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    • 2. 发明授权
    • 감광성 폴리이미드 전구체 및 그 제조방법
    • 光敏聚酰亚胺前体及其制备方法
    • KR100242684B1
    • 2000-03-02
    • KR1019970077719
    • 1997-12-30
    • 학교법인 포항공과대학교
    • 이문호김경준표승문
    • G03F7/037
    • 본 발명은 감광성 폴리이미드 전구체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 상기 감광성 폴리이미드 전구체는 화학식 1로 표시된다.

      상기식중, R
      1 은 CH
      2 =C(R
      4 )-COO(CH
      2 )
      K -이고(여기에서, R
      4 는 수소 또는 알킬기이고, k는 1 내지 10의 수임), R
      2 는 하기 구조식으로 표시되고,

      상기식중, Y
      1 , Y
      2 , Y
      3 , Y
      4 , Y
      5 , Y
      6 , Y
      7 및 Y
      8 은 서로에 관계없이 수소, (CH
      2 )
      m -(CF
      2 )
      l -CH
      2 F, (CH
      2 )
      m -(CF
      2 )
      l -CHF
      2 또는 (CH
      2 )
      m -(CF
      2 )
      l -CF
      3 이고(단, m은 0 내지 1의 수이고, l은 0 내지 10의 수임), R
      3 은 탄소수 1 내지 20의 지방족 탄화수소기 또는 탄소수 6 내지 30의 방향족 탄화수소이고, x/(x+y)=0.1∼1.0이다. 본 발명에 따른 감광성 폴리이미드 전구체는 종래의 폴리이미드 전구체에 비하여 감도가 개선될 뿐만 아니라, 이미드화 과정 전후로 수축율이 감소된다. 본 발명의 폴리이미드 전구체로부터 형성된 폴리이미드 절연막은 종래의 경우에 비하여 분해능 및 내구성이 개선될 뿐만 아니라, 유전상수, 열팽창계수 및 잔류응력이 낮고, 기계적 성질을 비롯한 물리적 특성이 우수하다.
    • 3. 发明公开
    • 감광성 폴리이미드 전구체 및 그 제조방법
    • 感光性聚酰亚胺前体及其制造方法
    • KR1019990057654A
    • 1999-07-15
    • KR1019970077719
    • 1997-12-30
    • 학교법인 포항공과대학교
    • 이문호김경준표승문
    • G03F7/037
    • 본 발명은 감광성 폴리이미드 전구체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 상기 감광성 폴리이미드 전구체는 화학식 1로 표시된다.

      상기식중, R
      1 은 CH
      2 =C(R
      4 )-COO(CH
      2 )
      K -이고(여기에서, R
      4 는 수소 또는 알킬기이고, k는 1 내지 10의 수임), R
      2 는 하기 구조식으로 표시되고,

      상기식중, Y
      1 , Y
      2 , Y
      3 , Y
      4 , Y
      5 , Y
      6 , Y
      7 및 Y
      8 은 서로에 관계없이 수소, (CH
      2 )
      m -(CF
      2 )
      l -CH
      2 F, (CH
      2 )
      m -(CF
      2 )
      l -CHF
      2 또는 (CH
      2 )
      m -(CF
      2 )
      l -CF
      3 이고(단, m은 0 내지 1의 수이고, l은 0 내지 10의 수임), R
      3 은 탄소수 1 내지 20의 지방족 탄화수소기 또는 탄소수 6 내지 30의 방향족 탄화수소이고, x/(x+y)=0.1∼1.0이다. 본 발명에 따른 감광성 폴리이미드 전구체는 종래의 폴리이미드 전구체에 비하여 감도가 개선될 뿐만 아니라, 이미드화 과정 전후로 수축율이 감소된다. 본 발명의 폴리이미드 전구체로부터 형성된 폴리이미드 절연막은 종래의 경우에 비하여 분해능 및 내구성이 개선될 뿐만 아니라, 유전상수, 열팽창계수 및 잔류응력이 낮고, 기계적 성질을 비롯한 물리적 특성이 우수하다.