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1. 发明授权

KR102151172B1 팬듈럼 게이트 밸브 有权
公开(公告)号：KR102151172B1
公开(公告)日：2020-09-02
申请号：KR1020180145522
申请日：2018-11-22
申请人： 프리시스 주식회사
发明人： 최기선 , 김상민 , 이재민 , 문재만
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/314 , F16K31/12 , F16K51/02

2. 发明授权

KR101725249B1 진공밸브 有权
标题翻译：真空阀
公开(公告)号：KR101725249B1
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：KR1020140165234
申请日：2014-11-25
申请人： 프리시스 주식회사
发明人： 김배진 , 최기선
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： F16K1/425 , F16K1/36 , F16K1/52 , F16K3/0254 , F16K3/184 , F16K27/0236
摘要： 본발명은진공밸브에관한것으로서, 본발명은상술한문제점을해결하고자안출된것으로서, 본발명의목적은구동블럭양측면에돌출홈구간및 제 1, 2 경사홈구간이포함되는개폐구동가이드홈을형성하고, 엘모션블럭(L-Motion Block)에개폐구동가이드홈에인입되어이동가능한엘모션롤러(L-Motion Roller)를형성하여, 엘모션롤러(L-Motion Roller)가제1 경사홈구간의말단부에위치하게되면, 밸브블레이드의일측면이유입부를폐쇄하고, 엘모션롤러(L-Motion Roller)가제2 경사홈구간의말단부에위치하게되면, 밸브블레이드의일측면이밸브하우징내부면에밀착되어밸브블레이드폐쇄면에구비된패킹링이공기및 유체로부터접촉되는것을원천적으로차단됨으로써, 패킹링의제품성을증진시켜패킹링의교체주기가연장되는것이특징이다.
摘要翻译：本发明涉及一种真空阀，在本发明作为被为了解决上述问题而作出的，本发明的目的被挤压在驱动块槽部的两侧，并且所述第一和第二倾斜槽区段包括打开和关闭驱动器引导槽形成，并在导入开闭驱动导向槽埃尔运动块（L-运动块），以形成一个可移动的埃尔运动辊（L-运动辊），埃尔运动辊（L-运动辊）的倾斜槽部的纱布1 当位于远端，关闭阀叶片入口部，埃尔运动辊（L-运动辊）位于倾斜槽部的远端纱布2，在与内表面的阀壳体紧密接触的刀形开关阀的一侧的一侧时是其特征在于在阀叶片提供一个填密环通过被固有地阻止空气和流体的接触，提高了密封环的产物是封闭侧延伸可互换密封环周期。

3. 发明公开

KR1020160130574A 진공밸브용 블레이드 有权
标题翻译：真空阀叶片
公开(公告)号：KR1020160130574A
公开(公告)日：2016-11-14
申请号：KR1020150062475
申请日：2015-05-04
申请人： 프리시스 주식회사
发明人： 김배진 , 최기선 , 김상민 , 김강현
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/16
CPC分类号： F16K3/18 , F16K3/02 , F16K3/16 , F16K31/122 , F16K51/02
摘要： 본발명은밸브하우징(10) 내부의이동공간(11)에구비되어, 구동부재(30)의작동여부에따라이동통로부(12)를개폐시키는진공밸브용블레이드(1)에있어서, 판형상으로형성되어그 일측면이상기이동통로부(12)와접촉되되, 타측면에나사결합부(110, 110`)가각각형성되고, 상기나사결합부(110, 110`)의외측둘레에는제1 탄성부재(300, 300`)의일측면이안착되도록제1 탄성부재안착부(120, 120`)가각각형성되는개폐판(100);과, 상기개폐판(100) 타측면에하나이상구비되되, 상기제1 탄성부재(400, 400`)의타측면이안착되도록제2 탄성부재안착부(211, 211`)가형성되는접촉돌출부(210, 210`)가각각형성되고, 상기접촉돌출부(210, 210`) 내부에는연결유닛(400, 400`)이삽입되도록연결부(220, 220`)가각각형성되는샤프트연결바(200);와, 상기제1 탄성부재안착부(120, 120`)와제2 탄성부재안착부(211, 211`) 사이에각각구비되어상기개폐판(100)과샤프트연결바(200)가탄성적으로연결되는것을가이드하는제1 탄성부재(300, 300`);와, 상기연결부(220, 220`)에각각삽입되어상기개폐판(100)의타측면과연결되는연결유닛(400, 400`);으로구성되는것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明包括：开闭板，其形成为板状，并且具有与移动通道部分接触的一个侧表面，形成在另一侧表面上的螺纹联接部分和位于外侧的第一弹性部件安置部分螺纹连接部的周面，以使第一弹性部件的一个侧面位于其上; 设置在所述开闭板的另一侧面上的至少一个轴连杆，具有接触突起部，所述接触突起部具有形成为允许所述第一弹性部件的另一侧表面位于其上的第二弹性部件座部，连接部，其形成在所述接触突起部中，使得连接单元插入; 所述第一弹性构件设置在所述第一弹性构件座部和所述第二弹性构件支座部之间，以引导所述开闭板和所述轴连接杆之间的弹性连接; 并且所述连接单元插入到所述连接部分中，以便连接到所述开闭板的另一个侧表面。

