tantalate substrate and a sapphire substrate to which the lithium tantalate substrate is bonded, a bonded interface of the lithium tantalate and the sapphire substrate includes a bonded region in an amorphous state having a thickness of 0.3 nm to 2.5 nm. The bonded region in the amorphous state is formed by activating at least one of the lithium tantalate substrate and the sapphire substrate in the bonded interface with neutralized atom beams, ion beams or plasma of inert gas or oxygen. It is possible to bond the piezoelectric substrate to the supporting substrate having different lattice constants without the high-temperature thermal treatment and realize the bonded substrate having an excellent bonding strength and being less warped.

6. 发明授权

KR100818471B1 스위치 失效
公开(公告)号：KR100818471B1
公开(公告)日：2008-04-01
申请号：KR1020060098094
申请日：2006-10-09
申请人： 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 , 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 요네자와유 , 미시마나오유끼 , 나까따니다다시 , 규엔안튜안 , 우에다사또시
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H9/40 , H01H1/0036 , H01H9/42 , H01H2001/0078
摘要： 간단한 구성으로 핫 스위치 동작이 가능하게 되는 스위치를 제공한다. 본 발명은, 일단이 기판에 고정된 제1 부재(30)와, 제1 접점부(120)가 설치되고, 일단이 상기 제1 부재에 고정된 복수의 제1 양부(14)와, 상기 제1 접점부와 제2 접점부(21)가 접속 및 비접속하고, 병렬로 접속된 복수의 접점 스위치부(10a~10e)와, 상기 복수의 접점 스위치부가 접속되는 공통 접속점과 상기 복수의 접점 스위치부의 각각의 사이에 설치된 저항(R1~R4)을 구비하고, 상기 복수의 접점 스위치부 중 적어도 하나(10a)가 접속한 때, 비접속의 접점 스위치부 중 적어도 하나에 대응한 상기 저항의 저항값은, 상기 접속한 접점 스위치부에 대응하는 상기 저항의 저항값보다 작은 것을 특징으로 하는 스위치이다.
핫 스위치, 용단, 저항, 증착법, 접점

7. 发明公开

KR1020050045913A 탄성 경계파 디바이스 및 그 제조방법 失效
标题翻译：弹性边界波装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020050045913A
公开(公告)日：2005-05-17
申请号：KR1020040092009
申请日：2004-11-11
申请人： 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 , 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 미시마나오유끼 , 미우라미찌오
IPC分类号： H03H9/25 , H03H3/08
CPC分类号： H03H9/0222 , H03H3/08
摘要： An elastic boundary wave device includes a first piezoelectric substrate (2), IDTs (3) arranged thereon, a first dielectric film (5) having a smoothed surface that covers the IDTs, a second substrate (6) that is a silicon-based substrate, and a second dielectric film (7) provided on a main surface of the second substrate. The smoothed surface of the first dielectric surface and a surface of the second dielectric film (7) are joined together.

8. 发明公开

KR1020070038931A 스위치 失效
标题翻译：开关
公开(公告)号：KR1020070038931A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：KR1020060098094
申请日：2006-10-09
申请人： 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 , 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 요네자와유 , 미시마나오유끼 , 나까따니다다시 , 규엔안튜안 , 우에다사또시
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H9/40 , H01H1/0036 , H01H9/42 , H01H2001/0078
摘要： 간단한 구성으로 핫 스위치 동작이 가능하게 되는 스위치를 제공한다. 본 발명은, 일단이 기판에 고정된 제1 부재(30)와, 제1 접점부(120)가 설치되고, 일단이 상기 제1 부재에 고정된 복수의 제1 양부(14)와, 상기 제1 접점부와 제2 접점부(21)가 접속 및 비접속하고, 병렬로 접속된 복수의 접점 스위치부(10a~10e)와, 상기 복수의 접점 스위치부가 접속되는 공통 접속점과 상기 복수의 접점 스위치부의 각각의 사이에 설치된 저항(R1~R4)을 구비하고, 상기 복수의 접점 스위치부 중 적어도 하나(10a)가 접속한 때, 비접속의 접점 스위치부 중 적어도 하나에 대응한 상기 저항의 저항값은, 상기 접속한 접점 스위치부에 대응하는 상기 저항의 저항값보다 작은 것을 특징으로 하는 스위치이다.
핫 스위치, 용단, 저항, 증착법, 접점
摘要翻译：提供了一种能够以简单的配置操作热开关的开关。第一构件（30），其一端固定到基板;多个第一凸起（14），其具有第一接触部分（120）和一端固定到第一构件; 并联连接并连接到第一触点单元和第二触点单元（21）的多个触点开关单元（10a到10e），以及多个触点开关单元并且所述多个接触开关部分中的至少一个接触开关部分与所述多个接触开关部分中的每一个连接，以使得所述电阻器的电阻值对应于所述多个接触开关部分中的至少一个，小于与所连接的触点开关单元对应的电阻器的电阻值。

