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    • 5. 发明授权
    • 원편광 변환 소자 및 휘도 향상 소자와 그 제작 방법
    • 圆偏振光转换元件和亮度增强元件及其制造方法
    • KR100968208B1
    • 2010-07-06
    • KR1020080050954
    • 2008-05-30
    • 인하대학교 산학협력단
    • 황보창권박용준
    • G02B5/30
    • 본 발명은 경사입사 증착방법을 이용하는 원편광 변환 소자 및 휘도 향상 소자와 그 제작 방법에 관한 것으로서, 기판 위에 소정 각도로 지그재그 구조를 갖는 제1 유전체 박막층을 증착하고, 상기 제1 유전체 박막층의 상부에 나선형 구조의 제2 유전체 박막층을 증착하여 원편광 변환 소자를 제작하고, 한편 상기 제2 유전체 박막층의 상부에 지그재그 구조의 제3 유전체 박막층을 증착하여 휘도 향상 소자를 제작하는 것을 특징으로 한다.
      따라서, 본 발명은 원편광 변환 소자의 경우에 입사하는 원편광의 편광 방향을 바꾸어 줄 수 있을 뿐만 아니라 투과 혹은 반사시키는 원편광을 나선형 구조의 회전 방향으로 쉽게 조절할 수 있고, 휘도 향상 소자의 경우에 나선형 구조의 회전 방향에 따라 반사하는 원편광을 반사판을 이용하여 다시 무편광된 빛으로 바꾸어 되돌아 휘도 향상소자로 입사하게 만들어 광 효율을 증대시킬 수 있다.
      원편광 변환 소자, 휘도 향상 소자, 유전체 박막층, 지그재그 구조, 나선형 구조, 비등방성
    • 8. 发明授权
    • 유전체 박막의 기둥 미세구조를 이용한 위상지연판의구조와 제작방법
    • 使用柱状微结构介质薄膜制备板的制造方法和结构
    • KR100780406B1
    • 2007-11-29
    • KR1020060065487
    • 2006-07-12
    • 인하대학교 산학협력단
    • 황보창권우석훈박용준
    • B32B27/00B32B15/08
    • A structure of a retardation plate using a columnar micro-structured dielectric thin film and a manufacturing method thereof are provided to secure thermal stability and firm mechanical property better than that of the retardation plate using polymer or liquid crystals and to keep uniform retardation over a wide area. A structure of a retardation plate(10) using a columnar micro-structured dielectric thin film is composed of: a substrate(11) made of glasses or polymer; an anisotropic thin film layer(13) deposited on the upper side of the substrate and provided with a dielectric columnar micro-structure; and an isotropic thin film layer(15) deposited on the upper side of the anisotropic thin film layer to increase transmittance in a specific wavelength region and to protect the anisotropic thin film layer.
    • 提供使用柱状微结构的电介质薄膜的相位差板的结构及其制造方法,以确保热稳定性和比使用聚合物或液晶的相位差板的机械特性更好的机械性能,并且在宽的范围内保持均匀的延迟 区。 使用柱状微结构的电介质薄膜的相位差板(10)的结构由以下部分构成:由玻璃或聚合物构成的基板(11) 沉积在衬底的上侧并具有介电柱状微结构的各向异性薄膜层(13); 以及沉积在各向异性薄膜层的上侧的各向同性薄膜层(15),以提高特定波长区域的透射率并保护各向异性薄膜层。
    • 10. 发明公开
    • 경사 입사 증착을 이용한 패턴 모사 방법
    • 使用OBLIQUE角度沉积的图案复制方法
    • KR1020110049073A
    • 2011-05-12
    • KR1020090105911
    • 2009-11-04
    • 인하대학교 산학협력단
    • 황보창권박용준
    • H01L21/027H01L21/205
    • H01L21/2053G03F7/0002H01L21/0226H01L21/2033
    • PURPOSE: A pattern replica method using oblique angle deposition is provided to form a pattern on an optical pattern without a lithography process, thereby reducing process time and process costs. CONSTITUTION: Patterns are formed on a substrate at a fixed interval. A first deposition material is deposited to form a first thin film layer(310) on patterns. The first thin film layer comprises a plurality of first patterns which has a vertically spiral structure. First patterns are tilted by a first incident angle. A second deposition material is deposited to form a second thin film layer(330) on the first thin film layer. The second thin film layer comprises a plurality of second patterns(331) which has a vertical structure on the first patterns. The substrate supported by the support plate has a second incident angle.
    • 目的:提供使用斜角沉积的图案复制方法以在没有光刻工艺的光学图案上形成图案,从而减少处理时间和处理成本。 构成:以固定间隔在衬底上形成图案。 沉积第一沉积材料以在图案上形成第一薄膜层(310)。 第一薄膜层包括具有垂直螺旋结构的多个第一图案。 第一图案倾斜第一入射角。 沉积第二沉积材料以在第一薄膜层上形成第二薄膜层(330)。 第二薄膜层包括在第一图案上具有垂直结构的多个第二图案(331)。 由支撑板支撑的基板具有第二入射角。