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1. 发明授权

KR101127886B1 양방향 촬상 광학장치 有权
公开(公告)号：KR101127886B1
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：KR1020100048067
申请日：2010-05-24
申请人： 주식회사 쎄크
发明人： 류기웅 , 이태영 , 박덕수
IPC分类号： H01L21/60 , H04N5/225
摘要： 본 발명은 동축 조명을 조사하여 하우징에 설치된 프리즘, 한 쌍의 미러 및 한 쌍의 렌즈유닛을 통해 입사된 서브스트레이트의 표면과 다이 표면의 패턴을 동시에 촬영하는 한 쌍의 카메라유닛을 구비하는 양방향 촬상 광학장치에 관한 것이다.
상기 본 발명은 상기 하우징이 상면부와 상기 상면부에서 연장된 전방/후방/좌측/우측 측벽을 가지며, 상기 상면부의 내측면에는 상기 한 쌍의 미러를 지지하는 한 쌍의 미러 지지블록과, 상기 한 쌍의 렌즈유닛의 전단부를 조정 가능하게 지지하는 한 쌍의 제1 및 제2 조정블록이 각각 장착되며, 상기 전방 측벽의 내측면에는 상기 프리즘을 지지하는 프리즘 지지블록이 장착되고, 상기 후방 측벽의 외측면에는 상기 한 쌍의 렌즈유닛의 후단부를 고정하기 위한 한 쌍의 클램프가 장착되며, 상기 상면부의 내측면이 상면부의 외측면에 대하여 평행하게 형성되고, 상기 전방 측벽의 내측면과 후방 측벽의 외측면이 상기 상면부의 외측면에 대하여 각각 수직을 이루며, 상기 전방 측벽의 내측면과 후방 측벽의 외측면은 상호 평행을 이루는 것을 특징으로 한� ��.

2. 发明授权

KR101127884B1 반도체 칩 반전장치 有权
标题翻译：半导体芯片翻转装置
公开(公告)号：KR101127884B1
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：KR1020090076764
申请日：2009-08-19
申请人： 주식회사 쎄크
发明人： 류기웅 , 박덕수 , 이상률
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/52 , H01L23/12
摘要： 반도체 칩 반전장치에 관한 것으로, 웨이퍼로부터 반도체 칩을 흡착하여 180도 반전 이동시키는 플립부; 상기 플립부에 의해 반전된 반도체 칩을 상기 플립부로부터 흡착하여 재반전시키는 넌플립부; 및, 상기 플립부 또는 넌플립부로부터 반도체 칩을 흡착하는 수직픽커를 구비하고, 상기 수직픽커에 의해 흡착된 반도체 칩 마운터로 이송하는 버스에 안착시키기 위한 픽커부;를 포함하며, 상기 플립부에 의해 반전된 반도체 칩은 상기 넌플립부에 의해 선택적으로 재반전되는 것을 특징으로 한다.
플립칩, 반도체 칩, 진공흡착, 반전, 재반전, 플립핑, 넌플립핑

