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    • 10. 发明公开
    • 산화막 마이크로렌즈 제조 방법 및 그를 이용한 이미지센서의 제조방법
    • 制造具有氧化层微镜的图像传感器的方法
    • KR1020010047339A
    • 2001-06-15
    • KR1019990051513
    • 1999-11-19
    • 에스케이하이닉스 주식회사
    • 변성철이영민
    • H01L27/146
    • PURPOSE: A method of manufacturing an image sensor having an oxidation layer microlens is provided to improve a photo-sensitivity by maximizing the light incoming to a photo diode. CONSTITUTION: A first oxidation layer is deposited on a semiconductor substrate and a first oxidation layer pattern is formed by the anisotropic etching using a first mask of the first size. A second oxidation layer is deposited and a second oxidation layer pattern is formed on the first oxidation layer pattern by anisotropic etch using the second mask of the second size. A third oxidation layer is deposited and anisotropically etched on the overall surfaces by overetch. A fourth oxidation layer is deposited thereon and the fourth oxidation layer pattern is formed on the second oxidation layer pattern by anisotropic etch using a third mask of the third size. A fifth oxidation layer is deposited and anisotropically overetched.
    • 目的:提供一种制造具有氧化层微透镜的图像传感器的方法,以通过使进入光电二极管的光最大化来提高光敏性。 构成:第一氧化层沉积在半导体衬底上,并且通过使用第一尺寸的第一掩模的各向异性蚀刻形成第一氧化层图案。 沉积第二氧化层,并且通过使用第二尺寸的第二掩模的各向异性蚀刻在第一氧化层图案上形成第二氧化层图案。 沉积第三氧化层并通过过蚀刻在整个表面上各向异性地蚀刻。 在其上沉积第四氧化层,并且使用第三尺寸的第三掩模通过各向异性蚀刻在第二氧化层图案上形成第四氧化层图案。 沉积第五氧化层并各向异性过蚀刻。