专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR102030885B1 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102030885B1
公开(公告)日：2019-10-10
申请号：KR1020160114272
申请日：2016-09-06
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 나카가와가즈키
IPC分类号： G03F7/00 , H01L21/027 , G03F7/20 , G03F9/00

2. 发明公开

KR1020150044819A 임프린트 장치 그리고 물품을 제조하는 방법 有权
标题翻译： IMPRINT APPARATUS，AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE
公开(公告)号：KR1020150044819A
公开(公告)日：2015-04-27
申请号：KR1020140139682
申请日：2014-10-16
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 무라카미요스케 , 하야시다츠야 , 나카가와가즈키
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/324
CPC分类号： G03F7/0002 , B29K2101/00 , B29L2031/001 , H01L21/0274
摘要： 본발명은, 몰드를사용함으로써기판상에패턴을형성하는임프린트처리를수행하는임프린트장치에있어서, 기판상의임프린팅될영역을가열하고그에의해영역을변형시키도록구성되는가열유닛과; 임프린팅될제1 영역및 제2 영역으로부터하나의영역을먼저임프린팅될영역으로서결정하고후속적으로임프린팅될영역으로서다른영역을결정하도록구성되는처리유닛을포함하고, 가열유닛이하나의영역을변형시키는경우에서의다른영역에대한영향이가열유닛이다른영역을변형시키는경우에서의하나의영역에대한영향보다작은, 장치를제공한다.
摘要翻译：在本发明中提供的是一种设备，其是通过使用模具执行在基板上形成图案的压印处理的设备，所述模具包括加热单元，加热要被印刷的基板上的区域，并且形成为将该区域改变为相同 ; 以及处理单元，其形成为从要首先被印刷的区域的第一区域和第二区域确定一个区域，并且将另一区域确定为之后要被印刷的区域，其中对另一个区域的影响在加热单元转换一个区域的情况下的区域小于在加热单元转换另一区域的情况下对区域的影响的区域。

3. 发明授权

KR102115879B1 임프린트 장치, 그 동작 방법 및 물품 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102115879B1
公开(公告)日：2020-05-27
申请号：KR1020187026500
申请日：2017-02-17
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 마츠오카요이치 , 야마모토기요히토 , 아즈마히사노부 , 데라시마시게루 , 마에다도시히로 , 요네카와마사미 , 에모토게이지 , 나카가와가즈키
IPC分类号： G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/027 , B29C33/72 , B29C59/02

4. 发明授权

KR101763002B1 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101763002B1
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：KR1020140061479
申请日：2014-05-22
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 니시카와라도모후미 , 나카가와가즈키
IPC分类号： B29C59/02 , G03F7/00 , B29C37/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00
CPC分类号： G03F7/0002
摘要： 본발명은, 기판상의복수의샷 영역에패턴을형성하는임프린트장치이며, 기판을가열함으로써샷 영역각각을변형시키도록구성되는가열유닛과, 가열유닛을제어하도록구성되는제어유닛을포함하고, 제어유닛은, 임프린트처리를행할샷 영역인대상샷 영역에대하여, 대상샷 영역보다먼저임프린트처리가행해진샷 영역을가열유닛에의해가열하는데에사용된가열제어정보에기초하여임프린트처리를행할때에, 제어정보에따른기판의가열에의해변형된대상샷 영역의형상이목표형상에근접하도록, 가열유닛에의한기판의가열을제어하는임프린트장치를제공한다.

5. 发明授权

KR101698253B1 임프린트 장치 및 임프린트 방법 그리고 물품 제조 방법 有权
标题翻译：印刷装置和印刷方法和制品制造方法
公开(公告)号：KR101698253B1
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：KR1020147023122
申请日：2013-02-26
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 나카가와가즈키 , 에모토게이지
IPC分类号： H01L21/027 , B29C59/02
CPC分类号： B29C59/026 , B29D2009/00 , B29K2101/00 , B29L2009/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： 본발명에따른임프린트장치에는, 도포유닛과; 보조판을포함하는기판보유유닛과; 샷영역에도포된미경화수지에대해몰드를가압할때에도포유닛의도포위치로부터가압이수행되는가압위치로의기판보유유닛의구동에의한샷 영역의이동과연계하여몰드와기판사이의간극으로가스를공급하는다수의공급출구를포함하는가스공급유닛과; 미경화수지가도포된샷 영역이가압위치를향해이동되는동안에다수의공급출구중에서가스를공급하는공급출구가기판또는보조판 중어느한쪽에의해대향되도록가스를공급하는공급출구를선택하고샷 영역의이동방향을제어하는제어기가제공된다.
摘要翻译：压印装置具有：应用单元; 基板保持单元，包括辅助板; 气体供给单元，其包括多个供给出口，其通过将所述基板保持单元从所述施加单元的施加位置驱动到按压位置而与喷射区域的移动一起向模具和基板之间的间隙供应气体，当将模具压在施加到射击区域的未固化树脂上时进行压制; 以及控制器，其选择供应气体供应气体，使得在多个供应出口之间供应气体的供应出口与基板或辅助板相对，而未涂覆树脂的喷射区域移动朝向按压位置，并且其控制拍摄区域的移动方向。

6. 发明授权

KR101989652B1 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101989652B1
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：KR1020150127550
申请日：2015-09-09
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 나카가와가즈키
IPC分类号： G03F7/00 , G03F9/00