3. 发明公开

KR1020110088139A 인라인 ＣＴ 검사시스템 및 그 검사방법 有权
标题翻译：内联计算机检查系统及其使用方法
公开(公告)号：KR1020110088139A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：KR1020100007902
申请日：2010-01-28
申请人： 주식회사 쎄크
发明人： 김영만 , 김선택 , 최광남 , 윤여송 , 박병준 , 오현명 , 류기웅 , 김종현
IPC分类号： G01B11/24 , H05K13/08
摘要： PURPOSE: Inline CT inspection system and method are provided to reduce inspection hours by partial scanning of a target and parallel processing of partial image data taken through the scanning by a plurality of cores in a parallel processing unit. CONSTITUTION: An inline CT inspection system comprises a CT unit(30), an image processing unit(95), a loading unit(10), an unloading unit(70) and a control unit(90). The CT unit takes CT images of a target, an electronic part, such as semiconductor. The image processing unit parallel-processes a plurality of partial image data taken by the CT unit, with a plurality of cores in a parallel processing unit. The image processing unit re-organizes the parallel-processed data as tomography images. The image processing unit corrects slope of the tomography image, compares the images with pre-stored standard images and determines quality of the target.
摘要翻译：目的：提供在线CT检查系统和方法，以通过对目标进行部分扫描来减少检查时间，并且通过并行处理单元中的多个核心对通过扫描拍摄的部分图像数据进行并行处理。构成：在线CT检查系统包括CT单元（30），图像处理单元（95），加载单元（10），卸载单元（70）和控制单元（90）。 CT单元接收靶的CT图像，半导体等电子部件。图像处理单元将并行处理单元中的多个核并行处理由CT单元取得的多个部分图像数据。图像处理单元将并行处理的数据重新组织为断层图像。图像处理单元校正断层摄影图像的斜率，将图像与预先存储的标准图像进行比较并确定目标的质量。

4. 发明公开

KR1020110019160A 반도체 칩 반전장치 有权
标题翻译：用于半导体芯片的移动装置和使用它的方法
公开(公告)号：KR1020110019160A
公开(公告)日：2011-02-25
申请号：KR1020090076764
申请日：2009-08-19
申请人： 주식회사 쎄크
发明人： 류기웅 , 박덕수 , 이상률
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/52 , H01L23/12
CPC分类号： H01L21/67144 , H01L21/52 , H01L21/67721 , H01L21/67754 , H01L21/6838 , H01L23/12 , H05K13/0408
摘要： PURPOSE: A semiconductor chip flipping device and a flipping method using the same are provided to implement flip and non-flip operations by including a flip unit and a non-flip unit in a single device. CONSTITUTION: A flip unit(10) absorbs a semiconductor chip from a wafer and inverts the semiconductor chip with 180 degrees. A non-flip unit(30) absorbs the semiconductor chip inverted by the flip unit and inverts the semiconductor chip again. A pickup unit(50) includes a vertical picker which absorbs the semiconductor chip from the flip unit or non-flip unit. The pickup unit settles the semiconductor chip on the bus for the transfer to the semiconductor chip mounter absorbed by the vertical picker. The semiconductor chip inverted by the flip unit is selectively inverted again by the non-flip unit.
摘要翻译：目的：提供半导体芯片翻转装置和使用其的翻转方法，以通过在单个装置中包括翻转单元和非翻转单元来实现翻转和非翻转操作。构成：翻转单元（10）从晶片吸收半导体芯片并使半导体芯片以180度反转。非翻转单元（30）吸收由翻转单元反相的半导体芯片，并再次反转半导体芯片。拾取单元（50）包括垂直拾取器，其从翻转单元或非翻转单元吸收半导体芯片。拾取单元将半导体芯片放置在总线上，用于传送到由垂直拾取器吸收的半导体芯片安装器。由翻转单元反相的半导体芯片由非翻转单元再次选择性地反转。

5. 发明授权

KR101717678B1 인라인 ＣＴ 검사시스템 및 그 검사방법 有权
公开(公告)号：KR101717678B1
公开(公告)日：2017-03-20
申请号：KR1020100007902
申请日：2010-01-28
申请人： 주식회사 쎄크
发明人： 김영만 , 김선택 , 최광남 , 윤여송 , 박병준 , 오현명 , 류기웅 , 김종현
IPC分类号： G01B11/24 , H05K13/08
摘要： 인라인 CT 검사시스템및 이를이용한검사방법이개시된다. 개시된본 발명은반도체와같은전자부품인피검사체를 CT 촬영하기위한 CT 촬영부; 상기 CT 촬영부에서촬영된다수의부분영상데이터를병렬연산처리장치에포함된다수의코어(Core)로병렬처리하여단층촬영영상으로재구성하는영상처리부; 상기영상처리부에서전송된단층촬영영상의기울기를보정하고, 미리저장된표준영상과비교하여피검사체의양품및 불량품을판별하는제어부; 및상기피검사체의검사과정이인라인방식으로이루어지도록, 다수개의상기피검사체를상기 CT 촬영부로이송하는로딩부및 상기 CT 촬영부에서 CT 촬영이완료된피검사체를받아차기공정으로이송하기위한언로딩부를포함하는것을특징으로한다.

