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1. 发明授权

KR101706354B1 고속 광 변조기 및 이를 이용한 광 변조방법 有权
标题翻译：高速光调制器及其调制方法
公开(公告)号：KR101706354B1
公开(公告)日：2017-02-13
申请号：KR1020090056541
申请日：2009-06-24
申请人： 삼성전자주식회사 , 인하대학교 산학협력단
发明人： 김지덕 , 박용화 , 박용준 , 황보창권 , 이장훈 , 김진주
IPC分类号： H01S3/10 , H01S5/026 , H01S5/14
CPC分类号： G02F1/21 , G02F2001/213
摘要： 고속광 변조기및 이를이용한광 변조방법에관해개시되어있다. 본발명의일 실시예에의한광 변조기는투명기판상에순차적으로적층된제1 및제2 공진캐버티(cavity)를포함하고, 상기제1 및제2 공진캐버티는각각전기-광학층을포함한다. 광변조기는전기-광학층을포함하는적어도하나의공진캐버티를더 구비할수 있다. 광변조방법에서상기제1 및제2 공진캐버티에크기가다른제1 및제2 전압을동시에인가하고, 인가후에제1 및제2 전압을바꿔인가할수 있다.
摘要翻译：提供了一种高速光学调制器和通过使用它们来调制光的方法。光调制器包括依次层叠在透明基板上的第一和第二谐振腔，其中第一和第二谐振腔各自包括电光层。根据该方法，具有不同尺寸的第一和第二电压分别同时施加到第一和第二共振腔，然后对于调制器的另一配置相互互换的电压被施加。

2. 发明公开

KR1020120000042A 경사 입사각 증착을 이용한 보호층의 제조방법 有权
标题翻译：保护层制造方法使用角度沉积
公开(公告)号：KR1020120000042A
公开(公告)日：2012-01-03
申请号：KR1020110131768
申请日：2011-12-09
申请人： 인하대학교 산학협력단
发明人： 황보창권 , 박용준
IPC分类号： C23C14/22 , C23C14/24 , C23C14/34
摘要： PURPOSE: A protective layer manufacturing method using oblique angle deposition is provided to improve the characteristic efficiency of a micro column structure by depositing a protective layer only on the micro column structure formed on a substrate. CONSTITUTION: A protective layer manufacturing method using oblique angle deposition is as follows. An anisotropic film layer having a micro column structure(210) is formed on a substrate(100). A protective layer(300) is deposited selectively on the micro column structure of the anisotropic film layer by declining the substrate and rotating the substrate. The oblique angle of the protective layer satisfies an equation, tanα
摘要翻译：目的：提供使用斜角沉积的保护层制造方法，以通过仅在形成在基板上的微柱结构上沉积保护层来提高微柱结构的特征效率。构成：使用斜角沉积的保护层制造方法如下。在基板（100）上形成具有微小柱状结构（210）的各向异性膜层。通过使衬底下降并旋转衬底，选择性地将保护层（300）沉积在各向异性膜层的微柱结构上。保护层的斜角满足方程式，tanα<= B / A，其中α为90列入射角，B为微柱结构的高度，A为微柱结构的间隔。

3. 发明公开

KR1020100138147A 고속 광 변조기 및 이를 이용한 광 변조방법 有权
标题翻译：高速光学调制器及其调制光的方法
公开(公告)号：KR1020100138147A
公开(公告)日：2010-12-31
申请号：KR1020090056541
申请日：2009-06-24
申请人： 삼성전자주식회사 , 인하대학교 산학협력단
发明人： 김지덕 , 박용화 , 박용준 , 황보창권 , 이장훈 , 김진주
IPC分类号： H01S3/10 , H01S5/026 , H01S5/14
CPC分类号： G02F1/21 , G02F2001/213
摘要： PURPOSE: The high speed light modulator and optical modulation device using the same effectively multiplies the ratio of the quantity of light at the quantity of light at the transmission state and off - transmission state it comes by controlling the quantity of light of the transmission state and quantity of light of the off - transmission state, it comes. CONSTITUTION: The light modulator comprises the first and the second resonant cavity successively laminated on the transparent substrate(30). The first and the second resonant cavity comprise the respective electro-optic layer. The light modulator more includes one or more resonant cavity including the electro-optic layer.
摘要翻译：目的：采用这种方法的高速光调制器和光调制装置通过控制传输状态的光量，有效地将传输状态下的光量与透过状态之间的光量之比乘以来自于传输状态的光量。构成：光调制器包括依次层压在透明基板（30）上的第一和第二谐振腔。第一和第二谐振腔包括相应的电光层。光调制器还包括包括电光层的一个或多个谐振腔。

