基本信息:
- 专利标题： 경사 입사각 증착을 이용한 보호층의 제조방법
- 专利标题（英）：Protecting layer manufacturing method using glancing angle deposition
- 专利标题（中）：保护层制造方法采用扫帚角沉积法
- 申请号：KR1020110131768 申请日：2011-12-09
- 公开(公告)号：KR101182626B1 公开(公告)日：2012-09-14
- 发明人： 황보창권 , 박용준
- 申请人： 인하대학교 산학협력단
- 申请人地址： ***, Inha-ro, Nam-gu, Incheon, (***-***), Republic of Korea
- 专利权人： 인하대학교 산학협력단
- 当前专利权人： 인하대학교 산학협력단
- 当前专利权人地址： ***, Inha-ro, Nam-gu, Incheon, (***-***), Republic of Korea
- 代理人： 이원희
- 主分类号： C23C14/22
- IPC分类号： C23C14/22 ; C23C14/24 ; C23C14/34
摘要：
본 발명은 경사 입사각 증착을 이용한 보호층 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 경사 입사각 증착을 이용한 보호층은, 소정의 각도로 기울어져 회전되는 기판, 기판상에 소정의 간격으로 이격되어 형성된 기둥 미세구조를 가지는 비등방 박막층, 비등방 박막층의 기둥 미세구조상에 소정의 경사 입사각으로 증착되어 기둥 미세구조를 보호하는 보호층을 포함한다.
摘要（英）：
The present invention is inclined to a method protective layer prepared using an incident angle of vapor deposition, the protective layer using the oblique incident angle deposition according to the present invention is formed, is on the substrate, the substrate is rotated is inclined at a predetermined angle it spaced a predetermined distance pillar anisotropic thin film having a fine structure, is deposited to a predetermined oblique incident angle to the micro-pillar structure of the anisotropic thin film layer a protective layer to protect the pole microstructure.
公开/授权文献:
- KR1020120000042A 경사 입사각 증착을 이용한 보호층의 제조방법 公开/授权日：2012-01-03