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1. 发明授权

KR100810620B1 마이크로웨이브 플라즈마 방전에 의한 수소기체 제조방법 有权
标题翻译：通过微波等离子体放电生产氢气的方法
公开(公告)号：KR100810620B1
公开(公告)日：2008-03-06
申请号：KR1020050041100
申请日：2005-05-17
申请人： 한국기초과학지원연구원 , 주식회사 셈테크놀러지
发明人： 정용호 , 이봉주
IPC分类号： C01B3/02 , C01B3/06 , C01B3/22 , C01B3/50
CPC分类号： C01B3/342 , B01J19/088 , B01J2219/0869 , B01J2219/0875 , C01B3/045 , C01B3/22 , C01B3/24 , C01B2203/0266 , C01B2203/043 , C01B2203/0861 , Y02E60/364
摘要： 본 발명은 수소기체 제조장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 수소기체 제조장치는 a) 유전성 중공튜브, b) 상기 유전성 중공튜브를 소정의 감압분위기로 유지하는 감압수단, c) 마이크로웨이브 소스, d) 상기 마이크로웨이브 소스와 연계되고, 생성된 마이크로웨이브를 상기 유전성 중공튜브에 인가하는 도파관, e) 상기 유전성 중공튜브의 내부로 수소원소를 함유하는 기체를 공급하는 기체공급원 - 여기서, 상기 기체공급원으로부터 공급된 기체는 상기 도파관으로부터의 마이크로웨이브에 의해 플라즈마 방전을 경험하며, 열분해가 아니라 마이크로웨이브 플라즈마 방전에 의해 생성된 전자와 상기 수소원소를 함유하는 기체의 충돌에 의한 기체의 분자내 본드 끊음으로 수소기체를 함유하는 반응산물을 생성함, 및 f) 상기 반응산물로부터 수소기체를 분리하는 분리기를 포함하여 이루어진다. 상기 수소기체 제조장치는 간단한 설비를 갖고, 소규모의 수소기체를 간단하고 효율적으로 제공한다.

2. 发明公开

KR1020060118766A 마이크로웨이브 플라즈마 방전에 의한 수소기체 제조방법 有权
标题翻译：通过微波等离子体放电生产氢气的装置和方法
公开(公告)号：KR1020060118766A
公开(公告)日：2006-11-24
申请号：KR1020050041100
申请日：2005-05-17
申请人： 한국기초과학지원연구원 , 주식회사 셈테크놀러지
发明人： 정용호 , 이봉주
IPC分类号： C01B3/02 , C01B3/06 , C01B3/22 , C01B3/50
CPC分类号： C01B3/342 , B01J19/088 , B01J2219/0869 , B01J2219/0875 , C01B3/045 , C01B3/22 , C01B3/24 , C01B2203/0266 , C01B2203/043 , C01B2203/0861 , Y02E60/364
摘要： An apparatus and a method capable of producing hydrogen gas on a small scale in an efficient and continuous manner by microwave plasma discharge, and an apparatus and a method for producing hydrogen gas by breaking a bond between the hydrogen element and an element bonded to the hydrogen element in a gas containing a hydrogen element without performing the reforming process are provided. An apparatus(1) for producing hydrogen gas by microwave plasma discharge comprises: (a) a dielectric hollow tube(10); (b) a pressure reduction means(50) for maintaining the dielectric hollow tube in a predetermined reduced pressure atmosphere; (c) a microwave source(30); (d) a waveguide(40) linked with the microwave source to apply a generated microwave to the dielectric hollow tube; (e) a gas supply source(20) for supplying gas containing a hydrogen element into the dielectric hollow tube, wherein the gas supplied from the gas supply source undergoes plasma discharge by the microwave generated from the waveguide and generates a reaction product containing hydrogen gas by colliding electrons generated by microwave plasma discharge instead of pyrolysis with the gas containing hydrogen element, thereby breaking a bond within a molecule of the gas; and a separator(60) for separating hydrogen gas from the reaction product.
摘要翻译：能够通过微波等离子体放电以有效和连续的方式小规模生产氢气的装置和方法，以及通过断开氢元素和与氢键合的元素之间的键来制造氢气的装置和方法提供了含有氢元素的气体中的元素，而不进行重整过程。用于通过微波等离子体放电产生氢气的装置（1）包括：（a）电介质中空管（10）; （b）用于将电介质中空管保持在预定的减压气氛中的减压装置（50）; （c）微波源（30）; （d）与微波源连接的波导（40），以将产生的微波施加到电介质中空管; （e）用于将含有氢元素的气体供给到电介质中空管中的气体供给源（20），其中从气体供应源供应的气体通过由波导产生的微波进行等离子体放电，并产生含有氢气的反应产物通过与微波等离子体放电产生的电子碰撞而不是用含有氢元素的气体进行热解，从而破坏气体分子内的键; 和用于从反应产物中分离氢气的分离器（60）。