4. 发明公开

KR1020090015373A 원편광 분리소자, 원편광 분리소자 제조장치 및 제조방법 无效
标题翻译：圆极化分离器，圆极化分离器及其应用的自动化方法
公开(公告)号：KR1020090015373A
公开(公告)日：2009-02-12
申请号：KR1020070079657
申请日：2007-08-08
申请人： 인하대학교 산학협력단
发明人： 황보창권 , 박용준
IPC分类号： G02B5/30
摘要： A circularly-polarized light separating device, an apparatus and a method for manufacturing the same are provided to filter a circularly-polarized light of a specific wavelength by using a PVD(Physical Vapor Deposition). A substrate(10) is inclined at a predetermined angle. An anisotropic thin film layer(20b) is deposited on the substrate. The substrate is made of glass or polymer. The refractive index of the anisotropic thin film layer is higher than that of the substrate. The anisotropic thin film layer is made of dielectric material(20a) having absorption rate less than 0.01 % at a wavelength in which circularly-polarized light begins to be divided.
摘要翻译：提供一种圆偏振光分离装置，其制造方法及其制造方法，以通过使用PVD（物理气相沉积）来过滤特定波长的圆偏振光。基板（10）以预定角度倾斜。各向异性薄膜层（20b）沉积在衬底上。基板由玻璃或聚合物制成。各向异性薄膜层的折射率高于基板的折射率。各向异性薄膜层由在圆偏振光开始分割的波长处吸收率小于0.01％的电介质材料（20a）制成。

5. 发明公开

KR1020100125904A 변형 경사 입사각 증착 장치 및 이를 이용한 무반사 광학 박막의 제조 방법, 그리고 무반사 광학 박막 有权
标题翻译：修改倾斜角沉积设备和使用其反光膜的抗反射光膜的制造方法
公开(公告)号：KR1020100125904A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：KR1020090044859
申请日：2009-05-22
申请人： 인하대학교 산학협력단
发明人： 황보창권 , 박용준
IPC分类号： G02B1/118 , C23C14/04 , C23C14/22 , C23C14/56
CPC分类号： G02B1/118 , C23C14/044 , C23C14/225 , C23C14/564
摘要： PURPOSE: A modified tilted incident angle deposition apparatus, a method for manufacturing an anti-reflective optical thin film, and the anti-reflective optical thin film are provided to obtain a superior anti-reflective function with four refractive index layers. CONSTITUTION: A supporting board(120) regulates an angle by the movement of a supporting stand in a chamber and includes a mounting region of a base board. A container(150) contains a depositing material for depositing one or more anti-reflective thin film layers on the base board. A porous depositing filter(140) is placed between the supporting board and the container and improves the porosity of the depositing material.
摘要翻译：目的：提供改进的倾斜入射角沉积设备，制造抗反射光学薄膜的方法和抗反射光学薄膜，以获得具有四个折射率层的优异的抗反射功能。构成：支撑板（120）通过支撑架在腔室中的移动来调节角度，并且包括基板的安装区域。容器（150）包含用于在基板上沉积一个或多个抗反射薄膜层的沉积材料。将多孔沉积过滤器（140）放置在支撑板和容器之间，并改善了沉积材料的孔隙率。

6. 发明授权

KR100780406B1 유전체 박막의 기둥 미세구조를 이용한 위상지연판의구조와 제작방법 失效
标题翻译：使用柱状微结构介质薄膜制备板的制造方法和结构
公开(公告)号：KR100780406B1
公开(公告)日：2007-11-29
申请号：KR1020060065487
申请日：2006-07-12
申请人： 인하대학교 산학협력단
发明人： 황보창권 , 우석훈 , 박용준
IPC分类号： B32B27/00 , B32B15/08
摘要： A structure of a retardation plate using a columnar micro-structured dielectric thin film and a manufacturing method thereof are provided to secure thermal stability and firm mechanical property better than that of the retardation plate using polymer or liquid crystals and to keep uniform retardation over a wide area. A structure of a retardation plate(10) using a columnar micro-structured dielectric thin film is composed of: a substrate(11) made of glasses or polymer; an anisotropic thin film layer(13) deposited on the upper side of the substrate and provided with a dielectric columnar micro-structure; and an isotropic thin film layer(15) deposited on the upper side of the anisotropic thin film layer to increase transmittance in a specific wavelength region and to protect the anisotropic thin film layer.
摘要翻译：提供使用柱状微结构的电介质薄膜的相位差板的结构及其制造方法，以确保热稳定性和比使用聚合物或液晶的相位差板的机械特性更好的机械性能，并且在宽的范围内保持均匀的延迟区。使用柱状微结构的电介质薄膜的相位差板（10）的结构由以下部分构成：由玻璃或聚合物构成的基板（11）沉积在衬底的上侧并具有介电柱状微结构的各向异性薄膜层（13）; 以及沉积在各向异性薄膜层的上侧的各向同性薄膜层（15），以提高特定波长区域的透射率并保护各向异性薄膜层。

