专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR102260840B1 가스 공급 시스템 有权
公开(公告)号：KR102260840B1
公开(公告)日：2021-06-07
申请号：KR1020200022724
申请日：2020-02-25
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 김정완 , 김성준
IPC分类号： G05D7/06 , G05D11/13

2. 发明授权

KR101090738B1 가스 공급 시스템의 가스 공급 제어장치 및 방법 有权
标题翻译：供气系统供气系统的控制装置及其控制方法
公开(公告)号：KR101090738B1
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：KR1020050073600
申请日：2005-08-11
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이종관 , 이성섭 , 김성준 , 정근준 , 남명우 , 정동진
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본발명은가스공급시스템의가스공급제어장치및 방법에관한것으로, 적어도두 개이상의가스용기를사용하여공정라인으로가스를공급하는가스공급시스템에있어서, 상기가스용기를각각가열하는가열부와, 상기가스용기의무게를각각실시간으로측정하는무게검출부와, 상기무게검출부에서검출된각 가스용기의무게를상호비교하여상대적으로무거운가스용기측의가열부를제어하여온도를상승시키는온도제어수단을포함한다. 또한, 본발명은공정라인으로가스를공급하는다수의가스용기각각의무게를검출하는무게검출단계와, 상기검출된가스용기각각의무게를비교하여, 그결과에따라각 가스용기의가스소모량의대소를판단하는가스소모량판단단계와, 상기가스소모량이상대적으로적은가스용기를선택적으로가열하여가스소모량을증가시키는선택적가열단계를포함한다. 이와같은구성의본 발명은다수의가스용기각각의무게를실시간으로검출하고, 그검출된무게를비교하여상대적으로소모량이적은가스용기를선택적으로가열함으로써, 다수의가스용기각각의가스소모량을균일하게맞출수 있는효과가있다.

3. 实用新型

KR2020090005171U 가스 밸브 无效
公开(公告)号：KR2020090005171U
公开(公告)日：2009-05-29
申请号：KR2020070018964
申请日：2007-11-26
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 김성준 , 이성섭 , 정근준 , 정동진
IPC分类号： F16K31/126
摘要： 본 고안은 가스 밸브에 관한 것으로, 가스의 도입관 및 공급관을 포함하는 바디부와, 상기 바디부의 중앙에 노출된 가스 공급관의 주변에 고정된 시트와, 상기 시트의 상부에 위치하여 액튜에이터의 구동에 따라 상기 시트와 밀착 또는 이격되어, 상기 도입관과 상기 공급관의 사이에 가스의 흐름을 차단 또는 유지하는 다이어프램와, 상기 다이어프램의 가장지리를 눌러 상기 바디부에 고정시키는 고정부재와, 상기 바디부 및 상기 고정기재를 통해 가열된 유체를 상기 다이어프램의 상부로 공급하고, 그 공급된 유체를 외부로 배출시키는 응축방지부를 포함한다. 이와 같이 구성된 본 고안은 밸브를 지나는 가스의 응축이 발생하는 부분에만 외부의 가열된 유체를 공급하여 가스 응축 부분만을 선택적으로 가열하기 때문에 가스의 응축현상이 발생하지 않으며, 따라서 밸브의 수명을 증가시킴과 아울러 가스 공급유량 균일성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
가스 밸브, 응축 방지, 가열 유체

4. 发明公开

KR1020070019114A 가스 공급 시스템의 가스 공급 제어장치 및 방법 有权
标题翻译：供气系统供气系统的控制装置及其控制方法
公开(公告)号：KR1020070019114A
公开(公告)日：2007-02-15
申请号：KR1020050073600
申请日：2005-08-11
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이종관 , 이성섭 , 김성준 , 정근준 , 남명우 , 정동진
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 가스 공급 시스템의 가스 공급 제어장치 및 방법에 관한 것으로, 적어도 두 개 이상의 가스 용기를 사용하여 공정 라인으로 가스를 공급하는 가스 공급 시스템에 있어서, 상기 가스 용기를 각각 가열하는 가열부와, 상기 가스 용기의 무게를 각각 실시간으로 측정하는 무게 검출부와, 상기 무게 검출부에서 검출된 각 가스 용기의 무게를 상호 비교하여 상대적으로 무거운 가스 용기측의 가열부를 제어하여 온도를 상승시키는 온도 제어수단을 포함한다. 또한, 본 발명은 공정 라인으로 가스를 공급하는 다수의 가스 용기 각각의 무게를 검출하는 무게검출단계와, 상기 검출된 가스 용기 각각의 무게를 비교하여, 그 결과에 따라 각 가스 용기의 가스 소모량의 대소를 판단하는 가스소모량 판단단계와, 상기 가스 소모량이 상대적으로 적은 가스 용기를 선택적으로 가열하여 가스 소모량을 증가시키는 선택적 가열단계를 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 다수의 가스 용기 각각의 무게를 실시간으로 검출하고, 그 검출된 무게를 비교하여 상대적으로 소모량이 적은 가스 용기를 선택적으로 가열함으로써, 다수의 가스 용기 각각의 가스 소모량을 균일하게 맞출 수 있는 효과가 있다.