3. 发明授权

KR101869617B1 대기압 플라즈마 표면처리장치 有权
公开(公告)号：KR101869617B1
公开(公告)日：2018-07-23
申请号：KR1020160172942
申请日：2016-12-16
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 석동찬 , 최용섭 , 유승열 , 노태협 , 정용호 , 정현영
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/34
CPC分类号： H01J37/3244 , H01J37/32532 , H01J37/32669 , H05H2001/3431
摘要： 본발명은실리콘카바이드(SiC) 소재대상물의정밀한표면처리를위한대기압플라즈마표면처리장치에관한것이다. 본발명의실시예에따른대기압플라즈마표면처리장치는실리콘카바이드(SiC) 소재대상물의표면처리를위한대기압플라즈마표면처리장치로서, 제1플라즈마가공부그리고제2플라즈마가공부를포함한다. 여기서, 제1플라즈마가공부는플라즈마를발생하고, 발생되는플라즈마를대상물의처리면의전체영역에동시분사한다. 그리고, 제2플라즈마가공부는플라즈마를발생하고, 발생되는플라즈마를대상물의처리면의일정영역에집중분사한다.

4. 发明授权

KR101622320B1 이온 빔 공급 장치 및 이를 포함하는 고진공 정전기 제거 시스템 有权
标题翻译：用于提供离子束的装置和用于在高真空中移除静电的系统，包括装置
公开(公告)号：KR101622320B1
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：KR1020140072677
申请日：2014-06-16
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 이강일 , 최용섭 , 정용호 , 김영우 , 박종배
IPC分类号： H01J27/02 , H05F3/00
摘要： 이온빔 공급장치는플라즈마를발생시키거나발생된플라즈마를수용하는플라즈마수용부, 플라즈마수용부로플라즈마를주입하거나플라즈마소스가스를주입하는주입부, 플라즈마수용부와연결되어플라즈마를외부로배출하는차동펌프및 플라즈마수용부의플라즈마내의이온을진공계로가이드하는이온방출부를포함한다.

5. 发明授权

KR101583460B1 플라즈마를 이용한 액체처리 장치 有权
标题翻译：使用等离子的液体处理装置
公开(公告)号：KR101583460B1
公开(公告)日：2016-01-11
申请号：KR1020130056261
申请日：2013-05-20
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 석동찬 , 정용호 , 노태협
IPC分类号： C02F1/46 , H05H1/24
摘要： 플라즈마를이용한액체처리장치가개시된다. 본발명의일실시예에따른플라즈마를이용한액체처리장치는액체가저장되도록내부공간이형성되어있고, 상기액체가저장된용기; 상기액체에일부분이침수된, 하나이상의제1전극; 상기용기의하부에위치하고, 상기제1전극과이격된제2전극; 및상기제1전극과상기제2전극에각각연결되어, 상기제1전극과상기제2전사이에전압을인가하는전원공급부를포함하고, 상기제1전극과상기제2전극사이에상기전압이인가되는경우, 상기액체의표면위에존재하는기체에기초한플라즈마가발생되고, 상기액체로상기플라즈마가유입됨으로써상기액체를처리할수 있다.
摘要翻译：公开了使用等离子体的液体处理设备。根据本发明实施例的使用等离子体的液体处理设备包括：容器，其中形成内部空间以存储液体; 至少一个第一电极，其一部分浸没在液体中; 位于容器下方并与第一电极间隔开的第二电极; 以及电源单元，分别连接到第一电极和第二电极，用于在第一电极和第二转印之间施加电压，其中电压施加在第一电极和第二电极之间基于存在于液体表面上的气体产生等离子体，并且可以通过使等离子体流入液体来处理液体。

6. 发明授权

KR101535402B1 액체의 플라즈마 처리를 위한 장치 有权
标题翻译：液体等离子体处理装置
公开(公告)号：KR101535402B1
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：KR1020130007895
申请日：2013-01-24
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 석동찬 , 정용호 , 노태협
IPC分类号： C02F1/46 , H05H1/46
CPC分类号： C02F1/02 , C02F2303/04 , H05H1/46 , H05H2001/4667
摘要： 액체의플라즈마처리를위한장치가개시된다. 상기장치는액체의플라즈마처리를위한장치로서, 피처리수가저장되는내부공간을갖고, 상기피처리수가저장되면상기내부공간이밀폐되는처리수조; 상기처리수조의일면에유체소통가능하게연결된실린더; 상기실린더내를왕복운동하도록구성된피스톤; 및플라즈마발생원을포함하고, 상기피스톤은팽창운동하여상기피처리수의수면과인접하는공간내에포화증기기체공간을형성하고, 상기플라즈마발생원은상기포화증기기체공간에플라즈마를발생시킨다.