4. 发明公开

KR20180045260A 저기압을 이용한 파우더 배출라인부가 구비된 밸브 有权
公开(公告)号：KR20180045260A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：KR20160139163
申请日：2016-10-25
申请人： 프리시스 주식회사
发明人： 김배진 , 최기선 , 김상민 , 정규재
IPC分类号： H01L21/02 , F16K1/34 , F16K51/02 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/02046 , F16K1/34 , F16K51/02 , H01L21/67005 , H01L21/67034
摘要： 본발명은공정챔버내 클린공정시, 진공펌프방향으로 1차에어배출하는본체부를구성하고, 1차에어배출후, 오리피스구조를통해공정챔버내 표준기압을저기압으로낮춰공정챔버내 잔량의이물질의이동을진공펌프방향으로유도하여 2차에어배출하는배출라인부를구성함으로써, 공정챔버및 슬릿밸브내측에이물질이침착되지않고공정챔버내의이물질의제거율을상승시켜공정불량률을저하시킬수 있다는장점이있다.

5. 发明公开

KR1020170014742A 양방향 게이트밸브 有权
标题翻译：双向驱动闸阀
公开(公告)号：KR1020170014742A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：KR1020150108583
申请日：2015-07-31
申请人： 프리시스 주식회사
发明人： 김배진 , 최기선 , 김강현 , 김상민
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/314 , F16K3/18 , F16K51/02 , H01L21/02
CPC分类号： F16K3/02 , F16K3/18 , F16K3/314 , F16K51/02 , H01L21/02
摘要： 본발명은전면과후면이각각개구된제1, 2이동공(110, 120)이형성된밸브하우징(100) 내부에설치되어각각의상기이동공(110 ,120)을개폐시키는블레이드(200);와, 상기블레이드(200)의하부에결합되는샤프트(300);와, 상기밸브하우징(100)의하부에구비되되, 상기샤프트(300)가삽입되는제1 실린더(410)와, 상기제1 실린더(410) 내부에설치되되, 상기샤프트(300)의하부와결합되어상기제1 실린터(410) 내부의압력변화에따라상기샤프트(300)를상, 하방향으로이동시키는제1 피스톤(420)과, 그양외측면에상기블레이드(200)의수평이동을가이드하는수평이동가이드롤러(430, 430`)가각각이 구비되는제1 구동블럭(400);과, 상기제1 구동블럭(400)의하부에상, 하방향으로이동가능하게결합되되, 그양내측면에상기수평이동가이드롤러(430, 430`)가각각삽입되어상, 하방향이동에따라상기블레이드(200)의수평방향이동을안내하는수평이동가이드홈(510, 510`)이각각형성되는제2 구동블럭(500);과, 상기제2 구동블럭(500) 하부에형성되되, 그내부에각각의독립적인공간으로이루어진제1, 2 안착부(610, 620)와, 상기제1 안착부(610)에는상기제2 구동블럭(500)과결합되어상기제1 안착부(610) 내부의압력변화에따라상기제2 구동블럭(500)을상, 하방향으로이동시키는제2 피스톤(611)과, 상기제2 안착부(620)에는상, 하방향으로이동가능하게설치되되, 상기제2 피스톤(611)의하방향의이동을제한하는이동제한부재(621)가형성되는제3 구동블럭(600);과, 상기밸브하우징(100) 하부에형성되어상기제1, 2, 3 구동블럭(400, 500 ,600)을수용하는본체브라켓(700);으로구성되는것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明的特征在于包括：安装在前表面和后表面中的阀壳体（100）内的叶片（200），其中分别形成有第一和第二移动孔（110,120），叶片（200），用于打开和关闭每个移动孔（110,120）; 联接到所述叶片（200）的下部的轴（300）; 第一驱动块（400），其设置在所述阀壳体（100）的下部，并且设置有插入所述轴（300）的第一缸体（410），安装在所述第一缸体内的第一活塞（420） 410），其连接到所述轴（300）的底部，并且根据所述第一气缸（410）内的压力变化向上和向下移动所述轴（300），并且水平移动的导辊（430,430'）分别设置在所述第一驱动块的两个外侧表面上以引导所述叶片（200）的水平移动; 第二驱动块（500），其能够向上和向下移动到第一驱动块（400）的底部并具有水平移动的引导凹槽（510,510'），用于引导叶片的水平运动根据插入到所述移动引导凹部中的所述水平移动的导辊（430,430'）的向上和向下的移动，分别在其两个内侧表面中形成所述两个内侧表面; 第三驱动块（600），形成在第二驱动块（500）的底部上并且包括在其中分别形成分开的空间的第一和第二底座部分（610,620）;联接到第二驱动块（500），并且根据第一座部（610）内的压力变化使第二驱动块（500）向上和向下移动;以及移动限制构件（621），安装在第二座部座部（620）能够上下移动并限制第二活塞（611）的向下运动; 以及形成在所述阀壳体（100）的底部并且容纳所述第一，第二和第三驱动块（400,500,600）的主体托架（700）。

