专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR102056971B1 이중 프리즘 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치 및 측정방법 有权
公开(公告)号：KR102056971B1
公开(公告)日：2019-12-19
申请号：KR1020170182353
申请日：2017-12-28
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 조현모 , 조용재 , 제갈원 , 김동형
IPC分类号： G01N21/21 , B01L3/00 , G02B5/04 , G02B5/30

2. 发明授权

KR101884091B1 사다리꼴 입사구조 프리즘 입사형 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치 및 측정방법 有权
公开(公告)号：KR101884091B1
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：KR1020160161948
申请日：2016-11-30
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 조현모 , 조용재 , 제갈원
IPC分类号： G01N21/552 , G01N21/21 , G01N33/543 , G01N35/08
CPC分类号： G01N21/21 , G01N21/552 , G01N33/543 , G01N35/08
摘要： 본발명은사다리꼴입사구조프리즘입사형실리콘기반액침미세유로측정장치및 측정방법에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른사다리꼴입사구조프리즘입사형실리콘기반액침미세유로측정장치는지지대와상기지지대상에형성되고제 1 시료를검출하기위한제 1 생체결합물질이고정화된시료검출층이형성된적어도하나의미세유로를포함하는미세유로구조체; 상기미세유로구조체의상부에형성된사각뿔대형상의프리즘; 상기미세유로에제 1 시료가포함된완충용액을주입하는시료주입부; 상기프리즘을통해편광된입사광을 p파무반사조건에만족되는입사각으로상기미세유로에조사하는편광발생부; 상기편광된입사광중, 상기시료검출층으로부터반사되는제 1 반사광의편광변화를검출하는편광검출부를포함하되, 상기프리즘은상기프리즘으로입사된편광된입사광중, 상기프리즘의하부경계면및 상기미세유로에주입된완충용액의경계면에서반사된제 2 반사광을상기프리즘의상부경계면에서전반사시키는것을특징으로한다.

3. 发明公开

KR1020160109786A 무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법 有权
标题翻译：用于测量样品的MUELLER-MATIRX元素的旋光元件ELLIPSOMETER和方法
公开(公告)号：KR1020160109786A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：KR1020150034847
申请日：2015-03-13
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 조용재 , 제갈원 , 조현모
IPC分类号： G01D21/00 , G01B11/06 , G01B11/24 , G01N21/21 , G01J4/04
CPC分类号： G01N21/211 , G01B11/0641 , G01B11/24 , G01J4/04 , G01N21/8422 , G01D21/00
摘要： 본발명은광소자회전형타원계측기에관한것으로서, 보다상세하게는시편에의해반사또는투과된광의편광상태변화를측정및 분석하여시편의뮬러행렬성분을측정하는데사용되는타원계측기에관한것이다. 본발명은일 실시예는시편을향하여입사광을방사하는광원, 상기입사광의진행경로상 상기광원과상기시편사이에배치되며상기광원에서방사된상기입사광을편광시키는고정편광자, 상기입사광의진행경로상 상기고정편광자와상기시편사이에배치되며상기고정편광자를통과한광이입사되며상기입사된광을편광시키는등속으로회전하는등속회전편광자, 상기등속회전편광자를통과하여편광된광이상기시편에의해반사또는투과되면서편광상태가변화되어입사되며상기입사된광을편광시키는등속으로회전하는등속회전검광자, 상기등속회전검광자를통과하여편광된광이입사되며상기입사된광을편광시키는고정검광자, 상기고정검광자를통과하여편광된광이입사되며입사된광의노광량을검출하고상기노광량에상응하는광의복사속의값을출력하는광검출기를포함할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及具有旋转无彩色光学元件的椭偏仪，更具体地说，涉及一种能够通过测量和分析由样品透射或反射的光的偏振状态的变化来测量样品的mueller矩阵分量的椭偏仪。根据实施例，本发明包括：将入射光辐射到样品的光源; 在入射光的进行路线上放置在样品和光源之间的固定的偏振片，并且偏振从光源辐射的入射光; 在入射光的进行路线上放置在样品和固定偏振器之间的恒定旋转偏振器，使光通过固定偏振器，并以恒定速度旋转以使入射光偏振; 通过改变由于样品的透射或反射而产生的偏振状态并以恒定的速度旋转以使入射光偏振的恒定旋转分析仪，通过恒定旋转偏振器偏振光，采用恒定旋转分析仪进行偏振的固定分光仪，使入射光偏振; 以及通过固定分析器偏振的光的光检测器，检测入射光的曝光量，并输出与曝光量对应的光的辐射通量的值。

4. 发明授权

KR102103077B1 고소광계수 표지자와 유전체기판을 이용한 고감도 바이오센서칩, 측정시스템 및 측정방법 有权
公开(公告)号：KR102103077B1
公开(公告)日：2020-04-22
申请号：KR1020180096767
申请日：2018-08-20
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 김동형 , 조현모 , 조용재 , 제갈원
IPC分类号： G01N21/21 , G01N21/64 , G01N33/52

