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    • 3. 发明公开
    • 플립칩용 솔더범프 제조 방법과 이를 위한 금속 전기도금액
    • 用于制造用于卷筒纸和金属电镀溶液的焊膏的方法
    • KR1020150080398A
    • 2015-07-09
    • KR1020140066301
    • 2014-05-30
    • 주식회사 에이피씨티주식회사 엠에스씨
    • 고정우오정훈손진호이형근박규빈박현국방태조김동현
    • C25D3/56
    • C25D3/56
    • 플립칩패키지의솔더범프제조를위한주석계전기도금액과이 전기도금액을이용한연속도금공정의솔더범프제조방법을개시한다. 본발명의주석계전기도금액은메탄술폰산주석, 메탄술폰산은, 메탄술폰산과방향족폴리옥시알킬렌계에테르및 물을함유한다. 본발명의솔더범프제조방법은 (1) 전극패드가개방된보호층과금속기저층(UBM)을갖는실리콘웨이퍼에황산계구리또는구리/니켈전기도금액으로도금하여상기금속기저층위에구리또는구리/니켈필라범프를형성하는단계와 (2) 이러한구리도금단계완료후 12 시간이내에상기주석계전기도금액을이용하여솔더범프를형성하는단계를포함한다.
    • 本说明书公开了一种用于制造用于倒装芯片封装的焊料凸块的锡基电镀溶液以及使用该电镀溶液的连续电镀工艺中制造焊料凸块的方法。 根据本发明,锡基电镀溶液包括甲磺酸锡,甲磺酸银,甲磺酸锡,芳香族聚氧化烯醚和水。 根据本发明,用于制造焊料凸块的方法包括:通过电镀具有金属基层(UBM)的硅树脂晶片和金属基层(UBM)的硅晶片和金属基层的顶部上形成铜或铜/镍柱凸块的步骤(1) 具有带有硫酸基铜或铜/镍电镀溶液的开放电极焊盘的保护层; 以及在镀铜步骤完成后十二小时内使用锡基电镀溶液形成焊料凸块的步骤(2)。
    • 8. 发明公开
    • 플립칩 패키지 구리 필라의 제조 방법과 이를 위한 동계 전기도금액
    • 用于制造用于卷筒纸和铜箔电镀解决方案的铜支架的方法
    • KR1020150124350A
    • 2015-11-05
    • KR1020140066485
    • 2014-05-30
    • 주식회사 에이피씨티
    • 고정우오정훈손진호박현국방태조
    • C25D3/38
    • C25D3/38
    • 플립칩패키지의솔더범프제조에있어서금속기저층위에구리또는구리/니켈필라를형성하기위한동계및 니켈계전기도금액과이 전기도금액을이용한연속도금공정의솔더범프제조방법을개시한다. 본발명의동계전기도금액은황산구리, 황산, 염산, 방향족폴리옥시알킬렌계에테르, 알킬디메틸벤질암모늄염 화합물및 물을함유하고니켈계전기도금액은술팜산니켈, 염화니켈, 붕산과물을포함한다. 본발명의솔더범프제조방법은 (1) 전극패드가개방된보호층을갖는실리콘웨이퍼의금속기저층(UBM) 표면을본 발명의동계전기도금액만으로또는동계와니켈계전기도금액으로순차전기도금하여구리필라또는구리/니켈필라를형성하는필라도금단계와 (2) 이러한필라도금단계완료후 12 시간이내에주석계또는주석-은계전기도금액을이용하여솔더범프를형성하는단계를포함한다.
    • 在制造倒装芯片封装的焊料凸块时,公开了一种用于在下阻挡金属(UBM)上形成铜或铜/镍柱的铜基溶液和镍基电镀溶液的制造方法, 使用电镀溶液的连续电镀工艺的焊料凸块。 根据本发明的铜基电镀溶液包括:硫酸铜,硫酸,盐酸,芳族聚氧化烯系醚,烷基二甲基苄基铵盐化合物和水。 根据本发明的镍基电镀溶液包括:氨基磺酸镍,氯化镍,硼酸和水。 根据本发明的焊料凸块的制造方法包括:第一步骤,对柱进行电镀,以仅使用铜基电镀液或铜基电镀液和镍基电镀液进行连续电镀 具有保护层的硅晶片的UBM的表面打开,并形成铜柱或铜/镍柱; 并且完成在电镀柱的第一步骤后12小时内通过使用锡基或锡 - 银基电镀溶液形成焊料凸块的第二步骤。