6. 发明授权

KR101207844B1 진공 밸브 有权
标题翻译：真空阀
公开(公告)号：KR101207844B1
公开(公告)日：2012-12-04
申请号：KR1020100113587
申请日：2010-11-15
申请人： 프리시스 주식회사
发明人： 김배진 , 최기선 , 김강현 , 이형곤 , 김상민
IPC分类号： F16K51/02 , F16K37/00
摘要： 본발명은진공밸브에관한것으로, 하부에공정가스가유입되는유입부(111)가형성되어있고, 측면하부에공정가스가유출되는유출부(112)가형성되어있으며, 내부중앙에상기유입부(111) 및상기유출부(112)와연통하는공간부(113)가형성되어있고, 상기공간부(113)와연통하여상부로샤프트통공(114)이형성되어있는본체(110);와, 상기공간부(113)에설치되며, 중앙에밸브샤프트공(121)이형성되어있는실링플레이트(Sealing Plate)(120);와, 상기밸브샤프트공(121)에삽입되어설치되며, 밸브구동수단(150)에의해상/하로구동되는밸브샤프트(130);와, 상기밸브샤프트(130)의하부에결합되며, 상면에는개방진공실링(143)이입설되어있으며, 하면에는상기유입부(111)를밀폐할수 있는폐쇄진공실링(142)이입설되어있어, 상/하구동에따라상기유입부(111)와상기유출부(112)를서로개방하거나폐쇄하는밸브블레이드(140);를포함하여구성되는것을특징으로하는진공밸브(100)에관한것이다. 본발명에의하는경우, 누기방지부위를본체가아닌실링플레이트에형성하고, 밸브블레이드상단에그리스등의윤활제의누설을방지하는환형함입홈이형성되는구성에의해, 공정가스와그리스등의윤활제의접촉을원천적으로차단하여, 공정가스와그리스등의윤활제의반응생성물에의한공정가스의오염이나융착에따른구동및 기밀유지의곤란을원천적으로방지할수 있다는특징이있다. 또한, 작동부위인밸브블레이드와실링플레이트사이에, 개방구동에의해압착되는개방진공실링에의해더욱효과적인누기방지가가능한것은물론, 밸브샤프트를통해묻어나올수 있는이물질에대하여환형함입홈이버퍼(buffer)의역활을하여공간부로의유출을방지할수 있다는장점이있다. 한편, 센서샤프트를밸브샤프트에탈착가능하도록체결하는것이가능하도록하는구성에의해, 효율적인정비및 운영이가능하다는장점이있다

7. 发明授权

KR101872881B1 게이트밸브용 블레이드 有权
公开(公告)号：KR101872881B1
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：KR1020160139164
申请日：2016-10-25
申请人： 프리시스 주식회사
发明人： 김배진 , 최기선 , 김강현
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/314 , F16K49/00 , F16K37/00 , F16K51/02 , H01L21/677
摘要： 본발명은제1 하우징플레이트내측에설치되는온도센서부를수직형와이어타입으로형성함으로써, 온도센서부를교체하거나수리할경우, 온도센서부만탈거가능하여교체작업이간소화된다는장점이있다.