5. 发明授权

KR101590389B1 광소자 회전형 분광타원계측기 및 광소자 회전형 분광타원계측기의 측정 정밀도 예측 방법, 이를 구현하기 위한 프로그램이 저장된 기록매체 및 이를 구현하기 위해 매체에 저장된 컴퓨터프로그램 有权
标题翻译：旋转元件光谱仪和旋转元件光谱仪测量精度预测方法，以及用于执行旋转元件光谱仪的记录介质存储程序和记录中继存储程序执行相同
公开(公告)号：KR101590389B1
公开(公告)日：2016-02-02
申请号：KR1020140180875
申请日：2014-12-16
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 조용재 , 제갈원 , 조현모
IPC分类号： G01B11/00 , G01B11/06 , G01B11/24 , G01N21/21
CPC分类号： G01J3/447 , G01J4/04 , G01N21/211 , G01N2021/213
摘要： 본발명은광소자회전형분광타원계측기및 광소자회전형분광타원계측기의측정정밀도예측방법, 이를구현하기위한프로그램이저장된기록매체및 이를구현하기위해매체에저장된컴퓨터프로그램에관한것으로서, 보다상세하게는시편에대한타원계측매개변수들의표준편차에대한이론식을근거로광소자회전형분광타원계측기의측정정밀도를계산하는광소자회전형분광타원계측기및 광소자회전형분광타원계측기의측정정밀도예측방법, 이를구현하기위한프로그램이저장된기록매체및 이를구현하기위해매체에저장된컴퓨터프로그램을제공하고자하는것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用旋转光学装置的分光椭偏仪，由使用旋转光学装置的分光椭偏仪使用的测量精度估计方法，存储用于实施该方法的程序的记录介质和存储在介质中的计算机程序实行相同更具体地，本发明基于关于样品的椭偏参数的标准偏差的理论公式，计算使用旋转光学装置的分光椭偏仪的测量精度的比率。

6. 发明公开

KR1020110035811A 적분형 광검출기를 사용한 푸리에 계수 측정법 有权
标题翻译：使用集成光电探测器测量四叶系数
公开(公告)号：KR1020110035811A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：KR1020100005358
申请日：2010-01-20
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 조용재 , 제갈원 , 조현모
IPC分类号： G01N21/00 , G01J9/00
摘要： PURPOSE: A method for measuring a Fourier coefficient using an integrating photometric detector is provided to measure in an optimum condition by temporarily controlling integration time depending on the intensity of light. CONSTITUTION: A method for measuring a Fourier coefficient using an integrating photometric detector is as follows. An integrating photometric detector is prepared. The amount of exposure is measured for a cycle at uniform intervals using the integrating photometric detector. The normalized Fourier coefficient of light waveform is determined. A discrete Fourier transform is performed and is determined by using the determined Fourier coefficient.
摘要翻译：目的：提供一种使用积分光度检测器测量傅里叶系数的方法，通过暂时根据光强度控制积分时间，在最佳条件下进行测量。构成：使用积分光度检测器测量傅立叶系数的方法如下。制备积分光度检测器。使用积分光度检测器以均匀的间隔测量曝光量。确定光波形的归一化傅立叶系数。执行离散付里叶变换并通过使用所确定的傅里叶系数来确定。

7. 发明公开

KR1020100061222A 다채널 타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치 有权
标题翻译：多通道表面等离子体共振传感器使用光束廓线ELLIPSOMETRY
公开(公告)号：KR1020100061222A
公开(公告)日：2010-06-07
申请号：KR1020080120134
申请日：2008-11-28
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 조현모 , 조용재 , 제갈원
IPC分类号： G01N21/21 , G01N21/552
CPC分类号： G01N21/553 , G01N2021/212
摘要： PURPOSE: A multi-channel surface plasmon resonance measure system using a beam profile ellipsometer is provided to measure a junctional characteristic and a dynamic characteristic of a biomass in real time by measuring plasmon resonance measurement and ellipsometer phase change according to an angular change and a location change by measuring a light amplitude and phase together. CONSTITUTION: A multi-channel surface plasmon resonance measure system using a beam profile ellipsometer comprises: a vertical incident focused-beam ellipse meter which polarizes light and measures the ellipse meter phase change by detecting the polarized light reflected with focusing the partial polarized light to a metallic foil(42) including a multi-channel from an object lens; a surface plasmon resonance sensor(40) which is arranged in the object lens of the focus-beam ellipse meter and generates a surface plasmon resonance by the angular variation of the polarized light; and a multi-channel flow path(1) which supplies buffer solution including the biomass which generates adsorption or desorption to the metallic foil. The surface plasmon resonance and the ellipse meter phase change by the angular variation and the wavelength change are detected at the same time.
摘要翻译：目的：提供使用光束轮廓椭偏仪的多通道表面等离子体共振测量系统，通过根据角度变化和位置测量等离子体共振测量和椭偏仪相位来实时测量生物质的连接特性和动态特性通过一起测量光振幅和相位来改变。构成：使用光束轮廓椭偏仪的多通道表面等离子体共振测量系统包括：垂直入射聚焦光束椭圆计，其使光偏振并且通过检测通过将部分偏振光聚焦到一个反射的偏振光来测量椭圆表相变金属箔（42），其包括来自物镜的多通道; 表面等离子体共振传感器（40），其布置在聚焦光束椭圆计的物镜中，并通过偏振光的角度变化产生表面等离子体共振; 以及多通道流路（1），其向所述金属箔供给包含生物质的缓冲溶液，所述生物质产生吸附或解吸附。同时检测表面等离子体共振和椭圆表相位随角度变化和波长变化的变化。

