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    • 9. 发明授权
    • 집속이온빔-화학기상증착법을 통해 형성된 공중부유형 나노와이어를 이용하는 나노센서의 제조방법
    • 基于FIB-CVD法制备的纳米NANOR传感器的制造方法
    • KR100936114B1
    • 2010-01-11
    • KR1020080014442
    • 2008-02-18
    • 연세대학교 산학협력단
    • 김종백최정욱
    • B82B1/00B82Y15/00
    • 본 발명에 따른 집속이온빔-화학기상증착법(FIB-CVD)을 통해 형성된 공중부유형 나노와이어를 이용하는 나노센서의 제조방법은, 전기적으로 절연되며 상호 이격 배치된 마이크로 전극이 기판 상에 형성되는 단계(S1); 집속이온빔-화학기상증착법(FIB-CVD)을 통해, 공중부유된 상태로 나노와이어의 양 단이 각 마이크로 전극의 일 측에 각각 연결되도록 배치되는 단계(S2); 및 기판 상의 구조물의 일부 또는 전부에 금속막이 증착되는 단계(S3)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
      본 발명에 따른 나노센서의 제조방법은 원하는 위치에 나노구조물 증착이 가능하다는 집속이온빔의 장점을 활용하여 나노구조물의 정확한 위치, 개수 및 구조의 선정과 제어가 가능한 효과가 있다.
      또한 본 발명에 따른 나노센서의 제조방법은 나노와이어를 공중부유형으로 제작하여 유동이 있는 가스에 노출되었을 때, 가스정체층 위에 나노와이어가 위치하게 함으로써 감지하고자 하는 가스의 활발한 흡착을 유도하여, 매우 높은 민감도를 성취할 수 있는 효과가 있다.
      나노와이어, 공중부유형, 금속증착, 나노센서, 집속이온빔-화학기상증착법
    • 10. 发明公开
    • 마이크로 구조물 및 마이크로 엑츄에이터 제조방법, 이 제조방법에 의해 제조된 마이크로 구조물 및 마이크로 엑츄에이터
    • 微结构,微型致动器,微结构微型致动器的制作方法
    • KR1020130085906A
    • 2013-07-30
    • KR1020120060172
    • 2012-06-05
    • 연세대학교 산학협력단
    • 김종백은영기이재익최정욱송영섭
    • B81C1/00B81B7/00
    • B81C1/0015B81B2203/0136B82Y30/00G02B26/0841
    • PURPOSE: A method for manufacturing a micro structure and a micro actuator, the micro structure and the micro actuator manufactured by the same method are provided to manufacture the micro actuator simply and easily by synthesizing a nano material array directly and then using the nano material array as an adhesive material during plastic deformation process, and to oxidize and remove the nano material array easily in the air environment after the plastic process is finished. CONSTITUTION: According to a method for manufacturing a micro structure, nano material arrays (142,144) are synthesized with the micro structure and then are grown for a constant time. The micro structure has initial shape before the micro structure is deformed. The nano material array has dry adhesive property. The deformation state of the micro structure is maintained by the adhesive force of the nano material array, by performing plastic deformation in a high temperature inert gas environment under the state that the micro structure is transformed into a desired shape. The nano material array remaining in the plastically deformed micro structure is removed.
    • 目的:制造微结构和微型致动器的方法,通过相同的方法制造的微结构和微型致动器被提供,通过直接合成纳米材料阵列然后使用纳米材料阵列来简单且容易地制造微致动器 在塑性变形过程中作为粘合剂材料,并且在塑性加工完成后,在空气环境中容易地氧化和除去纳米材料阵列。 构成:根据微结构的制造方法,用微结构合成纳米材料阵列(142,144),然后长时间生长。 微结构在微结构变形之前具有初始形状。 纳米材料阵列具有干燥的粘合性能。 微结构的变形状态通过纳米材料阵列的粘合力,通过在微结构转变成所需形状的状态下在高温惰性气体环境中进行塑性变形来维持。 残留在塑性变形微结构中的纳米材料阵列被去除。