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1. 发明授权

KR101118701B1 고순도 가스 공급장치 有权
标题翻译：高纯度气体供应装置
公开(公告)号：KR101118701B1
公开(公告)日：2012-03-12
申请号：KR1020100012077
申请日：2010-02-09
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 정근준 , 이종관 , 김성준 , 홍성표 , 신경훈 , 채옥희
IPC分类号： H01L21/205 , H05H1/34
摘要： 본 발명은 고순도 가스 공급장치에 관한 것으로, 안정화가스를 포함하는 공정가스가 상부측으로 유입되고, 저면측에서 응축된 안정화가스를 배출하는 실린더와, 상기 실린더의 외측에 냉매를 순환시켜 상기 안정화가스를 응축시키는 냉매관과, 상기 실린더의 상면에서 내측으로 삽입 설치되어 상기 안정화가스가 응축 분리된 공정가스를 공급장치로 배출하는 공정가스배출관과, 상기 실린더의 저면측 드레인라인에 연결되어 상기 응축된 안정화가스의 배출속도를 조절하여 배출하는 드레인부를 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 공정가스에 포함된 안정화가스를 응축시켜 분리하고, 그 공정가스와 응축된 안정화가스의 배출경로를 다르게 하여 순수한 공정가스를 공정장치로 공급할 수 있어 공정의 균일성을 확보하고, 수율 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다.

2. 发明授权

KR101090738B1 가스 공급 시스템의 가스 공급 제어장치 및 방법 有权
标题翻译：供气系统供气系统的控制装置及其控制方法
公开(公告)号：KR101090738B1
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：KR1020050073600
申请日：2005-08-11
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이종관 , 이성섭 , 김성준 , 정근준 , 남명우 , 정동진
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본발명은가스공급시스템의가스공급제어장치및 방법에관한것으로, 적어도두 개이상의가스용기를사용하여공정라인으로가스를공급하는가스공급시스템에있어서, 상기가스용기를각각가열하는가열부와, 상기가스용기의무게를각각실시간으로측정하는무게검출부와, 상기무게검출부에서검출된각 가스용기의무게를상호비교하여상대적으로무거운가스용기측의가열부를제어하여온도를상승시키는온도제어수단을포함한다. 또한, 본발명은공정라인으로가스를공급하는다수의가스용기각각의무게를검출하는무게검출단계와, 상기검출된가스용기각각의무게를비교하여, 그결과에따라각 가스용기의가스소모량의대소를판단하는가스소모량판단단계와, 상기가스소모량이상대적으로적은가스용기를선택적으로가열하여가스소모량을증가시키는선택적가열단계를포함한다. 이와같은구성의본 발명은다수의가스용기각각의무게를실시간으로검출하고, 그검출된무게를비교하여상대적으로소모량이적은가스용기를선택적으로가열함으로써, 다수의가스용기각각의가스소모량을균일하게맞출수 있는효과가있다.

3. 发明公开

KR1020080026852A 전자소재 제조용 가스공급장치 有权
标题翻译：用于制造电子材料的气体供应装置
公开(公告)号：KR1020080026852A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：KR1020060091941
申请日：2006-09-21
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이성섭 , 이종관 , 김민경 , 정근준
IPC分类号： H01L21/02
摘要： A gas supply device for manufacturing an electronic material is provided to reduce remarkably a manufacturing cost by using an air pressure valve instead of a manual valve. A gas line(110) is formed to transfer process gas of a gas bombe(100) to a process chamber(200). An opening/closing valve(111) is installed at the gas line and is operated by using air pressure, to switch a transferring state of the process gas. An air pressure line(320) is connected to the opening/closing valve to transfer the air pressure to operate the opening/closing valve. An automatic control unit(300) applies or interrupts the air pressure transferred through the air pressure line to the opening/closing valve, according to a control signal. A manual control unit(400) opens the opening/closing valve by supplying forcedly the air pressure to the air pressure line when the automatic control mechanism is in an abnormal state.
摘要翻译：提供一种用于制造电子材料的气体供应装置，通过使用空气压力阀代替手动阀来显着降低制造成本。形成气体管线（110）以将气体重量（100）的处理气体转移到处理室（200）。开闭阀（111）安装在气体管线处，并通过使用空气压力进行操作，以切换处理气体的转移状态。空气压力管线（320）连接到打开/关闭阀以传送空气压力以操作打开/关闭阀。自动控制单元（300）根据控制信号将通过空气压力线传递的空气压力施加或中断到开/关阀。当自动控制机构处于异常状态时，手动控制单元（400）通过向空气压力线强制供给空气来打开开闭阀。