5. 发明授权

KR102029780B1 가스 공급 장치 및 가스 공급 방법 有权
公开(公告)号：KR102029780B1
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：KR1020180084828
申请日：2018-07-20
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 정근준 , 김성준 , 김정완
IPC分类号： F17C7/00 , F17C13/02 , F17C13/04

6. 实用新型

KR2020090005172U 가스 공급장치 无效
标题翻译：燃气供应商
公开(公告)号：KR2020090005172U
公开(公告)日：2009-05-29
申请号：KR2020070018965
申请日：2007-11-26
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 김성준 , 이종관 , 신경훈 , 이영태 , 김민경
IPC分类号： F17C13/04 , F17C13/00
摘要： 본 고안은 가스 공급장치에 관한 것으로, 가스를 저장하는 제1 및 제2가스용기와, 상기 제1가스용기의 가스를 제1자동밸브의 개폐상태에 따라 인출하는 제1공급라인과, 상기 제2가스용기의 가스를 제2자동밸브의 개폐상태에 따라 인출하는 제2공급라인과, 상기 제1공급라인의 가스를 제1공정장비로 공급 제어하는 제3자동밸브와, 상기 제2공급라인의 가스를 제2공정장비로 공급 제어하는 제4자동밸브와, 상기 제1공급라인의 제1자동밸브와 제3자동밸브의 사이와 상기 제2공급라인의 제2자동밸브와 제4자동밸브의 사이를 연결하고, 제1공급라인과 제2공급라인간의 가스 이동을 제어하는 제5자동밸브를 구비하는 연결라인을 포함한다. 이와 같은 구성의 본 고안은 간단한 구성부품의 추가로 하나의 가스 공급장치를 사용하여 두 개의 공정장비로 가스를 공급할 수 있게 되어 장치의 효율성을 높이며, 청정실 내에서 가스 공급장치가 차지하는 면적을 획기적으로 줄여 청정실의 사용효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
가스 공급, 자동전환, 가스공급장치

7. 发明授权

KR100812546B1 튜브 벤딩기 失效
标题翻译：用于管的弯曲装置
公开(公告)号：KR100812546B1
公开(公告)日：2008-03-13
申请号：KR1020060134420
申请日：2006-12-27
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이영태 , 김성준
IPC分类号： B29C53/08
CPC分类号： B29C53/08 , B29C53/84 , B29L2023/004
摘要： A tube bender is provided to change one bend radius to another easily and to improve productivity by bending plural tubes at the same time. A tube bender capable of changing a bend radius easily and bending plural tubes at the same time includes a plate-shape base(10), a bending roll(30) which determines a bend radius of a tube(20) with inserting some portion of the tube to a groove provided on the roll and which is centered at one of holes provided on the table to center, a tube stopper(40) which is fixed at one of plural holes on the table to prevent the tube from being taken off from the table when bent by the bending roll, a scale(50) to measure the length of the tube, and a bending arm(60) for bending the tube wound on the bending roll trapped by a roller(61) of the bending arm located opposite to the bending roll.
摘要翻译：提供弯管机将一个弯曲半径容易地改变为另一个弯曲半径，并通过同时弯曲多个管道来提高生产率。能够容易地改变弯曲半径并且同时弯曲多个管的弯管机包括板形基座（10），弯曲辊（30），其确定管（20）的弯曲半径，其中插入一些部分所述管道设置在所述辊上并且设置在所述工作台的中心的一个孔的中心;槽塞（40），其固定在所述工作台上的多个孔中的一个孔处，以防止所述管从所述工作台由弯曲辊弯曲的台面，用于测量管的长度的标尺（50）;以及弯曲臂（60），其弯曲缠绕在弯曲辊上的管，所述弯曲辊被位于弯曲臂的辊（61）与弯曲辊相对。

