专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020150094538A 복수의 마이크로폰 구조체의 제조 방법, 마이크로폰 및 모바일 디바이스 有权
标题翻译：制造麦克风结构多样性的方法，麦克风和移动装置
公开(公告)号：KR1020150094538A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：KR1020150019722
申请日：2015-02-09
申请人： 인피니온 테크놀로지스 아게
发明人： 브록메이어,안드레 , 그릴,토마스 , 헤데니그,어술라 , 이르시글러,피터 , 마우레르,다니엘 , 피르크,소엔케
IPC分类号： H04R31/00 , H04R19/04
CPC分类号： H04R31/00 , H04R19/005 , H04R23/00 , H04R2201/003 , Y10T29/49 , H04R19/04 , H04R2231/00
摘要： 다양한 실시예들에서, 마이크로폰 구조체들의 제조 방법이 제공된다. 이 방법은 전면 및 후면을 갖는 기판을 제공하는 단계 - 후면은 전면과 떨어져 대면하고 있고, 기판은 내측 영역 및 내측 영역을 측방향으로 둘러싸는 외측 영역을 갖고, 내측 영역은 복수의 마이크로폰 영역을 포함하고, 각각의 마이크로폰 영역은 복수의 마이크로폰 중 하나의 마이크로폰에 대해 제공되어 있음 - ; 기판의 전면 상에서 마이크로폰 영역들에 복수의 마이크로폰을 위한 복수의 층을 형성하는 단계; 기판의 후면으로부터 리세스를 형성하는 단계 - 리세스는 전체 내측 영역에 측방향으로 중첩됨 - ; 리세스의 바닥부에 복수의 캐비티를 형성하는 단계 - 복수의 캐비티의 각각의 캐비티는 마이크로폰 영역들 중 하나에 형성됨 - ; 층들을 처리하여 복수의 마이크로폰 구조체를 형성하는 단계 - 각각의 마이크로폰 구조체는 복수의 층 중 적어도 하나의 층과 하나의 캐비티를 포함함 - ; 및 복수의 마이크로폰 구조체를 서로 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
摘要翻译：在各种实施例中，提供了一种用于制造麦克风结构的方法。该方法包括提供具有前表面和后表面的基板的步骤，其中所述后表面在分离时面向所述前表面，并且所述基板包括在所述侧面方向上包围所述内部区域的内部区域和外部区域，内部区域包括多个麦克风区域，并且为多个麦克风中的一个麦克风提供每个麦克风区域; 从所述基板的背面形成凹部，其中所述凹部在所述侧面方向上重叠在所述总内部区域上; 在所述凹部的底部形成多个空腔，其中每个空腔形成在多个麦克风区域中的至少一个上; 通过处理层形成多个麦克风结构，其中每个麦克风结构包括多层和一个空腔中的至少一层; 并分离多个麦克风结构。

2. 发明授权

KR101661136B1 복수의 마이크로폰 구조체의 제조 방법, 마이크로폰 및 모바일 디바이스 有权
标题翻译：麦克风和移动设备制造多种麦克风结构的方法
公开(公告)号：KR101661136B1
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：KR1020150019722
申请日：2015-02-09
申请人： 인피니온 테크놀로지스 아게
发明人： 브록메이어,안드레 , 그릴,토마스 , 헤데니그,어술라 , 이르시글러,피터 , 마우레르,다니엘 , 피르크,소엔케
IPC分类号： H04R31/00 , H04R19/04
CPC分类号： H04R31/00 , H04R19/005 , H04R23/00 , H04R2201/003 , Y10T29/49
摘要： 다양한실시예들에서, 마이크로폰구조체들의제조방법이제공된다. 이방법은전면및 후면을갖는기판을제공하는단계 - 후면은전면과떨어져반대방향으로향하고있고, 기판은내측영역및 내측영역을측방향으로둘러싸는외측영역을갖고, 내측영역은복수의마이크로폰영역을포함하고, 각각의마이크로폰영역은복수의마이크로폰중 하나의마이크로폰에대해제공되어있음 - ; 기판의전면상에서마이크로폰영역들에복수의마이크로폰을위한복수의층을형성하는단계; 기판의후면으로부터리세스를형성하는단계 - 리세스는전체내측영역에측방향으로중첩됨 - ; 리세스의바닥부에복수의캐비티를형성하는단계 - 복수의캐비티의각각의캐비티는마이크로폰영역들중 하나에형성됨 - ; 층들을처리하여복수의마이크로폰구조체를형성하는단계 - 각각의마이크로폰구조체는복수의층 중적어도하나의층과하나의캐비티를포함함 - ; 및복수의마이크로폰구조체를서로분리하는단계를포함할수 있다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式