4. 发明公开

KR1020070019114A 가스 공급 시스템의 가스 공급 제어장치 및 방법 有权
标题翻译：供气系统供气系统的控制装置及其控制方法
公开(公告)号：KR1020070019114A
公开(公告)日：2007-02-15
申请号：KR1020050073600
申请日：2005-08-11
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이종관 , 이성섭 , 김성준 , 정근준 , 남명우 , 정동진
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 가스 공급 시스템의 가스 공급 제어장치 및 방법에 관한 것으로, 적어도 두 개 이상의 가스 용기를 사용하여 공정 라인으로 가스를 공급하는 가스 공급 시스템에 있어서, 상기 가스 용기를 각각 가열하는 가열부와, 상기 가스 용기의 무게를 각각 실시간으로 측정하는 무게 검출부와, 상기 무게 검출부에서 검출된 각 가스 용기의 무게를 상호 비교하여 상대적으로 무거운 가스 용기측의 가열부를 제어하여 온도를 상승시키는 온도 제어수단을 포함한다. 또한, 본 발명은 공정 라인으로 가스를 공급하는 다수의 가스 용기 각각의 무게를 검출하는 무게검출단계와, 상기 검출된 가스 용기 각각의 무게를 비교하여, 그 결과에 따라 각 가스 용기의 가스 소모량의 대소를 판단하는 가스소모량 판단단계와, 상기 가스 소모량이 상대적으로 적은 가스 용기를 선택적으로 가열하여 가스 소모량을 증가시키는 선택적 가열단계를 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 다수의 가스 용기 각각의 무게를 실시간으로 검출하고, 그 검출된 무게를 비교하여 상대적으로 소모량이 적은 가스 용기를 선택적으로 가열함으로써, 다수의 가스 용기 각각의 가스 소모량을 균일하게 맞출 수 있는 효과가 있다.

5. 发明授权

KR101145852B1 전자소재 제조용 가스공급장치 및 방법 有权
标题翻译：用于制造电子材料的气体供应装置及其方法
公开(公告)号：KR101145852B1
公开(公告)日：2012-05-17
申请号：KR1020050104274
申请日：2005-11-02
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이성섭 , 이종관 , 정근준 , 김성준 , 남명우 , 정동진
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 전자소재 제조용 가스공급장치 및 방법에 관한 것으로, 메인유입밸브에 의해 공정가스를 공급 및 차단하는 가스공급부와, 상기 가스공급부로 부터 공급되는 공정가스를 서로 다른 경로로 전환하여 공급하는 전환밸브부와, 상기 전환밸브부에서 공급되는 공정가스를 각 공정챔버에 분산공급하는 메인공급라인과, 상기 메인공급라인의 이상시 상기 전환밸브부에서 공급되는 공정가스를 상기 각 공정챔버에 우회하여 분산공급하는 예비공급라인을 포함한다. 본 발명에 의하면, 메인공급라인상의 일부 구성부품에 문제가 발생하여도 상기 메인공급라인을 우회하여 각 공정챔버에 원활하게 공정가스가 공급되므로 전자소재 제조공정을 지속적으로 유지시켜 생산성을 월등히 향상시킨다는 효과가 있다.
전자소재, 가스공급, 메인공급라인, 예비공급라인, 전환밸브