7. 发明授权

KR101669389B1 임프린트 방법 有权
标题翻译： IMPRINT方法
公开(公告)号：KR101669389B1
公开(公告)日：2016-10-25
申请号：KR1020160009949
申请日：2016-01-27
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 나카가와가즈키 , 하세가와노리야스 , 무라카미요스케 , 마츠모토다카히로
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/00 , H01L21/56 , H01L21/324
CPC分类号： H01L21/682 , B29C35/0805 , B29C59/026 , B29C59/16 , B29C2035/0822 , B29K2101/00 , B29L2009/00 , B29L2031/34 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/6715 , H01L21/6838 , H01L22/20 , H01L23/544
摘要： 본발명의임프린트방법은, 상기기판을유지면상에유지하는유지단계와, 상기패턴이상기기판상에형성되어있는기판측패턴영역의형상을변형시키는변형단계와, 변형된상기기판측패턴영역상의수지와상기몰드를접촉시키는접촉단계와, 상기수지를경화시키는경화단계와, 상기몰드와접촉되어있는상기수지로부터상기몰드를분리하는몰드-분리단계를포함한다. 여기서, 상기변형단계에있어서는, 상기기판측패턴영역에대응하는기판의이면과상기유지면사이에작용하는최대정지마찰력보다큰 변형력이기판의표면을따르는방향으로상기기판에가해진다.
摘要翻译：压印装置通过使用模具在基板上形成压印材料的图案。基板保持单元通过基板和保持表面之间的吸力保持基板，并且包括用于以第一抽吸力吸附基板的第一区域的后表面的第一抽吸单元和用于吸附后端的第二抽吸单元具有第二抽吸力的衬底的第二区域的表面。当在第一区域上形成压印材料的图案时，变形机构沿着保持表面的方向使第一区域的形状变形。调节单元调节第一和第二抽吸力。在通过变形机构使第一区域的形状变形期间，第一吸力在至少一段时间内小于第二吸力。

8. 发明公开

KR1020160096034A 임프린트 방법, 임프린트 장치, 및 물품의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：印刷方法，印刷装置和制造方法
公开(公告)号：KR1020160096034A
公开(公告)日：2016-08-12
申请号：KR1020160013243
申请日：2016-02-03
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 나카가와가즈키
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/56 , H01L23/544 , H01L21/66 , G03F9/00 , G03F7/20
CPC分类号： G03F9/7042 , B29C43/58 , B29C2043/5808 , G03F7/0002
摘要： 본발명은, 패턴영역을갖는몰드를사용하여기판상에형성된샷 영역상에패턴을형성하는임프린트방법을제공하며, 상기방법은, 변형량에따라패턴영역및 샷영역중 하나이상의영역의변형제어를행하는단계, 상기변형후의상기패턴영역에제공된복수의마크의각각과상기샷 영역에제공된복수의마크의대응하는마크사이의시프트양을취득하는단계, 시프트양에기초하여미리설정된조건을만족하도록패턴영역과샷 영역사이의중첩제어를위해사용되는마크를선택하는단계, 및변형제어를행하는단계에서의변형후에선택된마크의위치의검출결과에기초하여중첩의피드백제어를행하는단계를포함한다.
摘要翻译：提供了通过使用具有图案区域的模具在形成在基板上的照射区域上形成图案的压印方法。该方法包括以下步骤：根据变形量对图案区域和拍摄区域中的至少一个进行变形控制; 获得设置在图案区域上的多个标记中的每一个与在变形之后设置在拍摄区域上的多个标记的对应标记之间的移位量; 选择要用于控制图案区域和拍摄区域之间的叠加的标记，以便基于移位量满足预设条件; 并且基于在执行变形控制的步骤中的变形之后的所选择的标记的位置上的检测结果来对覆盖层执行反馈控制。

9. 发明公开

KR1020140141457A 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법 有权
标题翻译： IMPRINT APPARATUS，IMPRINT METHOD，AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE
公开(公告)号：KR1020140141457A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：KR1020140061479
申请日：2014-05-22
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 니시카와라도모후미 , 나카가와가즈키
IPC分类号： B29C59/02 , G03F7/00 , B29C37/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B29C59/02 , B29C37/00 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01L21/027 , H01L21/30
摘要： 본 발명은, 기판 상의 복수의 샷 영역에 패턴을 형성하는 임프린트 장치이며, 기판을 가열함으로써 샷 영역 각각을 변형시키도록 구성되는 가열 유닛과, 가열 유닛을 제어하도록 구성되는 제어 유닛을 포함하고, 제어 유닛은, 임프린트 처리를 행할 샷 영역인 대상 샷 영역에 대하여, 대상 샷 영역보다 먼저 임프린트 처리가 행해진 샷 영역을 가열 유닛에 의해 가열하는 데에 사용된 가열 제어 정보에 기초하여 임프린트 처리를 행할 때에, 제어 정보에 따른 기판의 가열에 의해 변형된 대상 샷 영역의 형상이 목표 형상에 근접하도록, 가열 유닛에 의한 기판의 가열을 제어하는 임프린트 장치를 제공한다.
摘要翻译：本发明是在基板上的多个照射区域上形成图案的压印装置，提供一种压印装置，其包括：加热单元，其构造成加热基板以分别变形射出区域; 以及控制单元，被配置为控制加热单元。控制单元通过加热单元来控制基板的加热，使得当作为目标拍摄区域的目标拍摄区域是目标拍摄区域时，通过基于控制信息的基板的加热而变形的目标照射区域的形状会聚到目标形状基于用于通过加热单元加热在目标拍摄区域之前印制的拍摄区域的加热控制信息而被印刷。

10. 发明授权

KR102027024B1 임프린트 방법, 임프린트 장치, 및 물품의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102027024B1
公开(公告)日：2019-09-30
申请号：KR1020160013243
申请日：2016-02-03
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 나카가와가즈키
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/56 , H01L23/544 , H01L21/66 , G03F9/00 , G03F7/20

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式