6. 发明公开

KR1020150040096A 엑스-레이 검사장치 无效
标题翻译： X光检查仪
公开(公告)号：KR1020150040096A
公开(公告)日：2015-04-14
申请号：KR1020130118677
申请日：2013-10-04
申请人： 주식회사 쎄크
发明人： 류기웅 , 박덕수 , 서태호
IPC分类号： G01N23/04
CPC分类号： G01N23/043 , G01N2223/1016 , G01N2223/3307 , G01N2223/501 , G01N2223/6113 , H04N5/32
摘要： 본발명은엑스-레이검사장치에관한것으로서, 엑스-레이를차폐하는캐비넷; 상기캐비넷의내부에설치되며, 피검사대상물을파지하고상기피검사대상물의위치를변화시키는위치이동유닛; 상기피검사대상물의하측에설치되며, 상기피검사대상물에엑스-레이를조사하는엑스-레이발생장치; 상기피검사대상물의상측에설치되며, 상기피검사대상물을투과한상기엑스-레이를검출하여상기피검사대상물의영상을촬상하는복수개의엑스-레이디텍터; 및상기위치이동유닛, 상기엑스-레이발생장치, 및상기복수개의엑스-레이디텍터를제어하는제어부;를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种包括屏蔽X射线的机壳的X射线检查装置，安置在所述机壳内的位置移动单元，以抓住检查目标物体并改变所述检查对象物体的位置; 安装在检查对象物体下方的X射线发生器，将X射线发射到检查对象物体上; 多个X射线检测器，其安装在检查对象物体上方，检测穿过检查对象物体的X射线并拍摄检查对象物的图像; 以及用于控制位置移动单元，X射线发生器和多个X射线检测器的控制部分。

7. 发明公开

KR1020100088312A 릴 장치 및 이를 이용한 필름로딩장치 有权
标题翻译：使用该装置的卷纸装置和胶片装载装置
公开(公告)号：KR1020100088312A
公开(公告)日：2010-08-09
申请号：KR1020090007452
申请日：2009-01-30
申请人： 주식회사 쎄크
发明人： 류기웅 , 이상률
IPC分类号： B65H18/04 , B65H18/02 , H01L21/00
CPC分类号： B65H18/28 , B65H2301/4127
摘要： PURPOSE: A reel apparatus and a film loading device using the same are provided to minimize a pause interval by continuously supplying wound films to the other supply reel. CONSTITUTION: A reel apparatus comprises a supply reel(210), a winding reel(230), and a driving unit. A film is wound around the supply reel. The winding reel is arranged in the supply reel, and a protective film separated from the film is wound around the winding reel. The driving unit powers the supply reel and the winding reel. The protective film is transferred from the supply reel to the winding reel. Multiple guide rollers are arranged near the supply reel.
摘要翻译：目的：提供一种卷轴装置和使用该卷筒装置的胶片装载装置，通过将缠绕膜连续地供应到另一个供应卷轴来最小化暂停间隔。构成：卷轴装置包括供带盘（210），卷绕卷轴（230）和驱动单元。电影卷绕在供应卷轴周围。卷绕卷轴布置在供带盘上，并且与卷膜分离的保护膜缠绕在卷绕卷轴上。驱动单元为供带盘和卷绕卷轴供电。保护膜从供带盘传送到卷绕卷轴。供应卷轴附近布置有多个导辊。

