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2. 发明公开

KR1020160148481A 노광 장치 및 물품의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：曝光装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160148481A
公开(公告)日：2016-12-26
申请号：KR1020160074868
申请日：2016-06-16
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 사노히로타카 , 야마모토테츠야
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70558 , G03F7/201 , G03F7/2004 , G03F7/70008 , G03F7/70266 , G03F7/70758
摘要： 본발명은, 회전셔터와, 상기회전셔터의회전속도와, 그회전속도로, 상기회전셔터의회전을정지시키지않고, 상기회전셔터가빛을차광하는제1상태, 상기회전셔터가상기빛을통과시키는제2상태, 상기제1상태의순서로이행하도록, 상기회전셔터를회전시켰을때의기판의노광량간의관계를나타내는제1정보에근거하여, 숏영역에대한노광처리에있어서의상기기판의노광량이목표노광량과일치하도록, 상기회전셔터의회전속도를제어하는제어부를구비한노광장치를제공하고, 상기제어부가, 상기빛의조도의변화에관한제2정보에근거하여상기제1정보를갱신한다.
摘要翻译：本发明提供了一种曝光装置，包括旋转快门和控制单元，该控制单元被配置为基于在拍摄区域的曝光处理中基于目标曝光量来控制旋转快门的旋转速度，以使基板上的曝光量与曝光量相匹配第一信息指示当旋转快门以旋转速度旋转时旋转快门的旋转速度与基板上的曝光量之间的关系，而不停止旋转快门的旋转，从而从第一状态旋转快门将光遮蔽到第二状态，其中旋转快门通过光然后回到第一状态，其中控制单元基于关于光的照度变化的第二信息来更新第一信息。

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