7. 发明公开

KR1020150006604A 액체 플라즈마 토치 발생장치 有权
标题翻译：用于生产液体等离子喷枪的装置
公开(公告)号：KR1020150006604A
公开(公告)日：2015-01-19
申请号：KR1020130080184
申请日：2013-07-09
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 석동찬 , 노태협 , 정용호 , 유승민 , 유승열 , 박준석 , 홍은정
IPC分类号： H05H1/26
CPC分类号： H05H1/2406 , H05H2001/2412 , H05H2001/2456
摘要： 액체 플라즈마 토치 발생장치가 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 액체 플라즈마 토치 발생장치는 제1전극; 제2전극; 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 위치하는 제1유전체; 및 상기 제1전극, 상기 제2전극 및 상기 제1유전체를 관통하는 유로를 포함하고, 상기 제1전극과 상기 제2전극에 전압이 인가되는 경우 상기 유로를 통과하는 전도성 액체를 기초로하여 플라즈마를 발생시킨다.
摘要翻译：公开了一种用于产生液体等离子体焰炬的装置。根据本发明的实施例，用于产生液体等离子体焰炬的装置包括：第一电极; 第二电极; 位于所述第一电极和所述第二电极之间的第一电介质; 以及通过第一电极，第二电极和第一电介质的流路。当电压施加到第一电极和第二电极时，该装置基于通过流路的导电液体产生等离子体。

8. 发明授权

KR101478730B1 액체 플라즈마 발생 장치 有权
标题翻译：用于生成液体中的等离子体的装置
公开(公告)号：KR101478730B1
公开(公告)日：2015-01-02
申请号：KR1020130089622
申请日：2013-07-29
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 석동찬 , 노태협 , 정용호 , 유승민 , 유승열 , 박준석 , 홍은정
IPC分类号： H05H1/24 , H05H1/34
CPC分类号： H05H1/46 , C02F1/4608 , H01J37/3244 , H01J2237/335 , H05H2001/469 , Y02C20/30 , Y02W30/20
摘要： 액체 플라즈마 발생 장치가 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 액체 플라즈마 발생 장치는 제1전극을 포함하고, 액체가 저장되어 있으며, 유전체로 이루어진 제1저장부; 제2전극을 포함하고, 액체가 저장되어 있으며, 유전체로 이루어진 제2저장부; 상기 제1저장부와 상기 제2저장부를 서로 연결하고, 일 측에 개구가 형성되어 있는 유로; 및 상기 제1전극과 상기 제2전극에 전압을 인가하는 전원부를 포함하고, 상기 제1전극과 상기 제2전극에 전압이 인가되는 경우, 상기 유로를 통과하는 액체를 기초로하여 플라즈마를 발생시켜 발생된 플라즈마가 상기 유로의 개구를 통하여 배출된다.
摘要翻译：提供一种用于在液体中产生等离子体的装置。根据本发明的实施例的用于在液体中产生等离子体的装置包括：第一存储单元，其包括第一电极，储存液体并包括电介质材料; 第二存储单元，其包括第二电极，储存液体并包括电介质材料; 以及将第一存储单元和第二存储单元彼此连接并在一侧形成孔的流路; 以及用于向第一和第二电极施加电压的电源单元。当电压施加到第一和第二电极时，该装置产生通过流路的液体的等离子体，并且通过流路的孔排出等离子体。

9. 发明公开

KR1020140110448A 리튬 전이 금속 산화물을 Ｆ 패시베이션 시키는 방법 有权
标题翻译：用于处理过渡金属氧化物的方法
公开(公告)号：KR1020140110448A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：KR1020130024765
申请日：2013-03-08
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 정용호 , 석동찬 , 정현영
IPC分类号： C01D15/00 , B01J19/12 , H01M10/052
CPC分类号： C01D15/02 , B01J19/088 , B01J19/2415 , B01J2219/0886 , B01J2219/0894 , H01M4/0421 , H01M4/0438 , H01M4/131 , H01M4/1391 , H01M4/362 , C01D15/00 , B01J19/12 , H01M4/485 , H01M4/58 , H01M10/052
摘要： The present invention relates to a method for F-passivating a lithium transition metal oxide, comprising the steps of (a) preparing a lithium transition metal oxide in powder or bulk form; (b) generating plasma by using raw gas including fluorine; and (c) processing the lithium transition metal oxide by using the plasma.
摘要翻译：本发明涉及一种用于F-钝化锂过渡金属氧化物的方法，包括以下步骤：（a）制备粉末或块状形式的锂过渡金属氧化物; （b）使用包含氟的原料气生成等离子体; 和（c）使用等离子体处理锂过渡金属氧化物。

10. 发明公开

KR1020140097768A 원격 플라즈마 처리용 소스 有权
标题翻译：远程等离子体处理源
公开(公告)号：KR1020140097768A
公开(公告)日：2014-08-07
申请号：KR1020130010227
申请日：2013-01-30
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 최용섭 , 정용호 , 노태협 , 석동찬 , 박현재 , 유승열
IPC分类号： H05H1/24 , H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32357
摘要： The present invention relates to a remote plasma treatment source. According to an embodiment of the present invention, a remote plasma treatment source includes: a body; a nozzle to inject radicals connected to the radical outlet of the body; and an AC power source for plasma generation. According to an embodiment of the present invention, an electrode and a dielectric are installed in the plasma generation space of the body.
摘要翻译：本发明涉及远程等离子体处理源。根据本发明的实施例，远程等离子体处理源包括：主体; 用于注入连接到身体的根部出口的自由基的喷嘴; 以及用于等离子体产生的AC电源。根据本发明的实施例，电极和电介质安装在身体的等离子体产生空间中。

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