8. 发明授权

KR100574776B1 분광결상을 이용한 타원계측 장치 및 타원계측 방법 有权
标题翻译：使用光谱成像和椭圆偏光法的椭圆偏光装置
公开(公告)号：KR100574776B1
公开(公告)日：2006-04-28
申请号：KR1020040002880
申请日：2004-01-15
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 제갈원 , 조현모 , 조용재 , 이윤우
IPC分类号： G01N21/21
CPC分类号： G01J3/447 , G01J4/04 , G01N21/211
摘要： 본 발명은 분광결상을 이용하는 타원계측장치 및 타원계측방법에 관한 것으로, 시료의 표면에 지정/구획된 다점영역으로 해당 다점영역에 맞게 시준하고 편광시킨 백색광을 입사시키기 위한 광원 그룹과, 반사되는 백색광을 광분석을 위해 편광시키는 광분석 그룹과, 편광된 백색광을 분광/결상시키기 위한 분광결상 그룹을 포함하여 구성됨이 특징이 있다. 특히 분광결상 그룹에는 다점영역에 맞게 시준된 백색광이 입사되고, 분광소자에 의해 파장별로 분광되므로, 결상면의 한축에는 다점영역을 이루는 각 지점의 위치별로 결상되고, 다른 한축에는 파장별로 결상되어 위치별/파장별 물성정보를 갖는 광학 데이터의 수득이 가능하다. 따라서 다점영역의 물성 정보를 동시에 획득하고, 또한 파장별로 분광하여 획득하는 등의 풍부한 데이터의 획득이 가능하여 측정의 신속성과 신뢰성 제고의 효과가 있다.
분광, 결상, 타원계측, 다점영역, 파장

9. 发明授权

KR102139988B1 수직입사 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 광물성 측정 방법 有权
公开(公告)号：KR102139988B1
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：KR1020180081169
申请日：2018-07-12
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 조용재 , 제갈원 , 조현모
IPC分类号： G01N21/21 , G01J4/00

10. 发明授权

KR101270260B1 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 물성 측정 방법 有权
标题翻译：光学器件 - 旋转椭圆仪及其使用的样品性质测量方法
公开(公告)号：KR101270260B1
公开(公告)日：2013-05-31
申请号：KR1020110081475
申请日：2011-08-17
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 조용재 , 제갈원 , 조현모
IPC分类号： G01N21/21 , H01L21/66 , G01J4/04
摘要： 본 발명은 특정한 편광성분을 갖고 있는 광이 시료에 입사되었을 때 입사광이 시료에 의해 반사 또는 투과되면서 발생하는 편광상태의 변화를 다수의 파장들에 대하여 측정 및 분석함으로써 시료의 물성 및 나노 패턴 형상 등의 정보를 실시간으로 얻어낼 수 있는 실시간 분광타원계측기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 실시간 분광타원계측기는 종래의 광소자 회전형 다채널 분광타원계측기들에서 광원 및 광검출기의 편광 의존성, 보상기의 파장 의존성, 노광량 측정횟수를 고정하여 사용함에 따른 적분시간 변경 제약의 문제점 등을 해결하기 위해 안출된 것으로서 종래의 기술 보다 정확하고 정밀하며 빠르게 시료의 특성을 측정할 수 있도록 구조와 기능이 개선된 장점을 갖고 있다. 본 발명에 따른 다채널 분광타원계측기는 종래 기술의 편광자 회전형 다채널 분광타원계측기들의 광경로 중에서 광원 이후에 정지상태의 편광자를 추가함으로서 광원을 선편광으로 만들어서 광원의 잔류편광 문제를 해결하고자 하였으며 종래 기술의 검광자 회전형 다채널 분광타원계측기들의 광경로 중에서 다채널 분광기 이전에 정지상태의 편광자를 추가로 설치하여 선편광된 광을 광검출기에 전달함으로써 광검출기의 편광 의존성 문제를 해결하고자 고안된 것이다. 또한, 본 발명은 측정주기 및 측정 주기당 노광량 측정수를 컴퓨터 소프트웨어로 빠르고 용이하게 변경할 수 있도록 디지털 신호 변조장치를 포함하며 측정된 푸리에 계수들 중에서 상대적으로 신호 대 잡음 비가 우수한 것을 제한적으로 선택하여 타원계측함수를 얻도록 함으로서 측정 정밀도가 향상되는 것을 특징으로 하는 다채널 분광타원계측기이다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式