8. 发明授权

KR101328512B1 웨이퍼 패턴 검사장치 및 검사방법 有权
标题翻译： WAFER PATTERN检查装置和方法
公开(公告)号：KR101328512B1
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：KR1020120052003
申请日：2012-05-16
申请人： 주식회사 쎄크
发明人： 전승원 , 류기웅 , 조명환
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 웨이퍼 패턴 검사장치가 개시된다. 개시된 웨이퍼 패턴 검사장치는 메인 챔버; 패턴 및 식각 공정을 마친 웨이퍼를 메인 챔버 내부로 안내하는 서브 챔버; 상기 메인 챔버에 설치되며, 상기 웨이퍼 상에 형성된 패턴을 검사하는 패턴 검사부; 및 상기 패턴 검사부의 측정값을 기초로 상기 패턴을 분석하는 제어부를 포함하며, 상기 패턴 검사부는, 상기 웨이퍼 패턴의 평면 길이나 평면 면적을 측정하는 제1 검사부와, 상기 웨이퍼 패턴의 경사면 길이를 측정하는 제2 검사부로 이루어진 것을 특징으로 한다.

9. 发明授权

KR101181845B1 ＳＭＴ 인라인용 자동 엑스선 검사장치 有权
标题翻译：自动X射线检测仪表面贴装技术在线
公开(公告)号：KR101181845B1
公开(公告)日：2012-09-11
申请号：KR1020110139909
申请日：2011-12-22
申请人： 주식회사 쎄크
发明人： 김종현 , 김만석 , 류기웅 , 류기준
IPC分类号： G01N23/04 , G01B15/00
CPC分类号： G01N23/046 , G01N2223/419 , H01J37/18
摘要： PURPOSE: An automatic X-ray inspection device for an SMT inline is provided to use a flat cable or comprises a slip ring and an umklappen blush, thereby minimizing interferences with respect to the rotation of a stage unit. CONSTITUTION: An automatic X-ray inspection device for an SMT inline comprises a stage unit(50), an X-ray vacuum tube(10), and a detector(30). The stage unit supports an object to be attached/detached. Coplanar movements to an X-axis and Y-axis and the rotation of the stage unit is possible. The Z-ray vacuum is arranged in the lower part of the stage unit and irradiates X-rays to the object set on the stage unit. The detector is arranged to be detoured toward one side on the upper part of the stage unit. The detector detects the X-rays transmitted through the object.
摘要翻译：目的：提供用于SMT在线的自动X射线检查装置，以使用扁平电缆或包括滑环和umklappen腮红，从而最小化相对于平台单元的旋转的干扰。构成：用于SMT在线的自动X射线检查装置包括台单元（50），X射线真空管（10）和检测器（30）。舞台单元支持要附接/分离的对象。对X轴和Y轴的平面运动以及平台单元的旋转是可能的。 Z射线真空设置在舞台装置的下部，并将X射线照射到舞台装置上的物体上。检测器被布置成朝着舞台单元的上部的一侧弯曲。检测器检测透过物体的X射线。

10. 发明授权

KR101127885B1 릴 장치 및 이를 이용한 필름로딩장치 有权
标题翻译：卷装置和使用其的胶片装载装置
公开(公告)号：KR101127885B1
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：KR1020090007452
申请日：2009-01-30
申请人： 주식회사 쎄크
发明人： 류기웅 , 이상률
IPC分类号： B65H18/04 , B65H18/02 , H01L21/00
CPC分类号： B65H18/28 , B65H2301/4127
摘要： 릴 장치 및 이를 이용한 필름로딩장치가 개시된다. 개시된 릴 장치는 반도체필름이 권취된 공급 릴; 상기 공급 릴과 동축 상에 배치되어 상기 반도체필름으로부터 박리되는 보호필름이 권취되는 권취 릴; 및, 상기 공급 릴 및 권취 릴을 각각 구동시키는 구동유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
반도체필름, 이송장치, 로더, 로딩장치

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