8. 发明公开

KR1020070047487A 전자소재 제조용 가스공급장치 및 방법 有权
标题翻译：用于制造电子材料的气体供应装置及其方法
公开(公告)号：KR1020070047487A
公开(公告)日：2007-05-07
申请号：KR1020050104274
申请日：2005-11-02
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이성섭 , 이종관 , 정근준 , 김성준 , 남명우 , 정동진
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 전자소재 제조용 가스공급장치 및 방법에 관한 것으로, 메인유입밸브에 의해 공정가스를 공급 및 차단하는 가스공급부와, 상기 가스공급부로 부터 공급되는 공정가스를 서로 다른 경로로 전환하여 공급하는 전환밸브부와, 상기 전환밸브부에서 공급되는 공정가스를 각 공정챔버에 분산공급하는 메인공급라인과, 상기 메인공급라인의 이상시 상기 전환밸브부에서 공급되는 공정가스를 상기 각 공정챔버에 우회하여 분산공급하는 예비공급라인을 포함한다. 본 발명에 의하면, 메인공급라인상의 일부 구성부품에 문제가 발생하여도 상기 메인공급라인을 우회하여 각 공정챔버에 원활하게 공정가스가 공급되므로 전자소재 제조공정을 지속적으로 유지시켜 생산성을 월등히 향상시킨다는 효과가 있다.
전자소재, 가스공급, 메인공급라인, 예비공급라인, 전환밸브

9. 实用新型

KR200342060Y1 역류방지밸브를 가지는 반도체용 처리가스 공급장치의진공발생기 失效
标题翻译：具有止回阀的半导体处理气体供给装置的真空发生器
公开(公告)号：KR200342060Y1
公开(公告)日：2004-02-14
申请号：KR2020030036463
申请日：2003-11-21
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 이성섭 , 이종관 , 한준현 , 김성준 , 정근준
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 고안은 처리 가스를 사용한 반도체 제조 공정이 수행되는 반도체 공정 설비로 처리 가스를 공급하는 반도체 제조용 가스 공급 장치에 있어서, 배관 내의 잔류 가스 등을 제거하기 위하여 진공을 발생시키는 진공 발생기에 관한 것이다. 본 고안에 따른 반도체용 처리가스 공급장치의 진공발생기는 내부가 빈 관형상의 부재로서, 진공 발생용 기체의 공급원과 연결되는 입구 및 진공 발생용 기체 및 배관 상의 가스를 배출하기 위한 출구를 양단에 가지며, 중간 일측으로부터 반경 방향으로 연장하여 가스공급장치의 배관과 그의 내부 공간을 소통시키는 흡기구를 가지는 몸통; 몸통의 내부 공간에 수용되고 몸통의 입구측 공간으로부터 출구측 공간까지 연장하는 관형상의 부재로서, 흡기구와 그의 내부 공간을 소통시키는 소통구를 가지며, 그 내주면은 소통구에 대응하는 부분이 가장 좁은 내경을 가지는 벤튜리 형상으로 이루어지는 벤튜리체; 몸통의 입구에 설치되어 입구를 통해 몸통의 내부 공간으로 유입된 진공 발생용 기체가 역류하는 것을 방지하기 위한 일방향 밸브인 역류방지밸브; 및 역류방지밸브와 벤튜리체 사이에 설치되어 역류방지밸브가 입구를 폐쇄하는 방향으로 역류방지밸브를 탄력적으로 지지하는 탄성 부재를 포함한다.

10. 发明授权

KR101403988B1 가스 공급장치 有权
标题翻译：气体供应
公开(公告)号：KR101403988B1
公开(公告)日：2014-06-10
申请号：KR1020120138713
申请日：2012-12-03
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 김성준 , 정근준 , 채옥희 , 이영태
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/67034 , F16K15/00 , H01L21/67046
摘要： The present invention relates to a gas supply which comprises: a supply unit for supplying a process gas of a gas container into a process equipment; a discharge control unit for discharging the process gas remaining in the supply unit before replacing the gas container; a flux restriction unit for limiting a maximum flow rate of the process gas discharged through the discharge control unit; and an exhaust unit for discharging the restricted flux of the process gas, restricted by the flux restriction unit, to a scrubber. The present invention has effects of preventing a damage to the scrubber and discharge of an untreated gas due to excessive capacity of the scrubber by limiting the maximum discharge amount of the process gas even in an event of malfunction of the discharge control unit in a process of discharging the process gas in the supply unit before replacing the gas container.
摘要翻译：气体供应装置技术领域本发明涉及一种气体供给装置，其特征在于，包括：供给单元，其将气体容器的处理气体供给到处理装置中; 排出控制单元，用于在更换气体容器之前排出剩余在供应单元中的处理气体; 用于限制通过排出控制单元排出的处理气体的最大流量的通量限制单元; 以及排气单元，用于将由通量限制单元限制的处理气体的受限通量排放到洗涤器。本发明具有防止洗涤器的损坏和由于洗涤器的过剩能力而导致的未处理气体的排放的效果，即使在排放控制单元的过程中，即使在排气控制单元的过程中也限制了处理气体的最大排出量在更换气体容器之前，将供给单元中的处理气体排出。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式