8. 发明授权

KR101784839B1 양방향 게이트밸브 有权
标题翻译：双向闸阀
公开(公告)号：KR101784839B1
公开(公告)日：2017-11-06
申请号：KR1020150136296
申请日：2015-09-25
申请人： 프리시스 주식회사 , 피에스케이 주식회사
发明人： 김배진 , 최기선 , 김강현 , 김상민 , 서선열
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/314 , F16K3/316 , F16K27/04 , F16K51/02
CPC分类号： F16K3/184 , F16K3/0218 , F16K3/0281 , F16K3/029 , F16K3/182 , F16K3/314 , F16K3/3165 , F16K51/02
摘要： 본발명은전면과후면이각각개구된제1, 2 이동통로(110, 120)가형성되는상부하우징(100);와, 상기상부하우징(100) 내부에설치되고, 하부에서상부로이동하여상기제1 이동통로(110)를개폐시키는제1 블레이드(200);와, 상기제1 블레이드(200) 하부에결합되는제1 샤프트(300);와, 상기상부하우징(100) 하부에형성되되, 양내측면에는제1 블레이드(200)가폐쇄방향(C)으로향하는과정에서엘모션블럭(500)의정위치회전을가이드하는회전가이드홈(410)이각각형성되는하부하우징(400);과, 상기하부하우징(400) 내부에설치되고상기제1 샤프트(300) 하부와결합되되, 상부양측에상기회전가이드홈(410)에각각삽입되는제1 롤러(510)와, 하부에상기무빙유닛(600)과연결되는결합부(520)가형성되는엘모션블럭(500);과, 중앙에회전가능한링크(610)가형성되되, 상기링크(610)의일측은상기결합부(520)에연결되고, 상기링크(610)의타측은구동부(700)와연결되어상기엘모션블럭(500)을회전시키는무빙유닛(600);과, 상기링크(610)에연결되어상기엘모션블럭(500)을수직이동시키는제1 구동부();와, 상기상부하우징(100) 내부에설치되고, 상부에서하부로이동하여상기제1, 2 이동통로(110, 120)를동시에개폐시키되, 상기제1, 2 이동통로(110, 120)를폐쇄하는과정에서그 양측에각각형성된밀폐판(820)이외측방향으로벌어져상기제1, 2 이동통로(110, 120)를각각밀폐시키는제2 블레이드(800);와, 상기제2 블레이드(800) 상부에결합되는제2 샤프트(900);와, 상기상부하우징(100) 상부에형성되되, 상기제2 샤프트(900)와연결되어상기제2 블레이드(900)를수직이동시키는제2 구동부(1000);로구성되는것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明涉及一种上部壳体（100），其中形成具有前部和后部开口的第一和第二移动通道（110,120）联接到第一叶片200的下部以打开和关闭第一移动通道110的第一轴300以及联接到上部壳体100的下部的第二轴200，下部壳体400中形成有用于在第一叶片200的闭合方向C上形成用于引导电动块500的旋转的旋转引导槽410，第一辊子510安装在下壳体400中并且联接到第一轴300的下部并且在上部的两侧插入到旋转引导槽410中，并且可旋转连杆610形成在连杆块610的中心处。连杆610的侧面连接到接合部分520 连接到连杆单元610并连接到驱动单元700以旋转伸长块500的移动单元600和连接到连杆610的可移动单元500，垂直移动的第一驱动单元（）;所述第一，被设置在内侧，并且上壳体100，sikidoe开放并通过在同一时间从顶部移动到第一和第二流动通道（110，120）的底部附近，第二叶片800在沿着形成在两个通道110和120的两侧上的密封板820之外的方向上延伸的同时气密地密封第一移动通道110和第二移动通道120，联接到第二叶片800的上部的第二轴900和联接到第二轴900以联接到第二叶片900的第二轴900，以及用于垂直移动驱动单元1000的第二驱动单元1000。