9. 发明授权

KR100625719B1 접합 기판, 탄성 표면파 소자 및 탄성 표면파 디바이스 有权
标题翻译：键合衬底，表面声波元件和表面声波器件
公开(公告)号：KR100625719B1
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020050017198
申请日：2005-03-02
申请人： 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 , 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 미우라미찌오 , 우에다마사노리 , 아이까와순이찌 , 우에무라도루 , 와다구니히사 , 미시마나오유끼
IPC分类号： H03H9/25 , H03H9/145 , H03H9/64
CPC分类号： H03H9/02559 , H01L41/312 , H03H9/02574
摘要： 본 발명은, 탄탈산 리튬 기판과 사파이어 기판을 고온 열 처리를 실시하지 않고 접합시켜 접합 강도가 높고 또한 휘어짐이 적은 접합 기판을 실현하며, 또한 온도 안정성이 우수한 SAW 소자를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위해, 탄탈산 리튬 기판 및 사파이어 기판 중 적어도 한쪽의 접합 표면을, 불활성 가스 또는 산소 가스의 중성화 빔, 이온 빔, 혹은 플라즈마에 의해 활성화시켜 비정질화하거나, 혹은 이들 기판 중 적어도 한쪽의 접합 표면 상에, 원하는 조성의 비정질층을 진공 성막하여 형성한다. 이와 같이 하여 얻어진 탄탈산 리튬 기판과 사파이어 기판을 접합하고, 그 계면에 0.3㎚ 이상 2.5㎚ 이하의 두께의 비정질 접합 영역을 제공하면, 접합 강도가 높은 기판이 얻어진다. 또한, 접합 영역의 두께를 1.5㎚ 이상으로 하면, 150℃에서 1 시간 동안 유지한 후의 휘어짐량을 대강 200㎛ 이하로 할 수 있다.
압전 기판, 접합 계면, 패키지, 범프, 와이어
摘要翻译：本发明中，该钽酸锂衬底和蓝宝石衬底被不进行高温热处理加入了高的接合强度和实现与低翘曲的键合衬底，并且其目的是提供一种优异的SAW器件的温度稳定性。为此，在钽酸锂基片和蓝宝石基板中的至少一个的结合表面，花的无定形物通过中和束，离子束或惰性气体或氧气气体的等离子体，或这些基板中的至少一个的结合表面活性通过真空沉积具有所需组成的无定形层。以这种方式，接合钽酸锂衬底和蓝宝石衬底获得的，并且通过提供一种具有厚度小于0.3㎚2.5㎚到接口，获得了高的接合强度在衬底非晶接合区域。另外，当接合区域的厚度为1.5nm以上时，在150℃下保持1小时后的翘曲量可以为约200μΩ以下。

10. 发明授权

KR100614542B1 탄성 표면파 디바이스 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：表面声波装置及其制造方法
公开(公告)号：KR100614542B1
公开(公告)日：2006-08-25
申请号：KR1020040004889
申请日：2004-01-27
申请人： 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤
发明人： 미시마나오유끼
IPC分类号： H03H9/25
CPC分类号： H03H9/059 , H01L2224/16225 , H01L2224/73253 , H01L2924/16195 , H03H9/02897 , H03H9/1071
摘要： 본 발명의 과제는 굽힘에 대해 충분한 내구성을 갖는 탄성 표면파 디바이스 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
실장 기판(21)과 프레임형 기판(22)과 덮개 기판(23)이 하부 기판(25)을 포함하는 패키지에 페이스 다운 상태로 SAW 필터 소자(1)가 고정된 SAW 디바이스(10)에 있어서, 실장 기판(21)에 다른 기판(22, 23, 25)의 변형에 의해 받은 변형이 SAW 필터 소자(1)의 실장 영역에 영향받지 않을 정도의 유연함을 갖게 한다. 이를 실현하기 위해, 예를 들어 실장 기판(21)의 두께를 100 ㎛ 이하로 한다. 또한, 실장 기판(21)의 하부에 캐비티(30)를 설치한다. 또한, 실장 기판(21)을 형성하는 재료로서는, 예를 들어 BT 레진이나 폴리이미드 수지나 PPE 등의 비교적 강성이 높은 절연 재료를 이용한다.
실장 기판, 덮개 기판, 캐비티, SAW 필터 소자, SAW 디바이스, 비아 배선

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