6. 发明授权

KR101086238B1 전자소재 제조장치의 가스배관 시스템 및 그 시스템에서퍼지가스의 역류를 방지하는 방법 失效
标题翻译：用于电子材料制造装置的气体管道系统和用于防止气体管道系统中吹扫气体向后流动的方法
公开(公告)号：KR101086238B1
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：KR1020050061508
申请日：2005-07-08
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이성섭 , 이종관 , 정근준 , 김성준 , 남명우 , 정동진
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 전자소재 제조장치의 가스배관 시스템 및 그 시스템에서 퍼지가스의 역류를 방지하는 방법에 관한 것으로, 공정가스를 공급제어하는 공정가스밸브와, 상기 공정가스밸브를 통해 유입되는 공정가스를 일정한 압력으로 챔버에 공급함과 아울러 챔버측의 압력이 높을 때 공정가스 유입밸브 측으로의 역류를 방지하는 레귤레이터와, 퍼지가스를 상기 레귤레이터의 출력측과 챔버사이에 공급제어하는 퍼지가스밸브를 포함하여 구성된다. 이와 같이 구성된 본 발명은 퍼지가스의 유입압력과 레귤레이터의 설정압력 차이를 이용하여 퍼지가스와 공정가스가 동시에 유입되는 경우에도 퍼지가스의 역류를 방지하여 전체 배관의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.

7. 发明公开

KR1020070063707A 드라이아이스 분쇄장치 및 이를 이용한 건식세정장치 无效
标题翻译：使用破碎机的干冰和干式清洁机的破碎机
公开(公告)号：KR1020070063707A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：KR1020050123785
申请日：2005-12-15
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 김성준 , 이성섭 , 이종관 , 정근준 , 남명우 , 정동진
IPC分类号： B02C4/02 , B02C4/00
摘要： A crusher for dry-ice and a dry type cleaner using a crusher are provided to crush dry-ice on a pellet effectively to make the control of cleansing force easier and to cleanse a part that is likely to be damaged. The crusher for dry-ice includes a body portion(10), at least two or more crushing rollers(30,40) and a brush(50). The body portion(10) includes a dry-ice pellet inlet(11) and a dry-ice granule outlet(12). The two or more crushing rollers(30,40) rotate in opposite directions according to the rotation of a motor and crush dry-ice pellets on an inner side of the body portion(10). The brush(50) is coupled with an inner side of the body portion(10) and removes dry-ice that is compressed on the crushing rollers(30,40).
摘要翻译：提供用于干冰的破碎机和使用破碎机的干式清洁器，以有效地粉碎颗粒上的干冰，使清洁力的控制更容易，并清洁可能损坏的部件。用于干冰的破碎机包括主体部分（10），至少两个或更多个破碎辊（30,40）和刷子（50）。主体部分（10）包括干冰颗粒入口（11）和干冰颗粒出口（12）。两个或多个破碎辊（30,40）根据电动机的旋转沿相反方向旋转，并且在主体部分（10）的内侧上挤压干冰颗粒。刷子（50）与主体部分（10）的内侧联接，并且去除在破碎辊（30,40）上被压缩的干冰。

8. 发明公开

KR1020070019076A 가스 용기의 과열 방지 장치 无效
标题翻译：防止仪器过热
公开(公告)号：KR1020070019076A
公开(公告)日：2007-02-15
申请号：KR1020050073540
申请日：2005-08-11
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이성섭 , 이종관 , 정근준 , 김성준 , 남명우 , 정동진
IPC分类号： F17D5/00 , F17D3/01
CPC分类号： F17C13/00 , F17C5/02 , F17C13/04 , F17C13/08
摘要： 본 발명은 가스 용기의 과열 방지 장치에 관한 것으로, 액화가스를 저장하고, 히터의 가열에 의하여 기화된 가스를 제조 공정 라인으로 공급하는 가스 용기와, 상기 히터의 온도를 검출하는 제1온도 센서와, 상기 가스 용기의 밸브 온도를 검출하는 제2온도 센서와, 상기 제1온도 센서 및 제2온도 센서에서 검출된 히터 및 가스 용기의 온도를 기준 온도와 비교하여 그 검출된 온도가 더 높을 때, 히터에 전원이 공급되는 것을 차단하는 제어부를 포함한다. 이와 같이 구성된 본 발명은 히터의 온도뿐만 아니라 가스 용기의 온도를 직접 검출하여 가스 용기의 과열을 이중으로 방지함으로써, 가스 유출 사고를 방지할 수 있는 효과가 있으며, 비접촉식 온도 감지부를 사용하여 고온의 가스 용기 또는 히터에 직접 접촉하지 않고 가스 용기 또는 히터의 온도를 검출함으로써, 온도 검출 수단의 수명 단축을 방지함과 아울러 단선이 발생하는 것을 방지하여 가스 용기 과열 방지의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