9. 发明授权

KR101725251B1 진공밸브 有权
标题翻译：真空阀
公开(公告)号：KR101725251B1
公开(公告)日：2017-04-11
申请号：KR1020150062477
申请日：2015-05-04
申请人： 프리시스 주식회사
发明人： 김배진 , 김상민 , 최기선 , 김강현
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/18
CPC分类号： F16K3/184 , F16K3/02 , F16K3/0218 , F16K3/0254 , F16K3/18 , F16K51/02
摘要： 본발명은내측에구동공간(110)이형성되고, 양측면에는대상물이이동되도록이동통로부(120, 120`)가각각타공형성되는밸브하우징(100);과, 상기구동공간(110)에설치되어내측으로부터상기이동통로부(120)를개폐하는블레이드(200);와, 상기블레이드(200) 후면에결합되는메인샤프트(300);와, 상기밸브하우징(100) 하부에형성되되, 내부에공압에의해상, 하방향으로이동되는제1 피스톤(410)과상기메인샤프트(300)가연결되어상기블레이드(200)를상, 하방향으로이동시키는수직이동부(400);와, 상기수직이동부(400) 하부에결합되되, 양측면에수직방향으로각각타공형성되는수직이동가이드홈(510, 510`)이구비되는수평이동부(500);와, 상기수평이동부(500) 내부에구비되되, 공압에의해상, 하방향으로이동되는제2 피스톤(610)와, 상기제2 피스톤(610) 하부에형성되는이동가이드블럭(620)과, 상기이동가이드블럭(620) 양측에형성되어상기수직이동가이드홈(510, 510`)을각각통과하는캠롤러(630, 630`)가구비되는수평이동유닛(600);과, 상기밸브하우징(100) 하부에상기수직이동부(400)와수평이동부(500)가수용되도록형성되되, 양내측면에는상기수직이동가이드홈(510, 510`)으로부터통과된상기캠롤러(630, 630`)가삽입되어상기수평이동유닛(600)의상, 하이동에따라상기블레이드(200)가전, 후방향으로이동되는것을가이드하는개폐유도홈(710, 710`)이각각경사지게형성되는본체브라켓(700)이구성되는것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明是在内侧上的可释放的驱动空间110，相反侧的阀壳体100，其目标移动路径部被移动（120，120“），每个形式穿孔gagak;以及装于所述驱动器空间（110）联接到叶片200的后表面的主轴300以及形成在阀壳体100的下部并且具有气动的阀构件300 垂直运动部分400，用于通过与主轴300和沿叶片200的向下方向和向下方向运动的第一活塞410联接而沿向下方向移动叶片200; 与水平移动部分500的下部连接的水平移动部分500以及在其两侧上垂直方向上形成的垂直移动导向凹槽510和510' 向下方向移动至气压的第二活塞610，形成于第二活塞610下方的移动引导块620，水平运动单元600形成在运动导向块620的两侧并容纳在垂直运动导向槽510和510'中并容纳凸轮辊630和630'， 100，所述凸轮滚柱（630，630`）从通过形成在所述下部部分上，使得在垂直于ET 400 ET华数平原500，歌手，yangnae侧，垂直运动导向槽（510，510`）根据水平移动单元600的向上和向下移动来引导叶片200在向前和向后方向上的移动的引导支架700和引导支架710和710'是倾斜的，等等。

10. 发明公开

KR1020120052112A 웨이퍼이동통로에 파우더 침착의 방지가 가능한 게이트밸브 有权
标题翻译：省略
公开(公告)号：KR1020120052112A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：KR1020100113586
申请日：2010-11-15
申请人： 프리시스 주식회사
发明人： 김배진 , 최기선 , 김강현 , 이형곤 , 김상민
IPC分类号： F16K51/02 , F16K51/00 , F16K3/00
摘要： PURPOSE: A gate valve capable of preventing powder deposition in a wafer moving passage is provided to reduce fraction defective of products through a wafer etching process by preventing the deposition of foreign materials. CONSTITUTION: A gate valve(1) capable of preventing powder deposition in a wafer moving passage comprises a housing(100), an air inlet pipe(121), an air inlet hole, and an air discharge flow channel(124). The housing having each wafer moving passage(101,102) in front and rear sides is installed between a processing chamber and a vacuum chamber. The housing has a hollow part in which a blade(5) for opening and closing the wafer moving passage moves up and down and forth and back. The air inlet pipe is installed in a through-hole and air flows into the air inlet pipe from the outside. The air inlet hole is formed at the bottom of the blade and is connected with the air inlet pipe. The air discharge flow channel is formed inside the blade. One end of the air discharge flow channel is connected with the air inlet hole so that the air can flow in.
摘要翻译：目的：提供能够防止晶片移动通道中的粉末沉积的闸阀，以通过防止异物沉积来减少通过晶片蚀刻工艺的产品缺陷。构成：能够防止晶片移动通道中的粉末沉积的闸阀（1）包括壳体（100），进气管（121），进气孔和排气流动通道（124）。在前后两侧具有各个晶片移动通道（101,102）的壳体安装在处理室和真空室之间。壳体具有中空部分，用于打开和关闭晶片移动通道的叶片（5）上下移动。进气管安装在通孔中，空气从外部流入进气管。进气孔形成在叶片的底部并与进气管连接。排气流路形成在叶片的内部。排气流路的一端与进气孔连接，使空气流入。

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