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    • 5. 发明授权
    • 강유전체 나노도트 소자 및 그 제조방법
    • 铁电纳米点阵列及其制造方法
    • KR101231564B1
    • 2013-02-15
    • KR1020110024685
    • 2011-03-21
    • 한국과학기술원
    • 노광수김지윤홍종인박문규김동진
    • H01L21/8247H01L29/66
    • 본 발명은 TiO
      2 나노도트 배열 박막과 PbO 증기를 반응시켜 생성한 PbTiO
      3
      나노도트를 이용한 강유전체 나노도트 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 절연물질로 이루어진 기판, 기판 상면에 형성된 하부 전극, 하부 전극 상면의 일부 영역에 구 형상으로 형성된 나노도트, 나노도트 표면에 형성된 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
      나아가, 구 형상으로 형성된 나노도트는 PbTiO
      3 로 이루어지는 것을 특징으로 하며, Pb(ZrTi)TiO
      3 또는 BiTiO
      3 로 형성할 수 있다. 이 나노도트는 하부 전극 상면에 점 접촉하는 것을 특징으로 한다.
      나아가, 본 발명에 따른 강유전체 나노도트 소자의 제조방법은 기판을 준비하는 단계, 기판 상면에 하부 전극을 형성하는 단계, 공중합체(Copolymer) 용액과 졸겔(Sol-gel) 용액을 혼합해 솔루션 용액을 형성하는 단계, 솔루션 용액을 하부 전극 상면에 도포하고, 교질 입자 박막을 형성하는 단계, 교질 입자 박막이 증착된 기판을 건조하고, 템플레이트를 제거하여, TiO
      2
      나노도트를 형성하는 단계
      , 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 템플레이가 제거된 TiO
      2
      나노도트 배열 박막에서 PbTiO
      3 나노도트를 형성하는 단계 및 PbTiO
      3 나노도트 상면에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.