7. 发明授权

KR101105837B1 경사 입사 증착을 이용한 패턴 모사 방법 有权
标题翻译：使用斜角沉积法进行图案复制法
公开(公告)号：KR101105837B1
公开(公告)日：2012-01-13
申请号：KR1020090105911
申请日：2009-11-04
申请人： 인하대학교 산학협력단
发明人： 황보창권 , 박용준
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/205
摘要： 경사 입사 증착을 이용한 패턴 모사 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 경사 입사 증착을 이용한 패턴 모사 방법은, (a) 일정 간격으로 패턴이 형성된 기판을 마련하는 단계, (b) 기판이 지면에 수직한 축을 기준으로 일 방향에서 제1 경사 입사각을 갖도록 기판을 일 방향으로 각 이동시킨 상태에서 기판을 360도 회전시키면서 제1 증착 물질을 증착하여 패턴 상에 수직 방향으로 나선형 구조의 다수의 제1 패턴이 포함된 상기 제1 박막층을 형성하는 단계 및 (c) 제1 박막층이 형성된 기판을 지면에 평행한 제2 경사 입사각을 갖도록 각 이동시킨 상태에서 제2 증착 물질을 증착시켜 제1 패턴 상에 수직한 구조의 다수의 제2 패턴이 포함된 제2 박막층을 형성하는 단계를 포함한다.
광학 박막, 경사 입사 증착, 패턴, 모사

8. 发明授权

KR101182626B1 경사 입사각 증착을 이용한 보호층의 제조방법 有权
标题翻译：保护层制造方法采用扫帚角沉积法
公开(公告)号：KR101182626B1
公开(公告)日：2012-09-14
申请号：KR1020110131768
申请日：2011-12-09
申请人： 인하대학교 산학협력단
发明人： 황보창권 , 박용준
IPC分类号： C23C14/22 , C23C14/24 , C23C14/34
摘要： 본 발명은 경사 입사각 증착을 이용한 보호층 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 경사 입사각 증착을 이용한 보호층은, 소정의 각도로 기울어져 회전되는 기판, 기판상에 소정의 간격으로 이격되어 형성된 기둥 미세구조를 가지는 비등방 박막층, 비등방 박막층의 기둥 미세구조상에 소정의 경사 입사각으로 증착되어 기둥 미세구조를 보호하는 보호층을 포함한다.

9. 发明授权

KR100968208B1 원편광 변환 소자 및 휘도 향상 소자와 그 제작 방법 有权
标题翻译：圆偏振光转换元件和亮度增强元件及其制造方法
公开(公告)号：KR100968208B1
公开(公告)日：2010-07-06
申请号：KR1020080050954
申请日：2008-05-30
申请人： 인하대학교 산학협력단
发明人： 황보창권 , 박용준
IPC分类号： G02B5/30
摘要： 본 발명은 경사입사 증착방법을 이용하는 원편광 변환 소자 및 휘도 향상 소자와 그 제작 방법에 관한 것으로서, 기판 위에 소정 각도로 지그재그 구조를 갖는 제1 유전체 박막층을 증착하고, 상기 제1 유전체 박막층의 상부에 나선형 구조의 제2 유전체 박막층을 증착하여 원편광 변환 소자를 제작하고, 한편 상기 제2 유전체 박막층의 상부에 지그재그 구조의 제3 유전체 박막층을 증착하여 휘도 향상 소자를 제작하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명은 원편광 변환 소자의 경우에 입사하는 원편광의 편광 방향을 바꾸어 줄 수 있을 뿐만 아니라 투과 혹은 반사시키는 원편광을 나선형 구조의 회전 방향으로 쉽게 조절할 수 있고, 휘도 향상 소자의 경우에 나선형 구조의 회전 방향에 따라 반사하는 원편광을 반사판을 이용하여 다시 무편광된 빛으로 바꾸어 되돌아 휘도 향상소자로 입사하게 만들어 광 효율을 증대시킬 수 있다.
원편광 변환 소자, 휘도 향상 소자, 유전체 박막층, 지그재그 구조, 나선형 구조, 비등방성

10. 发明授权

KR100936264B1 광대역 원편광 브래그 반사필름 및 그의 제조방법 有权
标题翻译：宽带圆形布拉格反射器及其制造方法
公开(公告)号：KR100936264B1
公开(公告)日：2010-01-12
申请号：KR1020080005208
申请日：2008-01-17
申请人： 인하대학교 산학협력단
发明人： 황보창권 , 박용준
IPC分类号： G02B5/30 , G02B5/08
摘要： 개시된 광대역 원편광 브래그 반사필름은, 유리 또는 고분자 물질로 이루어지는 기판; 유전체 물질을 기판의 상부에 나선형 피치 기둥 구조물로서 복수개를 상호 이격되게 증착 형성한 구조를 가지는 비등방 박막층을 포함한다.
이와 같은 광대역 원편광 브래그 반사필름은, 유전체 물질의 사용으로 열에 대한 안정성을 높일 수 있고, 제조 공정이 단순하여 공정 시간 및 비용을 절감할 수 있으며, 대면적 제품 생산 및 응용이 가능하고, 투과 및 반사시키는 파장을 광대역으로 확대할 수 있으며, 다른 추가적인 필터를 사용하지 않고도 하나의 필름을 이용하여 동시에 여러 개의 파장에서 원편광을 반사시킬 수 있으며, 경량화 및 박형화가 가능하고, 간단한 변경 및 추가 구성으로 용이하게 제작할 수 있는 효과를 제공할 수 있다.
원편광, 광학박막, 반사율, 나선형 피치, 브래그 반사판, 다공성 박막

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