9. 发明公开

KR1020070006292A 전자소재 제조장치의 가스배관 시스템 및 그 시스템에서퍼지가스의 역류를 방지하는 방법 失效
标题翻译：用于制造电子材料装置的气体管道系统和用于防止气体管道系统中的纯净气体的逆流的方法
公开(公告)号：KR1020070006292A
公开(公告)日：2007-01-11
申请号：KR1020050061508
申请日：2005-07-08
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이성섭 , 이종관 , 정근준 , 김성준 , 남명우 , 정동진
IPC分类号： H01L21/02
摘要： A gas pipe system of an electron material manufacturing apparatus and a method for preventing back-flow of purge gas in the same are provided to prevent contamination of pipes by using a difference between an inflow pressure of the purge gas and a presetting pressure of a regulator. A process gas inlet valve(MV2) controls supply of process gas. A regulator(REG) supplies the process gas flowed in through the process gas inlet valve to a chamber(40) with a constant pressure. The regulator prevents a back-flow to the process gas inlet valve side when a pressure of the chamber is high. A purge gas inlet valve(MV1) supplies purge gas to a space between an output side of the regulator and the chamber to control it. The regulator includes an inlet pipe, an outlet pipe, and an opening/shutting member. The inlet pipe is connected to the process gas inlet valve. The outlet pipe is connected to the chamber. The opening/shutting member opens and shuts between the inlet pipe and the outlet pipe.
摘要翻译：提供电子材料制造装置的气体管道系统和防止吹扫气体的回流的方法，以通过使用吹扫气体的流入压力和调节器的预设压力之间的差异来防止管道的污染。工艺气体入口阀（MV2）控制工艺气体的供应。调节器（REG）将通过工艺气体入口阀流入的工艺气体以恒定的压力提供给腔室（40）。当室的压力高时，调节器防止对工艺气体入口阀侧的回流。净化气体入口阀（MV1）将净化气体供应到调节器的输出侧和室之间的空间以进行控制。调节器包括入口管，出口管和开/关构件。入口管连接到工艺气体入口阀。出口管连接到腔室。打开/关闭构件在入口管和出口管之间打开并关闭。

10. 实用新型

KR200330032Y1 액화가스 기화장치 失效
公开(公告)号：KR200330032Y1
公开(公告)日：2003-10-22
申请号：KR2020030023083
申请日：2003-07-16
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 정근준 , 이종관 , 한준현 , 김성준 , 이성섭
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 고안은 액화가스가 저장된 저장조와 가스를 이용한 처리가 이루어지는 공정 장치 사이에 설치되어 저장조로부터 공정장치로 공급되는 가스를 기화시키는 액화가스 기화장치에 관한 것이다. 본 고안은 양단이 각각 저장조측 배관과 공정장치측 배관과 연결되어 기화될 액화가스가 통과하는 열교환 코일; 열교환관의 내측에 원형으로 배열되는 다수의 히터; 열교환관과 히터들을 수용하는 케이싱; 열교환관과 히터들 사이에 채워져 히터들로부터 열교환관으로의 열전달을 촉진하는 열교환 매체로서의 금속분말; 및 히터들의 일측에 설치되어 히터의 온도를 감지하는 온도 센서와 온도 센서로부터 검출되는 히터의 온도에 따라 히터의 작동을 제어하는 제어기를 가지는 제어부를 포함한다. 금속분말로는 알루미늄 분말을 사용한다. 이에 따라, 장치가 소형화될 수 있으면서 열전달이 빠르고 균일하게 이루어질 수 있다.

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