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1. 发明授权

KR101709820B1 레이저 시스템용 계측 모듈 有权
标题翻译：激光系统计量模块
公开(公告)号：KR101709820B1
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：KR1020127007808
申请日：2010-08-26
申请人： 칼 짜이스 레이저 옵틱스 게엠베하
发明人： 뮨즈,홀거 , 크라우스,요하네스 , 베이글,베른하르트
IPC分类号： G01J1/42 , G01J4/04 , H01S5/00 , G02B27/10 , G03F7/20 , H01S3/02
CPC分类号： G01J4/04 , G01J1/4257 , G02B27/10 , G02B27/1073 , G02B27/108 , G03F7/70025 , G03F7/70566 , G03F7/7085 , H01S3/02
摘要： 레이저시스템(100)은레이저(110), 상기레이저를포함하는하우징(101), 및상기레이저시스템의작동중에상기레이저로부터의레이저광선을수신하도록배치된제1 챔버(120)를포함한다. 상기시스템은또한, 상기제1 챔버를인접챔버와분리하고, 레이저광선(201)의경로에배치되며, 상기제1 챔버(225)와인접챔버사이에창을형성하는제1 광학소자(220); 상기제1 광학소자(220)로부터의상류또는하류의광선(201)의경로에배치되는빔 스플리터(210); 및광선검출장치(240)를포함한다. 상기시스템의작동중에, 상기빔 스플리터(210)는레이저광선(201)을수신하여, 상기광선검출장치로, 메인빔(201)으로서레이저광선의제1 부분을투과하고, 제1 서브빔으로서상기레이저광선의제2 부분(202, 203)을지향시킨다.
摘要翻译：激光系统（100）包括激光器（110），包括激光器的壳体（101）和布置成在激光系统的操作期间接收来自激光器的激光辐射的第一腔室（120）。该系统还包括将第一腔室与相邻腔室分开的第一光学元件（220），第一光学元件（220）被布置在激光辐射（201）的路径中，并且在第一腔室（225）和相邻的室; 在所述第一光学元件（220）的上游或下游布置在所述辐射路径（201）中的分束器（210）; 和放射线检测装置（240）。在系统操作期间，分束器（210）接收激光辐射（201），将激光辐射的第一部分作为主光束（201）传输，并将激光辐射的第二部分（202,203）引导为朝向辐射检测装置的第一子光束。

2. 发明公开

KR1020120050497A 레이저 시스템용 계측 모듈 有权
标题翻译：激光系统计量模块
公开(公告)号：KR1020120050497A
公开(公告)日：2012-05-18
申请号：KR1020127007808
申请日：2010-08-26
申请人： 칼 짜이스 레이저 옵틱스 게엠베하
发明人： 뮨즈,홀거 , 크라우스,요하네스 , 베이글,베른하르트
IPC分类号： G01J1/42 , G01J4/04 , H01S5/00 , G02B27/10 , G03F7/20 , H01S3/02
CPC分类号： G01J4/04 , G01J1/4257 , G02B27/10 , G02B27/1073 , G02B27/108 , G03F7/70025 , G03F7/70566 , G03F7/7085 , H01S3/02 , H01S5/0014
摘要： 레이저 시스템(100)은 레이저(110), 상기 레이저를 포함하는 하우징(101), 및 상기 레이저 시스템의 작동중에 상기 레이저로부터의 레이저 광선을 수신하도록 배치된 제1 챔버(120)를 포함한다. 상기 시스템은 또한, 상기 제1 챔버를 인접 챔버와 분리하고, 레이저 광선(201)의 경로에 배치되며, 상기 제1 챔버(225)와 인접 챔버 사이에 창을 형성하는 제1 광학소자(220); 상기 제1 광학소자(220)로부터의 상류 또는 하류의 광선(201)의 경로에 배치되는 빔 스플리터(210); 및 광선 검출 장치(240)를 포함한다. 상기 시스템의 작동중에, 상기 빔 스플리터(210)는 레이저 광선(201)을 수신하여, 상기 광선 검출 장치로, 메인 빔(201)으로서 레이저 광선의 제1 부분을 투과하고, 제1 서브 빔으로서 상기 레이저 광선의 제2 부분(202, 203)을 지향시킨다.
摘要翻译：激光系统（100）包括激光器（110），包括激光器的壳体（101）和布置成在激光系统的操作期间接收来自激光器的激光辐射的第一腔室（120）。该系统还包括将第一腔室与相邻腔室分开的第一光学元件（220），第一光学元件（220）被布置在激光辐射（201）的路径中，并且在第一腔室（225）和相邻的室; 在所述第一光学元件（220）的上游或下游布置在所述辐射路径（201）中的分束器（210）; 和放射线检测装置（240）。在系统操作期间，分束器（210）接收激光辐射（201），将激光辐射的第一部分作为主光束（201）传输，并将激光辐射的第二部分（202,203）引导为朝向辐射检测装置的第一子光束。

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